公开(公告)号：CN108885975A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780021961.2

申请日：2017-03-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  刘卫军 ,  布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 ,  尼亚兹·科斯纳蒂诺夫 ,  大谷智教 ,  田边正幸

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: G03F7/0002 ,  C09D133/06 ,  C09D135/02

Abstract: 一种在基板(201)上形成图案的方法，其中：将包含作为聚合性化合物的组分(a1)和作为光聚合引发剂的组分(b1)且以相对于100重量份组分(a1)为0重量份以上且小于0.1重量份的量包含组分(b1)的固化性组合物(202)的层配置在基板(201)的表面上；并将包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(203)的液滴离散地滴落在固化性组合物(202)的层上，从而将固化性组合物(202)和固化性组合物(203)的混合层夹持在模具(205)与基板(201)之间；使混合层通过光(206)的照射而固化；和将模具(205)与固化后的混合层脱离。如果固化性组合物(202)曝光于1.00mW/cm2的照度下100.0秒的曝光时间，则聚合性化合物(a1)的聚合转化率为50％以下。

公开(公告)号：CN107112208A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580069521.5

申请日：2015-12-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 米泽诗织 ,  伊藤俊树 ,  大谷智教 ,  岩下和美 ,  本间猛

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  H01L21/3065

CPC classification number: G03F7/0002 ,  C08F2/50 ,  G02B5/1857 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/0337

Abstract: 一种压印用光固化性组合物，至少具有聚合性化合物(A)和光聚合引发剂(B)，其中聚合性化合物(A)包含20重量％以上的多官能(甲基)丙烯酸系单体，且光固化性组合物的光固化物的玻璃化转变温度为90℃以上。