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公开(公告)号：CN106537557A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201580037057.1
申请日：2015-06-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , B32B27/00 , C09J4/02 , C09J11/06
Abstract: 在纳米压印过程中，光固化产物经常与基板分离并且由于光固化产物与基板之间的粘合性不足而附着至模具。这导致图案分离的缺陷。一种用于在基板与光固化性组合物之间形成粘着层的粘着层组合物，其包括具有至少两个官能团的化合物(A)和溶剂(B)。所述官能团包括：至少一个能够结合至基板的官能团，其选自由羟基、羧基、硫醇基、氨基、环氧基和(封端的)异氰酸酯基组成的组；和至少一个氢供给性基团，其作为能够结合至光固化性组合物的官能团。
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公开(公告)号：CN109075033B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN201780022158.0
申请日：2017-03-29
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 伊藤俊树 , 大谷智教 , 千叶启子 , 刘卫军 , 布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 将包含聚合性化合物组分(a1)和溶剂组分(d1)的固化性组合物(A1)的层层叠在基板的表面上。将至少包含聚合性化合物组分(a2)的固化性组合物(A2)的液滴离散地滴落在前述固化性组合物的层上。将所述固化性组合物(A1)和所述固化性组合物(A2)的混合层夹持在所述基板与模具之间。通过用光照射而使所述混合层固化。使所述模具与固化后的所述混合层脱离，并且在所述基板上形成图案。
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公开(公告)号：CN107251192A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201680011970.9
申请日：2016-02-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 为了提供用于在反转工艺中形成期望的图案的图案化方法。图案化方法包括反转工艺。光固化性组合物至少包含聚合性化合物(A)组分和光聚合引发剂(B)组分。所述(A)组分的摩尔分数加权平均分子量为200以上且1000以下。所述(A)组分的大西参数(OP)为3.80以上。所述(A)组分的大西参数(OP)为N/(NC‑NO)的摩尔分数加权平均值，其中N表示分子中的原子总数，NC表示该分子中的碳原子数，并且NO表示该分子中的氧原子数。
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公开(公告)号：CN107251192B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201680011970.9
申请日：2016-02-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 为了提供用于在反转工艺中形成期望的图案的图案化方法。图案化方法包括反转工艺。光固化性组合物至少包含聚合性化合物(A)组分和光聚合引发剂(B)组分。所述(A)组分的摩尔分数加权平均分子量为200以上且1000以下。所述(A)组分的大西参数(OP)为3.80以上。所述(A)组分的大西参数(OP)为N/(NC‑NO)的摩尔分数加权平均值，其中N表示分子中的原子总数，NC表示该分子中的碳原子数，并且NO表示该分子中的氧原子数。
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公开(公告)号：CN109075033A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780022158.0
申请日：2017-03-29
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 伊藤俊树 , 大谷智教 , 千叶启子 , 刘卫军 , 布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 将包含聚合性化合物组分(a1)和溶剂组分(d1)的固化性组合物(A1)的层层叠在基板的表面上。将至少包含聚合性化合物组分(a2)的固化性组合物(A2)的液滴离散地滴落在前述固化性组合物的层上。将所述固化性组合物(A1)和所述固化性组合物(A2)的混合层夹持在所述基板与模具之间。通过用光照射而使所述混合层固化。使所述模具与固化后的所述混合层脱离，并且在所述基板上形成图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106574007B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN201580041479.6
申请日：2015-07-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F20/20 , C08F2/46 , H01L21/027 , H01L21/3065
Abstract: 一种光固化性组合物，其包括聚合性化合物；和光聚合引发剂，其中所述光固化性组合物包括由以下示出的通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物，其中通式(1)中，Ar表示可具有取代基的单价芳香族基团，R1表示可具有取代基的烷基或氢原子，R2表示可具有取代基的具有(m+n)价的烷基，m为2以上的整数，和n为1以上的整数。
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公开(公告)号：CN106574007A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580041479.6
申请日：2015-07-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F20/20 , C08F2/46 , H01L21/027 , H01L21/3065
CPC classification number: C08F220/18 , B05D3/06 , B05D3/12 , C08F2/48 , C08F222/10 , C08F222/1006 , C08F2222/102 , G02B1/04 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/029 , H01L21/0273 , H01L21/0274 , H01L21/4846 , H05K3/06 , H05K3/064
Abstract: 一种光固化性组合物，其包括聚合性化合物；和光聚合引发剂，其中所述光固化性组合物包括由以下示出的通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物，其中通式(1)中，Ar表示可具有取代基的单价芳香族基团，R1表示可具有取代基的烷基或氢原子，R2表示可具有取代基的具有(m+n)价的烷基，m为2以上的整数，和n为1以上的整数。
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公开(公告)号：CN108885975B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN201780021961.2
申请日：2017-03-29
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 伊藤俊树 , 刘卫军 , 布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 , 尼亚兹·科斯纳蒂诺夫 , 大谷智教 , 田边正幸
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 一种在基板(201)上形成图案的方法，其中：将包含作为聚合性化合物的组分(a1)和作为光聚合引发剂的组分(b1)且以相对于100重量份组分(a1)为0重量份以上且小于0.1重量份的量包含组分(b1)的固化性组合物(202)的层配置在基板(201)的表面上；并将包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(203)的液滴离散地滴落在固化性组合物(202)的层上，从而将固化性组合物(202)和固化性组合物(203)的混合层夹持在模具(205)与基板(201)之间；使混合层通过光(206)的照射而固化；和将模具(205)与固化后的混合层脱离。如果固化性组合物(202)曝光于1.00mW/cm2的照度下100.0秒的曝光时间，则聚合性化合物(a1)的聚合转化率为50％以下。
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公开(公告)号：CN107112208B
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201580069521.5
申请日：2015-12-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , H01L21/3065
Abstract: 一种压印用光固化性组合物，至少具有聚合性化合物(A)和光聚合引发剂(B)，其中聚合性化合物(A)包含20重量％以上的多官能(甲基)丙烯酸系单体，且光固化性组合物的光固化物的玻璃化转变温度为90℃以上。
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公开(公告)号：CN106537557B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201580037057.1
申请日：2015-06-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , B32B27/00 , C09J4/02 , C09J11/06
Abstract: 在纳米压印过程中，光固化产物经常与基板分离并且由于光固化产物与基板之间的粘合性不足而附着至模具。这导致图案分离的缺陷。一种用于在基板与光固化性组合物之间形成粘着层的粘着层组合物，其包括具有至少两个官能团的化合物(A)和溶剂(B)。所述官能团包括：至少一个能够结合至基板的官能团，其选自由羟基、羧基、硫醇基、氨基、环氧基和(封端的)异氰酸酯基组成的组；和至少一个氢供给性基团，其作为能够结合至光固化性组合物的官能团。
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