公开(公告)号：CN105340062B

公开(公告)日：2017-11-21

申请号：CN201480036784.1

申请日：2014-06-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 本间猛 ,  伊藤俊树 ,  米泽诗织 ,  千叶启子 ,  山下敬司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29C33/62 ,  B29C59/002 ,  B29C59/005 ,  B29K2033/08 ,  B29K2105/0005 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50 ,  C08F220/18 ,  C08F222/1006 ,  C08K2201/00 ,  C08L33/08 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/266 ,  C08F2220/1875 ,  C08F2222/1013

Abstract: 在冷凝性气体气氛中的压印方法中，将模具与抗蚀剂固化膜分离(脱模)所需的力(脱模力)大。用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物包括组分(A)，其为(甲基)丙烯酸酯单体；组分(B)，其为光聚合引发剂；和组分(C)，其为脱模剂。在5度(摄氏)和1个大气压下组分(C)在冷凝性气体中的饱和溶解度为50重量％以上，冷凝性气体在5度(摄氏)和1个大气压下为液态。

公开(公告)号：CN107251192A

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201680011970.9

申请日：2016-02-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织 ,  大谷智教 ,  岩下和美

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 为了提供用于在反转工艺中形成期望的图案的图案化方法。图案化方法包括反转工艺。光固化性组合物至少包含聚合性化合物(A)组分和光聚合引发剂(B)组分。所述(A)组分的摩尔分数加权平均分子量为200以上且1000以下。所述(A)组分的大西参数(OP)为3.80以上。所述(A)组分的大西参数(OP)为N/(NC‑NO)的摩尔分数加权平均值，其中N表示分子中的原子总数，NC表示该分子中的碳原子数，并且NO表示该分子中的氧原子数。

公开(公告)号：CN105189448B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201480026291.X

申请日：2014-05-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织 ,  佐藤仁至 ,  川崎阳司

IPC: C07C217/08 ,  C08F2/50 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08F2/50 ,  C07C217/08 ,  C07C217/40 ,  G02B1/12 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/311 ,  H05K3/0076 ,  H05K3/0079 ,  H05K3/0082 ,  H05K3/30 ,  H05K2203/0548

Abstract: 提供了一种化合物，其增大光固化性组合物的光固化速度并且降低固化物与模具的脱模力。一种化合物由通式(1)表示：其中Rf表示至少一部分由氟取代的烷基，RO表示氧化烯基或氧化烯基的重复结构，N表示氮原子，RA表示烷基，和RB表示烷基或氢原子。

公开(公告)号：CN105659358A

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201480051516.7

申请日：2014-09-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织 ,  川崎阳司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  B81C1/00 ,  G03F7/20

Abstract: 一种膜的生产方法，其包括：将光固化性组合物配置在基板上的配置步骤；使所述光固化性组合物和模具彼此接触的模具接触步骤；用光照射所述光固化性组合物从而形成固化产物的光照射步骤；和使所述固化产物和所述模具彼此脱离的脱模步骤，其中所述方法进一步包括在所述光照射步骤之前将所述模具与所述基板彼此对准的对准步骤，其中所述光固化性组合物至少包含作为组分(A)的聚合性化合物和作为组分(B)的光聚合引发剂，并且其中当所述聚合性化合物在0.12mW/cm2的照度和11.0秒的曝光时间的条件下曝光时，所述聚合性化合物具有50％以上的聚合转化率。

公开(公告)号：CN105493236A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201480047347.X

申请日：2014-08-22

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 本间猛 ,  伊藤俊树 ,  加藤顺 ,  米泽诗织 ,  川崎阳司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/50

CPC classification number: C08F2/50 ,  C09D4/00 ,  G02B1/12 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/031 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/31155 ,  C08F2220/1875 ,  C08F2220/185 ,  C08F2222/1013 ,  C08F2222/102

Abstract: 一种光压印用固化性组合物，其至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并满足式(1)和(2)：0.800≤Er10/Er200(1)，2.55GPa≤Er10(2)，其中，Er10表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于10mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)；和Er200表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于200mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。

公开(公告)号：CN109075034A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780022394.2

申请日：2017-03-31

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 加藤顺 ,  本间猛 ,  伊藤俊树 ,  都筑英寿

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 一种固化物图案的制造方法，所述方法包括：第一步骤(配置步骤)，将包含固化性组合物(α1)的层配置于基板上；和第二步骤(施加步骤)，将固化性组合物(α2)的液滴离散地施加在包含固化性组合物(α1′)的层上，所述固化性组合物(α1′)包含除了溶剂组分(D)以外的所述固化性组合物(α1)中的组分；其中所述固化性组合物(α1)的粒径为0.07μm以上的颗粒的个数浓度为小于2021个/mL，并且所述固化性组合物(α1′)具有比所述固化性组合物(α2)大的表面张力。

公开(公告)号：CN107251193A

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201680012435.5

申请日：2016-02-23

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 加藤顺 ,  本间猛 ,  伊藤俊树

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C59/005 ,  B29C59/02 ,  B29D11/00269 ,  B29D11/00769 ,  B29K2033/08 ,  C08L35/02 ,  C08L2205/02 ,  C08L2205/03 ,  G02B1/04 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/16 ,  H01L21/266 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/481 ,  H05K3/0017 ,  H05K3/0079

Abstract: 提供一种纳米压印液体材料，其中粒径为0.07μm以上的颗粒的粒子数浓度小于310个/mL。

公开(公告)号：CN107078025A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580045586.6

申请日：2015-08-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织

IPC: H01L21/027 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50

Abstract: 一种光固化性组合物，其含有满足OA＝NA/(NC,A‑NO,A)的聚合性化合物(A)，其中NA、NC,A和NO,A分别表示(A)中的原子总数、碳原子数和氧原子数；和含有至少一种包括光聚合引发剂(B)的化合物(X)的非聚合性组分(E)，比例在相对于(A)和(E)的总重量为10％至50％的范围内。组分(E)具有250以下的重均分子量。化合物(X)满足OX＝NX/(NC,X‑NO,X)。NX、NC,X和NO,X分别表示相应化合物(X)中的原子总数、碳原子数和氧原子数。组合物满足：OA‑OE>1.00且OAE

公开(公告)号：CN106537557A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201580037057.1

申请日：2015-06-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 本间猛 ,  伊藤俊树 ,  大谷智教 ,  岩下和美

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  B32B27/00 ,  C09J4/02 ,  C09J11/06

Abstract: 在纳米压印过程中，光固化产物经常与基板分离并且由于光固化产物与基板之间的粘合性不足而附着至模具。这导致图案分离的缺陷。一种用于在基板与光固化性组合物之间形成粘着层的粘着层组合物，其包括具有至少两个官能团的化合物(A)和溶剂(B)。所述官能团包括：至少一个能够结合至基板的官能团，其选自由羟基、羧基、硫醇基、氨基、环氧基和(封端的)异氰酸酯基组成的组；和至少一个氢供给性基团，其作为能够结合至光固化性组合物的官能团。

公开(公告)号：CN102343711B

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201110199354.X

申请日：2011-07-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 中岛芳纪 ,  福岛达弥 ,  藤元康徳 ,  本间猛

IPC: B41J2/01

CPC classification number: B41J19/142 ,  B41J2/2132

Abstract: 本发明涉及喷墨打印装置和打印方法。形成锐利的图像，而不存在依赖于打印方向的围绕要求打印区域的外周墨扩散的变化。在通过扫描打印介质使用喷射可视为黑色并具有相对高的渗入打印介质的渗透特性的第一墨和具有相对低的渗透特性的第二墨的打印头打印图像时，打印装置使用第二墨在至少打印介质的要求打印区域的非边缘区域上进行打印，并且使用第一墨在由边缘区域包围的非边缘区域上进行打印。打印头包括喷射第一墨的第一喷嘴阵列和喷射第二墨的多个第二喷嘴阵列。多个第二喷嘴阵列在扫描方向上被布置在第一喷口阵列的相对的两侧。