高介电系数栅电介质材料铝酸钛薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN100435350C

    公开(公告)日:2008-11-19

    申请号:CN200610038030.7

    申请日:2006-01-25

    Applicant: 南京大学

    Inventor: 刘治国 石磊

    Abstract: 本发明公开了一种高介电系数栅电介质材料铝酸钛薄膜及其制备方法,该薄膜的化学式为(TiO2)x(Al2O3)1-x,其中x的取值范围为0.1≤x≤0.3,其制备方法是启动脉冲激光器(1),使脉冲激光束通过聚焦透镜(9)将激光束聚焦在TAO陶瓷靶材(8)上,用脉冲激光剥离TAO陶瓷靶材(8),产生的激光离子体沉积在硅衬底材料上而制得铝酸钛薄膜,物理厚度为5nm的该非晶态薄膜,具有较高的热力学稳定性,其介电常数为17.8,等效氧化物厚度为1.25nm,漏电流为2.76×10-4A/cm2,界面层仅为1-2个原子层厚度。

    高介电系数栅电介质材料铝酸钛薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN1862827A

    公开(公告)日:2006-11-15

    申请号:CN200610038030.7

    申请日:2006-01-25

    Applicant: 南京大学

    Inventor: 刘治国 石磊

    Abstract: 本发明公开了一种高介电系数栅电介质材料铝酸钛薄膜及其制备方法,该薄膜的化学式为(TiO2)x(Al2O3)1-x,其中x的取值范围为0.1≤x≤0.3,其制备方法是启动脉冲激光器(1),使脉冲激光束通过聚焦透镜(9)将激光束聚焦在TAO陶瓷靶材(8)上,用脉冲激光剥离TAO陶瓷靶材(8),产生的激光离子体沉积在硅衬底材料上而制得铝酸钛薄膜,物理厚度为5nm的该非晶态薄膜,具有较高的热力学稳定性,其介电常数为17.8,等效氧化物厚度为1.25nm,漏电流为2.76×10-4A/cm2,界面层仅为1-2个原子层厚度。

    一种基于视频的道路防堵塞方法及实现装置

    公开(公告)号:CN102592461B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201210052491.5

    申请日:2012-03-02

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于视频的道路防堵塞方法及实现装置,包括以下步骤:步骤一,在路口各个方向交通灯处安装视频装置,并设置视频图像中指定区域为道路堵塞的标志区域;步骤二,某方向车辆允许通行后,相应通行方向的控制模块开始工作;步骤三,控制模块根据相应堵塞范围视频图像做出检测判断,控制信号灯禁止或允许车辆通行;步骤四,某方向车辆禁止通行后,该方向控制模块停止工作。本发明克服了传统交通信号灯无法依据实际道路情况指挥交通的不足,且能够保证闲时道路畅通,控制简单,效果突出。

    一种基于视频的道路防堵塞方法及实现装置

    公开(公告)号:CN102592461A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201210052491.5

    申请日:2012-03-02

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于视频的道路防堵塞方法及实现装置,包括以下步骤:步骤一,在路口各个方向交通灯处安装视频装置,并设置视频图像中指定区域为道路堵塞的标志区域;步骤二,某方向车辆允许通行后,相应通行方向的控制模块开始工作;步骤三,控制模块根据相应堵塞区域视频图像做出检测判断,控制信号灯禁止或允许车辆通行;步骤四,某方向车辆禁止通行后,该方向控制模块停止工作。本发明克服了传统交通信号灯无法依据实际道路情况指挥交通的不足,且能够保证闲时道路畅通,控制简单,效果突出。

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