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公开(公告)号:CN100373209C
公开(公告)日:2008-03-05
申请号:CN200410028717.3
申请日:2004-03-15
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 微型振荡元件包括振荡部分和框架。振荡部分设有镜面并通过梯形的第一和第二弹簧与框架相连。振荡部分位于第一弹簧和第二弹簧之间。第一弹簧和第二弹簧的每一个都可随振荡部分的振荡发生形变。
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公开(公告)号:CN100350294C
公开(公告)日:2007-11-21
申请号:CN02829744.X
申请日:2002-10-10
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , G02B26/085 , H02N1/008
Abstract: 一种微型可动元件(X1),具有在材料基板上一体成形的可动部(111)、框架(112)、和连接可动部与框架的连接部(113),所述材料基板具有由含有中心导体层(110b)的多个导体层(110a~110c)和夹在导体层(110a~110c)间的绝缘层(110d、110e)构成的叠层结构。可动部(111)包含来源于中心导体层(110b)的第一结构体。框架(112)包含来源于中心导体层(110b)的第二结构体。连接部(113)包含多个扭杆(113a、113b),该多个扭杆(113a、113b)来源于中心导体层(110b),将第一结构体和第二结构体相连接,且相互电分离。
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公开(公告)号:CN101013640A
公开(公告)日:2007-08-08
申请号:CN200710007380.1
申请日:2007-01-31
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 本发明涉及一种微开关器件及其制造方法。所述微开关器件包括:基部;固定部,与所述基部接合;可移动部,沿所述基部延伸,并具有固定至所述固定部的固定端;可移动接触电极膜,设置在所述可移动部的与所述基部相反的一侧;一对固定接触电极,与所述固定部接合,并具有与所述可移动接触电极膜相对的区域;可移动驱动电极膜,设置在所述可移动部的与所述基部相反的一侧;以及固定驱动电极,具有与所述可移动驱动电极膜相对的区域。所述可移动驱动电极膜比所述可移动接触电极膜薄。所述固定驱动电极与所述固定部接合,且所述固定部与所述基部接合。
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公开(公告)号:CN1979714A
公开(公告)日:2007-06-13
申请号:CN200610146780.6
申请日:2006-11-24
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/018 , G02B6/3566 , G02B6/357 , G02B6/3584 , H01H59/0009 , H01H2059/0054
Abstract: 本发明公开了一种开关。该开关包括:多个扭转弹簧,每个扭转弹簧的一端都固定在基板上;梁部分,所述多个扭转弹簧的另一端都固定于其上,其通过静电致动器进行摆动;以及开关接触部分,其中设置在所述梁部分处的第一触点和固定于所述基板上的第二触点处于连接或断开状态。
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公开(公告)号:CN1971877A
公开(公告)日:2007-05-30
申请号:CN200610148556.0
申请日:2006-11-16
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01L21/82 , H01L21/768 , H01L27/00 , H01L23/522 , H03H7/00
CPC classification number: H05K1/162 , H01F17/0006 , H01L23/5223 , H01L23/5227 , H01L27/016 , H01L2924/0002 , H05K1/165 , H05K3/108 , H05K3/4644 , H05K3/4647 , H05K3/465 , H05K2201/09563 , H05K2201/09763 , H05K2201/09845 , H05K2203/0733 , H05K2203/1476 , H01L2924/00
Abstract: 一种电子元件包括基底材料、电容器单元和布线部分。该电容器单元具有包括第一电极部分、第二电极部分和电介质部分的堆叠结构,其中该第一电极部分设置在该基底材料上,该第二电极部分包括面向该第一电极部分的第一表面和与该第一表面相对的第二表面,该电介质部分位于上述电极部分之间。该布线部分包括通孔部分,该通孔部分具有位于该基底材料侧的表面,并且该通孔部分经由位于该基底材料侧的表面接合至该第二电极部分的第二表面。该通孔部分的位于该基底材料侧的表面包括从该第二电极部分的第二表面的外围部分向外延伸的延伸部分。
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公开(公告)号:CN1945768A
公开(公告)日:2007-04-11
申请号:CN200610141688.0
申请日:2006-10-08
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H01H9/40 , H01H1/0036 , H01H9/42 , H01H2001/0078
Abstract: 一种开关包括:第一构件,其一端固定在基板上;多个第一梁部分,其分别具有多个第一接触部分,该多个梁部分的一端固定在所述第一构件上;多个接触开关部分,其并联连接,所述多个第一接触部分和多个第二接触部分在所述多个接触开关部分中处于接触状态或非接触状态;以及多个电阻器,其电阻器分别设置在所述多个接触开关部分与所述多个接触开关部分所连接到的公共连接点之间,当所述多个开关部分中的至少一个处于接触状态时,所述电阻器中的与所述多个开关部分中的处于接触状态的所述至少一个开关部分相对应的一个电阻器的电阻值大于所述电阻器中的与所述多个接触开关部分中的处于非接触状态的至少一个接触开关部分相对应的另一个电阻器的电阻值。
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公开(公告)号:CN1835188A
公开(公告)日:2006-09-20
申请号:CN200610058970.2
申请日:2006-03-09
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/316 , Y10T29/42
Abstract: 一种微移动器件,包括:基础衬底;固定部,其与基础衬底接合;可移动部,其具有连接至固定部的固定端,并沿着基础衬底延伸;以及压电驱动部,其设置在可移动部和固定部与基础衬底相反的一侧上。压电驱动部具有由第一电极膜、第二电极膜以及位于第一和第二电极膜之间的压电膜构成的层叠结构,该第一电极膜与可移动部和固定部接触。可移动部和固定部中的至少一个设置有沿着压电驱动部延伸的沟槽。
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公开(公告)号:CN1782779A
公开(公告)日:2006-06-07
申请号:CN200510125085.7
申请日:2005-11-18
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: H02N1/008 , G02B26/0841
Abstract: 一种微振荡元件,包括框架以及经扭转接合部件连接到框架的振荡部件。振荡部件包括可移动操作部件、臂部件以及第一梳齿电极。臂部件从可移动操作部件延伸。第一梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从臂部件延伸的多个第一电极齿。微振荡元件还包括第二梳齿电极,以与第一梳齿电极配合使得振荡部件绕着扭转接合部件限定的振荡轴振荡。第二梳齿电极包括在与臂部件相交的方向上从框架延伸的多个第二电极齿。
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公开(公告)号:CN103430272B
公开(公告)日:2015-12-02
申请号:CN201180069268.5
申请日:2011-06-02
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01H59/00
CPC classification number: B81B3/0018 , B81C1/00134 , H01H59/0009
Abstract: 本申请的提供一种提高电子器件的可靠性的电子器件及其制造方法、电子器件的驱动方法。所述电子器件(20)包括:基材(21);导电膜(31),具备固定在基材(21)上的第一端部(33)和第二端部(34),在第一端部(33)和第二端部(34)之间相对于基材(21)能够横向移动;第一驱动电极(25),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第一主表面(31a)相向的位置,并被施加第一驱动电压(V1);第二驱动电极(26),设置于基材(21)上的与导电膜(31)的第二主表面(31b)相向的位置,并被施加第二驱动电压(V2);端子(28),设置于基材(21)上的能够与导电膜(31)的第二主表面(31b)接触的位置。
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公开(公告)号:CN102190275B
公开(公告)日:2014-10-15
申请号:CN201110043026.0
申请日:2011-02-21
Applicant: 富士通株式会社
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81C1/00698 , B81B2201/0221 , H01G5/18
Abstract: 本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极,并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层,所述方法包括以下步骤:在固定电极和可动电极之间施加第一电压,使可动电极与电介质层进行接触,并且,在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前,在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反,并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。
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