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公开(公告)号：CN105474380A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201480043375.4
申请日：2014-06-02
申请人： 村田机械株式会社
IPC分类号： H01L21/673 , G03F1/66 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/67389 , G03F1/66 , H01L21/67393
摘要： 本发明的气体清洗装置及气体清洗方法，使弹性体气体导入部不因与喷嘴接触被损伤，而且使气体导入部与喷嘴不粘连。从喷嘴向定位容器、同时设置在容器的底部、底面为圆形、中心部有气体导入孔、并且由弹性体构成的气体导入部导入清洗气体。喷嘴具备气体导入部的底面以上的尺寸并且平面状的顶端面、和位于顶端面的中心部并且为容器的气体导入孔以下尺寸的喷嘴孔，顶端面被表面粗糙化或者用低摩擦系数的材料构成，从而顶端面与气体导入部滑动自由。
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公开(公告)号：CN104603032A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201380043277.6
申请日：2013-06-21
申请人： 村田机械株式会社
IPC分类号： B65G1/14 , B65G1/00 , H01L21/673
CPC分类号： B08B5/02 , B65G1/00 , B65G45/00 , H01L21/67393 , H01L21/67769 , H01L21/67775 , Y10T137/4238
摘要： 本发明涉及具备清洗功能的储料器、储料器单元以及向储料器内的容器供给洁净气体的方法。本发明提供具备清洗功能的区域与不具备清洗功能的区域能够共存并且能够容易地将不具备清洗功能的区域变更为具备清洗功能的区域的储料器。在能够沿上下方向或者水平方向将不具备洁净气体的供给用喷嘴的货架安装有多个的储料器的框架中，安装有储料器单元的基体。储料器单元具备沿基体设置的洁净气体的供给用的管、以及被安装于基体并且沿上下方向或者水平方向排列的多个带清洗功能货架，货架自如地支承容器，并且具备从管将洁净气体供给至容器的喷嘴。
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公开(公告)号：CN107924856B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201680048893.4
申请日：2016-06-20
申请人： 村田机械株式会社
IPC分类号： H01L21/673 , B65G1/00
摘要： 本发明提供一种能够与容器的种类对应而适当地进行吹净的吹净装置。吹净装置(4A)具备:种类检测部(41)，其对吹净对象的容器(F)的种类进行检测；吹净控制部(42)，其基于种类检测部的检测结果来决定对容器的吹净条件。
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公开(公告)号：CN105474380B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201480043375.4
申请日：2014-06-02
申请人： 村田机械株式会社
IPC分类号： H01L21/673 , G03F1/66 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/67389 , G03F1/66 , H01L21/67393
摘要： 本发明的气体清洗装置及气体清洗方法，使弹性体气体导入部不因与喷嘴接触被损伤，而且使气体导入部与喷嘴不粘连。从喷嘴向定位容器、同时设置在容器的底部、底面为圆形、中心部有气体导入孔、并且由弹性体构成的气体导入部导入清洗气体。喷嘴具备气体导入部的底面以上的尺寸并且平面状的顶端面、和位于顶端面的中心部并且为容器的气体导入孔以下尺寸的喷嘴孔，顶端面被表面粗糙化或者用低摩擦系数的材料构成，从而顶端面与气体导入部滑动自由。
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公开(公告)号：CN104937709B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201480005157.1
申请日：2014-01-30
申请人： 村田机械株式会社
IPC分类号： H01L21/677 , G01F1/00
CPC分类号： G01F1/56 , G01F1/28 , H01L21/67253 , H01L21/67393 , H01L21/67769
摘要： 本发明的测量单元测量收容了个数比平均数少的物品的容器(6)内的净化气体的流量。利用测量单元(30)测量从搁板座的喷嘴提供的净化气体的流量。测量单元(30)具备：基板(32)；配置在基板(32)的底面、与搁板座(20)的喷嘴(24)接触、用来自基板(32)的载荷与喷嘴(24)之间保持气密的同时导入净化气体的气体导入部(36)；具有测量净化气体流量的流量计(41)和电源(40)的电路部；相对于基板(32)沿上下方向位移自由、将测量单元(30)自重的一部分支承在搁板座(20)上的多个腿部(38)。
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公开(公告)号：CN105917458A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201580005110.X
申请日：2015-03-09
申请人： 村田机械株式会社
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67389 , H01L21/67373 , H01L21/67393 , H01L21/67769
摘要： 净化装置(30)具备：调整在供给管(31)中朝收纳容器供给的净化气体的供给流量的供给流量调整部(35、41)；以及调整在排出管(33)中从收纳容器的内部吸气的净化气体的吸气流量以使得收纳容器的内部(54)的压力相对于收纳容器的外部不会成为负压的吸气流量调整部(37、42)，供给流量调整部能够以第1流量(f1)以及比第1流量大的流量即第2流量(f2)至少两个阶段调整供给流量，吸气流量调整部在供给流量为第1流量的情况下使吸气流量为零。
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公开(公告)号：CN105900226A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201480072331.4
申请日：2014-12-03
申请人： 村田机械株式会社
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67389 , H01L21/67017 , H01L21/67379 , H01L21/67393 , H01L21/67769 , H01L21/67772
摘要： 将容器载置于净化装置的规定位置以容器不被喷嘴卡住。在使容器下降而将其载置于净化装置时，利用前部引导件、侧部引导件以及中心引导件，对容器底面的前端、凹部的前端的对置的两边以及容器底部的左右两侧端的对置的两边进行引导。接下来使喷嘴与容器的底部接触。
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公开(公告)号：CN105453247A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201480045357.X
申请日：2014-07-17
申请人： 村田机械株式会社
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67393 , G01N33/0036 , G05D7/0617 , H01L21/67017 , H01L21/67389 , H01L21/67769
摘要： 本发明目的在于，确保作业人员的安全并且将停止吹扫的范围限制在最小限度。将装置的内部空间分割成作业区域和非作业区域，停止作业区域中的向物品的吹扫，并继续进行非作业区域中的向物品的吹扫。测量作业区域内的氧浓度，若作业区域内的氧浓度降低到规定值以下，则停止非作业区域中的向物品的吹扫。
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公开(公告)号：CN117461122A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202280040909.2
申请日：2022-07-20
申请人： 村田机械株式会社
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本发明涉及一种净化装置。净化装置(10)具备：通过移载装置(30)移载容器(F)的载置部(8)；设置在载置部(8)的净化喷嘴(11)；以实施经由净化喷嘴(11)向载置在载置部(8)的容器(F)内供给净化气体的净化处理的方式进行控制的控制器(13)；以及在移载装置(30)使容器(F)从载置部(8)的正面侧或者里侧进入载置部(8)的正上方的情况下，检测移载装置(30)或者容器(F)向载置部(8)的正上方的进入的进入检测传感器(18、28)。控制器(13)进行控制，以便基于进入检测传感器(18、28)的检测结果，在净化处理的实施之前从净化喷嘴(8)排出净化气体。
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公开(公告)号：CN109314075B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN201780034836.5
申请日：2017-05-08
申请人： 村田机械株式会社
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673
摘要： 本发明涉及容器保管装置及容器保管方法。抑制由于从容器的盖泄漏的气体而使周围环境恶化。容器保管装置(1A)具备向所保管的容器(2)内供给清洗气体的清洗装置(24)和配置在容器(2)的盖(2c)附近并吸引盖(2c)周围的环境气体的吸引装置(24)。
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