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公开(公告)号：CN102498666B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201080041253.3
申请日：2010-09-15
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/19 , H03H9/1021
Abstract: 在压电振动片中，在主面形成为矩形的基板中一体地设置了形成一对激励电极而构成了振动区域的振动部、和形成了与外部接合的一对端子电极的接合部。在所述一对端子电极中分别形成了导电性凸块，所述一对端子电极与所述一对激励电极分别电连接。另外，形成了所述一对端子电极的位置的所述基板成形为凸状的柱状部。
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公开(公告)号：CN102171925B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN200980139305.8
申请日：2009-08-04
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H9/1035 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供了一种压电振动装置的密封构件。该压电振动装置的密封构件是将形成有激励电极的压电振动片的上述激励电极气密性密封的构件。该密封构件包括使两主面的电极图案导通的贯通孔，贯通孔内填充导通构件。贯通孔的在基体内部的直径小于在密封构件的两端面上的直径。导通构件的两端面相对于密封部件的基体的两主面呈凹形。
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公开(公告)号：CN102498666A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201080041253.3
申请日：2010-09-15
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/19 , H03H9/1021
Abstract: 在压电振动片中，在主面形成为矩形的基板中一体地设置了形成一对激励电极而构成了振动区域的振动部、和形成了与外部接合的一对端子电极的接合部。在所述一对端子电极中分别形成了导电性凸块，所述一对端子电极与所述一对激励电极分别电连接。另外，形成了所述一对端子电极的位置的所述基板成形为凸状的柱状部。
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公开(公告)号：CN102171925A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200980139305.8
申请日：2009-08-04
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H9/1035 , Y10T29/42
Abstract: 提供了一种压电振动装置的密封构件。该压电振动装置的密封构件是将形成有激励电极的压电振动片的上述激励电极气密性密封的构件。该密封构件包括使两主面的电极图案导通的贯通孔，贯通孔内填充导通构件。贯通孔的在基体内部的直径小于在密封构件的两端面上的直径。导通构件的两端面相对于密封部件的基体的两主面呈凹形。
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公开(公告)号：CN113228256B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN201980085960.3
申请日：2019-12-19
Applicant: 株式会社大真空
Abstract: 本发明的压电振动器件中，第一密封构件(20)与晶体振动片(10)接合、第二密封构件(30)与晶体振动片(10)接合，从而形成将包括第一激励电极(111)和第二激励电极(112)的晶体振动片(10)的振动部(11)气密密封的内部空间，第二密封构件(30)上形成有贯穿孔(33)，贯穿孔(33)的内壁面上形成有将第一主面(301)上形成的电极(34)与第二主面(302)上形成的外部电极端子(32)导通的贯穿电极(331)，贯穿电极(331)上设置有针对焊料(120)的耐侵蚀结构，贯穿电极(331)通过金以外的导电性金属使第一主面(301)的电极(34)与第二主面(302)的外部电极端子(32)导通。
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公开(公告)号：CN110463037B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201880021121.0
申请日：2018-06-04
Applicant: 株式会社大真空
Inventor： 吉冈宏树
IPC: H03H9/19
Abstract: 本发明涉及晶体振动片及晶体振动器件。晶体振动片(2)中，保持部(24)只从位于振动部(22)的+X方向及‑Z′方向的一个角部朝着‑Z′方向延伸到外框部(23)。另外，振动部(22)和保持部(24)的至少一部分为比外框部(23)厚度薄的蚀刻区域(Eg)，在蚀刻区域(Eg)的边界上形成有台阶，第一引出布线(223)被构成为，与该台阶重叠地从保持部(24)延伸到外框部(23)。与第一引出布线(223)重叠的部分的台阶的至少一部分被形成为俯视时不与X轴平行。
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公开(公告)号：CN113228256A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980085960.3
申请日：2019-12-19
Applicant: 株式会社大真空
Abstract: 本发明的压电振动器件中，第一密封构件(20)与晶体振动片(10)接合、第二密封构件(30)与晶体振动片(10)接合，从而形成将包括第一激励电极(111)和第二激励电极(112)的晶体振动片(10)的振动部(11)气密密封的内部空间，第二密封构件(30)上形成有贯穿孔(33)，贯穿孔(33)的内壁面上形成有将第一主面(301)上形成的电极(34)与第二主面(302)上形成的外部电极端子(32)导通的贯穿电极(331)，贯穿电极(331)上设置有针对焊料(120)的耐侵蚀结构，贯穿电极(331)通过金以外的导电性金属使第一主面(301)的电极(34)与第二主面(302)的外部电极端子(32)导通。
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公开(公告)号：CN102265514A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200980152643.5
申请日：2009-12-24
Applicant: 株式会社大真空
CPC classification number: H01L41/332 , B01D2325/02 , C23C8/40 , C23C12/00 , H01L23/3731 , H01L23/3732 , H01L23/3733 , H01L31/18 , H01L31/1804 , H01L41/23 , H01L41/25 , H01L41/29 , H01L41/33 , H01L2924/0002 , H03H3/02 , H03H9/0547 , H03H9/0552 , H03H9/1035 , H03H9/19 , H03H2003/045 , H03H2003/0457 , Y10T29/42 , H01L2924/00
Abstract: 在压电振动设备中，设有形成激励电极的压电振动板和将所述激励电极进行气密密封的上盖构件及下盖构件，在所述压电振动板的表背主面具有所述上盖构件及所述下盖构件的各接合区域，在所述上盖构件的一个主面具有与所述压电振动板的接合区域，在所述下盖构件的一个主面具有与所述压电振动板的接合区域。在所述压电振动板的接合区域、所述上盖构件的接合区域及所述下盖构件的接合区域中分别形成有接合材料。所述压电振动板的接合区域和所述上盖构件的接合区域经由所述接合材料而被接合，所述压电振动板的接合区域和所述下盖构件的接合区域经由所述接合材料而被接合。另外，所述压电振动板的接合区域的基体、所述上盖构件的接合区域的基体及所述下盖构件的接合区域的基体中的至少一个被面粗化。
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