一种基于传感器的FPD机械手动态玻璃纠偏方法

    公开(公告)号:CN115112013B

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202110493751.1

    申请日:2021-05-07

    摘要: 本发明涉及FPD机械手搬送玻璃的纠偏领域,具体地说是一种基于传感器的FPD机械手动态玻璃纠偏方法,该方法可用于平板显示行业生产线中机械手对玻璃进行搬送的系统中。通过采用将光电传感器和激光测微仪传感器两种传感器安装在机械手上的方法,在机械手取放玻璃的过程中利用传感器检测的玻璃数据与标定的玻璃数据进行比较,计算出玻璃的偏置情况。再根据计算出的玻璃偏置数据,控制机械手补偿这些偏差,从而实现机械手在取放玻璃的过程中动态完成玻璃的纠偏。本发明无需额外的纠偏辅助装置:控制机械手在取放玻璃的同时进行偏差补偿,实现对玻璃的纠偏,不需要增加额外的纠偏辅助装置。

    一种双末端机械手的晶圆纠偏系统及方法

    公开(公告)号:CN115167198B

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202210703600.9

    申请日:2022-06-21

    摘要: 本发明属于半导体制造领域,具体说是一种双末端机械手的晶圆纠偏系统及方法,包括:主控制器、手操器、IO板、驱动器以及纠偏传感器;主控制器,用于接收手操器获取到的纠偏配置数据,并通过总线发出纠偏配置数据到IO板;主控制器还接收驱动器读取到的晶圆位置数据,并根据晶圆位置数据获取晶圆的实际位置,计算偏差值;IO板,用于接收主控制器发送的纠偏配置数据,同时,采集纠偏传感器对应的IO点的状态,并进行判断,若发生变化,生成双末端机械手的位置锁存信号发送至驱动器对应的输入通道。本发明解决了双末端机械手两个末端晶圆位置数据混淆的问题,实现双末端机械手晶圆纠偏,提高晶圆传输效率和位置准确度。

    一种基于传感器触发的晶圆测试方法

    公开(公告)号:CN115116885A

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN202111569702.8

    申请日:2021-12-21

    IPC分类号: H01L21/67 H01L21/687

    摘要: 本发明涉及一种基于传感器触发的晶圆检测方法,包括以下步骤:机器人在升降过程中不断触发传感器;通过传感器触发实时记录当前位置码盘值;通过触发时刻记录的码盘值、以及上升沿和下降沿,进行晶圆槽内晶圆状态的检测。本发明实现了洁净机器人能够快速并准确的扫描FOUP/Cassette内晶圆数量和状态,实现取放功能。实现了机器手在传输晶圆过程中的自动扫描功能,保证了机器手取放晶圆的效率。发明点为机器手可以通过第一次自动学习后,后续取放片时准确识别检测检测FOUP/Cassette的晶圆数量,大大提高半导体前端的传输效率。

    一种地面烘干装置和系统
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109965789B

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN201711455491.9

    申请日:2017-12-28

    IPC分类号: A47L11/30 A47L11/40 F26B21/00

    摘要: 本发明提供了一种地面烘干装置和系统,所述装置包括行走单元、本体、动力单元、控制单元、摄像单元、抽吸单元、烘干单元;所述抽吸单元包括真空泵、吸扒和吸扒管,所述吸扒通过吸扒管与污水箱连接,所述真空泵装置在污水箱上,其抽风口与污水箱连通。当控制单元识别出图像信息中存在较多的积水时,可以通过动力单元驱动行走单元移动至相应区域,并控制吸扒对积水区域进行反复擦拭,从而达到清理积水的目的。当积水清理完成后,控制单元还用于启动烘干单元,对积水清理后的区域进行烘干处理。本发明的地面烘干装置可以替代保洁人员,对地面上积水较多的区域进行清洁、烘干操作,不仅提高了清洁效率,同时也节约了人力成本。

    用于机器人检测运动物体的方法

    公开(公告)号:CN108122243B

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN201611061960.4

    申请日:2016-11-26

    IPC分类号: G06T7/292

    摘要: 本发明涉及机器人视觉技术领域,具体公开一种用于机器人检测运动物体的方法,包括以下步骤,S1、所述三个视觉传感器获取场景的灰度图像;S2、通过图像的帧间差和特征点匹配算法估算所述运动物体的运动速度;S3、根据识别的快速移动物体位置,控制所述单点激光传感器精确测量所述运动物体的运动速度。本发明监控的运动物体移动速度可以达到1m/s,可快速检测移动的物体,并引导机器人避开障碍物,实现机器人的快速避障。

    辅助行走车及其控制方法
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109199802B

    公开(公告)日:2021-04-06

    申请号:CN201710514720.3

    申请日:2017-06-29

    IPC分类号: A61H3/04

    摘要: 本发明提供的辅助行走车及其控制方法,在老人辅助行走车的轮上加上电机驱动,来帮助老人来推动辅助车,上坡的时候老人不需要很大的力气去推车,下坡的时候也不需要老人用很大的力气拽车,可以通过智能检测提供不同助力,便于辅助行走车适应不同走路场景,满足用户多种场合的需要,进一步地,本发明的辅助行走车还能在老人突然有跌倒时起到一定的支持作用。

    物品回收系统和物品回收方法

    公开(公告)号:CN109977975A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201711456501.0

    申请日:2017-12-28

    IPC分类号: G06K9/62

    摘要: 本发明提供了一种物品回收系统,包括机器人和服务器;所述机器人包括控制模块,以及分别与控制模块连接的用于检测是否有用户停留在机器人前方的传感器、用于采集物品图像信息的摄像模块、用于输入物品分类信息的人机交互模块、用于将所述物品图像信息和物品分类信息上传至服务器的通信模块;所述服务器用于接收通信模块上传的物品图像信息和用户输入的物品分类信息,服务器包括用于处理物品图像信息以生成物品特征信息的视觉处理模块,用于根据物品特征信息构建物品特征模型的学习模块,以及用于存储所述物品特征模型和用户通过人机交互模块输入的物品分类信息的视觉库。本发明可以实现准确高效的物品分类回收。

    一种地面烘干装置和系统
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109965789A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201711455491.9

    申请日:2017-12-28

    IPC分类号: A47L11/30 A47L11/40 F26B21/00

    摘要: 本发明提供了一种地面烘干装置和系统,所述装置包括行走单元、本体、动力单元、控制单元、摄像单元、抽吸单元、烘干单元;所述抽吸单元包括真空泵、吸扒和吸扒管,所述吸扒通过吸扒管与污水箱连接,所述真空泵装置在污水箱上,其抽风口与污水箱连通。当控制单元识别出图像信息中存在较多的积水时,可以通过动力单元驱动行走单元移动至相应区域,并控制吸扒对积水区域进行反复擦拭,从而达到清理积水的目的。当积水清理完成后,控制单元还用于启动烘干单元,对积水清理后的区域进行烘干处理。本发明的地面烘干装置可以替代保洁人员,对地面上积水较多的区域进行清洁、烘干操作,不仅提高了清洁效率,同时也节约了人力成本。