公开(公告)号：CN116153805A

公开(公告)日：2023-05-23

申请号：CN202210802418.9

申请日：2022-07-07

申请人： 细美事有限公司

发明人： 金相吴 ,  李明振

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

摘要： 本发明提供一种提升效率和生产率的基板处理装置。本发明的基板处理装置包括：工艺腔室，其内部具有处理空间；运送机器人，其将基板移入和移出处理空间，并包括用于抓取基板的机械手；以及示教缓冲器，其布置机械手，其中，示教缓冲器包括：示教板，其提供参考点；以及至少一个相机，其面向示教板，其中，相机拍摄示教板的参考点，运送机器人通过使用相机将机械手与参考点对齐。

公开(公告)号：CN113471117A

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202110158126.1

申请日：2021-02-04

申请人： 细美事有限公司

发明人： 李娜贤 ,  金相吴 ,  李明振 ,  边熙宰

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本发明涉及塔式升降机、塔式升降机驱动方法和机器可读介质。一种塔式升降机包括：轨道模块，所述轨道模块在竖直方向上延伸；多个托架模块，所述多个托架模块沿着所述轨道模块可移动，各托架模块具有运送物体的托架；以及干扰避免模块，所述干扰避免模块避免在沿着所述轨道模块移动的所述托架模块之间的行进干扰。

公开(公告)号：CN112151412B

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202010587593.1

申请日：2020-06-24

申请人： 细美事有限公司

发明人： 金相吴 ,  宋峻浩 ,  李明振 ,  边熙宰

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

摘要： 提供了传送机器人和具有传送机器人的基板处理装置。基板处理装置包括传送腔室、预真空锁腔室、工艺单元、轨道和传送机器人，其中：传送腔室具有朝向一侧伸长的形状，并且提供基板的移动空间；预真空锁腔室连接到传送腔室，以提供与传送腔室交换工艺前的基板或工艺后的基板的空间；工艺单元连接到传送腔室，以执行针对从传送腔室传递的基板的工艺；轨道设置在传送腔室内，以提供基板的移动路径；以及传送机器人能够以非接触方式沿着轨道移动，并且进入或退出预真空锁腔室以在预真空锁腔室与传送腔室之间交换基板。

公开(公告)号：CN116789029A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202210277920.2

申请日：2022-03-16

申请人： 细美事有限公司

发明人： 李明振 ,  金相吴 ,  边熙宰 ,  李娜贤

IPC分类号： B66F7/00 ,  B66F7/28 ,  F16D63/00 ,  F16D65/18 ,  F16D121/20

摘要： 本发明提供一种塔式升降机。所述塔式升降机包括：轨道模块，其沿竖直方向延伸；以及托架模块，其设置成可通过磁悬浮方式沿所述轨道模块移动，其中在所述托架模块中安装有制动单元，所述制动单元在切断驱动所述塔式升降机的电力时对所述托架模块的下落进行制动。

公开(公告)号：CN116199152A

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202210445362.6

申请日：2022-04-26

申请人： 细美事有限公司

发明人： 边熙宰 ,  金相吴 ,  李娜贤 ,  李明振

IPC分类号： B66F7/02 ,  B66F7/28 ,  B66F17/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677

摘要： 本记载的塔式升降机包括：主框架；第一滑架模组和第二滑架模组，在所述主框架的内部彼此连接且分别位于左侧以及右侧，并以彼此对应的重量形成，并且向上下方向移动；以及驱动模组，设置于所述主框架，并使所述第一滑架模组以及所述第二滑架模组向上下方向移动。

公开(公告)号：CN101045233B

公开(公告)日：2010-09-08

申请号：CN200710003655.4

申请日：2007-01-23

申请人： 细美事有限公司

发明人： 李晟熙 ,  李明振

IPC分类号： B08B3/02 ,  B08B7/04 ,  B08B1/00 ,  H01L21/00

CPC分类号： B08B3/022 ,  B08B1/02 ,  B08B1/04 ,  B08B2230/01 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67051

摘要： 本发明涉及一种处理基材的设备。根据本发明，利用向该基材上喷射高温和高压的蒸汽清洗该基材。设置蒸汽产生器在该基材上连续提供蒸汽。在利用蒸汽清洗之后，可以利用刷子清洗。