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公开(公告)号：CN103449357B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310174801.5
申请日：2013-05-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81B3/0075 , B81B2207/07 , B81B2207/096 , B81C1/00238 , B81C1/00674 , B81C2203/0109 , H01L2224/16225 , H01L2924/19105
Abstract: 本发明涉及用于实现混合集成部件的措施。部件（100）包括ASIC构件（10）、具有微机械结构（21）的第一MEMS构件（20）和第一罩晶片（30），微机械结构在第一MEMS衬底（10）整个厚度上延伸，第一罩晶片装配在微机械结构（21）上方。微机械结构（21）具有可偏转的结构元件（23）。在微机械结构（21）和构件（10）之间存在间隙。在构件（10）背侧装配第二MEMS构件（40）。第二构件（40）的微机械结构（41）在第二MEMS衬底（40）的整个厚度上延伸并且包括可偏转的结构元件。在该微机械结构（41）和构件（10）之间存在间隙并且在该微机械结构（41）上方装配第二罩晶片（50）。
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公开(公告)号：CN103512571A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310246606.9
申请日：2013-06-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5747
Abstract: 提出一种转速传感器，其中转速传感器的第一科里奥利质量具有第一和第二分区，转速传感器的第二科里奥利质量具有第三和第四分区，在第一分区对面设置与其构成第一电容的第一电极，在第二分区对面设置与其构成第二电容的第二电极，在第三分区对面设置与其构成第三电容的第三电极，在第四分区对面设置与其构成第四电容的第四电极，第一和第二科里奥利质量在衬底或驱动装置上的连接和各电极的布置和构造使得在围绕第一方向的旋转加速度下通过各分区的与探测方向平行的偏转或对各分区的与探测方向平行的力作用引起的第一和第三电容以及第二和第四电容的变化或者第一和第二电容以及第三和第四电容的变化相互补偿。
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公开(公告)号：CN102735229A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210088784.9
申请日：2012-03-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及一种具有第一科氏元件和第二科氏元件的旋转速率传感器和用于运行该旋转速率传感器的方法，其中，所述旋转速率传感器具有带有主延伸平面的衬底，所述旋转速率传感器具有用于平行于第二轴驱动所述第一科氏元件的第一驱动元件，所述旋转速率传感器具有用于平行于第二轴驱动所述第二科氏元件的第二驱动元件，所述旋转速率传感器具有用于检测所述第一科氏元件和所述第二科氏元件由于科氏力而平行于第一轴的偏转的检测装置，所述第二轴垂直于所述第一轴设置，所述第一轴和所述第二轴平行于所述主延伸平面设置，并且所述第一驱动元件和所述第二驱动元件通过驱动耦合元件机械地相互耦合。
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公开(公告)号：CN102288787A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110125993.1
申请日：2011-05-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/12
CPC classification number: G01P15/123 , G01P2015/0828 , G01P2015/086
Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器及相应的测量方法。本发明提供一种微机械传感器，该传感器包括至少一个基底和一个通过至少一个扭转梁(12)悬挂在基底上的振动质量块(11)，用于测量作用在所述振动质量块(11)上的物理量，其中，为了形成压阻材料，至少是所述至少一个扭转梁(12)的整个块体都被掺杂。本发明还提供一种借助于这种传感器测量惯性量或力的方法，在所述方法中，通过检测所述至少一个扭转梁(12)的电阻变化，确定作用在所述振动质量块(11)上的惯性量或力的大小，其中，为了检测电阻变化考虑所述扭转梁(12)的整个横截面。
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公开(公告)号：CN102269589A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201110157677.2
申请日：2011-06-02
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/56 , G01P15/125
CPC classification number: G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及一种旋转速率传感器(101)，包括：一驱动装置(103，109)；至少一个科里奥利元件(113)；一具有至少两个检测元件(119)的检测装置，所述检测元件利用一耦联装置(121，121a，121b，123)相互耦联，其中，所述驱动装置(103，109)与所述科里奥利元件(113)连接用于驱动所述科里奥利元件(113)振动；以及一与所述检测装置和所述科里奥利元件(113)连接的另外的耦联装置(127)，用于将所述科里奥利元件(113)在振动平面中在与振动正交的方向上的偏转耦联到所述检测装置上。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN103512571B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201310246606.9
申请日：2013-06-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5747
Abstract: 提出一种转速传感器，其中转速传感器的第一科里奥利质量具有第一和第二分区，转速传感器的第二科里奥利质量具有第三和第四分区，在第一分区对面设置与其构成第一电容的第一电极，在第二分区对面设置与其构成第二电容的第二电极，在第三分区对面设置与其构成第三电容的第三电极，在第四分区对面设置与其构成第四电容的第四电极，第一和第二科里奥利质量在衬底或驱动装置上的连接和各电极的布置和构造使得在围绕第一方向的旋转加速度下通过各分区的与探测方向平行的偏转或对各分区的与探测方向平行的力作用引起的第一和第三电容以及第二和第四电容的变化或者第一和第二电容以及第三和第四电容的变化相互补偿。
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公开(公告)号：CN106029554A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201580009172.8
申请日：2015-02-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81B7/0048 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2207/017 , B81C3/001 , B81C2201/0132 , B81C2201/019 , H01L2224/16225 , H01L2924/15311
Abstract: 本发明提出一种传感器单元，其具有第一半导体器件和第二半导体器件，其中，所述第一半导体器件具有第一衬底和传感器结构，其中，所述第二半导体器件具有第二衬底，其中，所述第一和第二半导体器件通过晶圆连接部彼此连接，其中，所述传感器单元具有脱耦结构，该脱耦结构配置为，使得所述传感器结构热机械地和/或机械地与所述第二半导体器件脱耦。
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公开(公告)号：CN102165283B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN200980137896.5
申请日：2009-08-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明涉及一种用于转动率传感器装置的耦合结构(40)，包括：至少一个第一振动质量(42a)，包围第一振动质量(42a)的第一框架，第一振动质量(42a)耦合到第一框架上；其中，第一框架包括四个角形元件(10a，10b，10c，10d)，这些角形元件(10a，10b，10c，10d)中的每个具有至少一个第一臂和至少一个第二臂并以第一臂和第二臂分别耦合到这四个角形元件(10a，10b，10c，10d)中的另一个相邻的角形元件(10a，10b，10c，10d)上。本发明还涉及另一种用于转动率传感器装置的耦合结构(40)、转动率传感器、用于转动率传感器装置的耦合结构(40)的制造方法以及用于转动率传感器装置的制造方法。
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