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公开(公告)号：CN113903641B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202010638881.5
申请日：2020-07-06
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/20 , H01J37/244
Abstract: 本发明公开了一种显微镜，包括：样品室和设置于所述样品室内的承载台、联动支撑机构、样品台、粒子光学镜筒，粒子光学镜筒设置于真空样品室内，联动支撑机构控制粒子光学镜筒移动，对样品室内的待测样品不同区域的观察。本发明提供的显微镜可直接观察大体积，大质量的待测样品。
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公开(公告)号：CN106680305B
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN201611038903.4
申请日：2016-11-23
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: G01N23/2251
Abstract: 本发明公开了一种真空气氛处理装置，所述装置的顶部与外部的电子束产生装置连接，其特征在于，所述装置为轴对称结构，所述装置从中心轴向外依次包括：中心通道、第一抽气通道、供气腔室和至少一个第二抽气腔室；其中，所述中心通道的出口处设置有压差光阑，用于维持中心通道与外界环境的压强差，并使所述电子束产生装置产生的电子束通过所述中心通道；所述第一抽气通道与所述中心通道连通，用于对所述中心通道抽气；所述供气腔室顶端连接有供气通道，用于对所述装置与待测样品之间的区域供气；所述第二抽气腔室的顶端连接有第二抽气通道，用于对所述装置与待测样品之间的区域抽气。本发明还公开了一种样品观测系统及方法。
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公开(公告)号：CN114171361A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202010954075.9
申请日：2020-09-11
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电子显微镜，包括：电子源，用于产生电子束；物镜，用于聚焦所述电子束；调节极靴，可移动的设置在所述物镜与待测样品之间；第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述调节极靴在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述物镜的极靴方向朝向所述待测样品，所述第二位置为所述物镜的极靴方向朝向所述电子束的光轴。本发明提供的一种电子显微镜，实现电子显微镜在浸没式电子显微镜和非浸没式电子显微镜的切换，可以观察非磁性待测样品，也可以观察磁性待测样品，并且均能够获得高质量的图像。
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公开(公告)号：CN113675061A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202010404520.4
申请日：2020-05-13
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括：电子光学镜筒，用于产生电子束，并将电子束聚焦到样品上；第一探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的光子；其中，所述第一探测器包括反射器和光子检测器，所述反射器将由所述样品上产生的光子反射到所述光子检测器上；所述反射器至少包括第一反射面和第二反射面，所述第一反射面和所述第二反射面用于反射所述样品上产生的不同角度散射的光子。本发明反射器实现了反射样品上产生的不同角度散射的光子到光子检测器上，光子检测器收集光子的范围大，效率高。
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公开(公告)号：CN113675060A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202010403981.X
申请日：2020-05-13
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括：电子光学镜筒，用于产生电子束，并将电子束聚焦到样品上；第一探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的电子；第二探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的光子；所述第二探测器包括反射器和光子检测器，所述反射器为环形，覆盖在所述样品四周的上方，所述反射器将由所述样品上产生的光子反射到所述光子检测器上。本发明提供的扫描电子显微镜，实现大范围收集光子，光子检测器的接收效率高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111530851B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202010410016.5
申请日：2020-05-15
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种粒子束显微镜的样品除污方法，接通电源后，送样装置开始向预抽室送样；除静电吹扫装置上的排气口向下排出气流，射至样品表面，气流中的离子与样品表面吸附的微粒所带电荷发生中和，使一部分微粒失去静电吸引力后被所述气流带走；以及所述预抽室内的高压电极启动，产生一个高压静电场，部分微粒在高压静电场的作用下发生静电感应作用吸到所述高压电极上，本发明采用的清洗方法先采用除静电吹扫和高压电极吸附的方法除去大部分的样品表层微粒，再采用真空环境下的等离子清洗，提高了清洗控制的精准度和提高了清洗效率。
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公开(公告)号：CN110265278A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910533328.2
申请日：2016-12-14
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/141 , H01J37/24
Abstract: 本发明公开了一种磁透镜，所述磁透镜包括：导磁壳体、激励线圈和电源控制系统；其中，所述导磁壳体，在所述激励线圈的外部包围所述激励线圈；所述激励线圈由绞合线缠绕与导热包覆物填充而形成；所述电源控制系统，用于对所述激励线圈供电，控制所述激励线圈的电流方向及电流大小。本发明实施例还公开了一种控制所述磁透镜的方法。通过本发明实施例，能够在改变所述磁透镜聚焦特性的同时，保持所述磁透镜具有均匀恒定的热损耗功率。
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公开(公告)号：CN108807118A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810589383.9
申请日：2018-06-08
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/145 , H01J37/147 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/145 , H01J37/1478 , H01J37/28 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明公开了一种扫描电子显微镜系统，包括：电磁交叉场分析器、由电透镜和磁透镜构成的复合物镜、镜后偏转装置和样品台；其中，电磁交叉场分析器，位于磁透镜的上极靴与产生入射至所述扫描电子显微镜系统的初始电子束的电子源之间，用于使入射的具有第一能量的初始电子束沿光轴运动，具有第二能量的初始电子束偏转至所述初始电子束的光轴两侧；复合物镜，用于对经所述电磁交叉场分析器作用的初始电子束进行汇聚，形成汇聚电子束；镜后偏转装置，位于所述磁透镜的下极靴孔内，用于改变所述汇聚电子束的运动方向，以使所述汇聚电子束倾斜入射至所述样品台上的待测样品。本发明还公开了一种样品探测方法。
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公开(公告)号：CN108231511A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810134652.2
申请日：2018-02-09
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/147 , H01J37/26 , H01J37/28 , G01N23/225
CPC classification number: H01J37/28 , G01N23/2251 , H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/1474 , H01J37/265
Abstract: 本发明公开了一种扫描电子显微镜物镜系统，包括：磁透镜、偏转装置、偏转控制电极、待测样品以及探测装置；其中，所述磁透镜的极靴方向朝向所述待测样品；所述偏转装置，位于所述磁透镜内部，包括至少一个子偏转器；所述偏转控制电极，位于所述探测装置与所述待测样品之间，用于改变作用于所述待测样品上的初始电子束的方向，以及改变所述初始电子束作用于所述待测样品产生的信号电子的方向；所述探测装置，包括用于接收所述信号电子中的背散射电子的第一子探测器，和用于接收所述信号电子中的二次电子的第二子探测器。本发明还公开了一种样品探测方法。
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公开(公告)号：CN107329246A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201710594997.1
申请日：2017-07-20
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/0032 , G02B21/0052 , G02B21/006
Abstract: 本发明公开了一种扫描粒子束显微镜，包括：扫描粒子束显微镜及聚焦控制系统；所述聚焦控制系统包括：两个照明成像装置，用于产生照明光束、以及传输从样品表面反射的携带聚焦图像的光束；两个反射装置，用于将对应的照明成像装置产生的照明光束反射到所述样品表面、以及将所述样品表面反射的携带聚焦图像的光束反射到所述探测装置；两个探测装置，用于接收从所述样品表面反射的携带聚焦图像的光束，并探测所述光束携带的聚焦图像；聚焦控制装置，用于对所述聚焦图像进行处理，获得所述样品的距离属性，并根据所述距离属性调节所述样品的位置参数，用以控制所述扫描粒子束显微镜的工作距离。本发明还公开了一种聚焦控制方法。
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