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公开(公告)号：CN211654776U
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202020220769.5
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型公开了可实现微幅摆动的运动机构，包括：置安装主板、设于安装主板上的运动组件、安装于所述运动组件上的固定鞘底以及用于驱动所述运动组件运动的驱动组件，所述驱动组件包括轮摆式联轴转接器以及带动所述轮摆式联轴转接器转动的驱动电机，所述驱动电机传动连接有变速器，所述变速器传动连接于轮摆式联轴转接器，所述轮摆式联轴转接器一端面活动连接有连接杆，所述连接杆另一端活动连接于固定板上。根据本实用新型，具有的震动、摆动以及有效摆幅运动过程，以使清洗工艺设备更为灵活，使得晶圆在清洗的过程不存在清洗盲区。
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公开(公告)号：CN211806140U
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202020221212.3
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
IPC分类号： B25J9/00 , B25J9/12 , B25J9/10 , B25J19/00 , H01L21/677
摘要： 本实用新型提供了一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置，包括固定板、用于连接机械手臂的连接件、用于驱动所述连接件沿着水平方向移动的水平驱动模块、用于驱动所述连接件沿着竖直方向移动的竖直驱动模块，本实用新型的有益效果是：滑动板通过第一滑轨和第二滑轨与固定板滑动连接，直线推杆的外套通过第三滑轨和第四滑轨与滑动板滑动连接，减少装置在工作过程中发生的位置偏移，提高装置的工作精度；通孔包括螺纹部和半径较大的圆柱部，增加螺栓的接触面积，通孔的两侧设置第一螺孔和第二螺孔以分散通孔受到的应力，提高通孔的强度，避免装置工作过程中固定板相对外部支架发生旋动；设置光电检测器，便于用户实时监控机械手臂的工作位置。
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公开(公告)号：CN211650996U
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202020221204.9
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种提高排气效率的排气装置，包括：槽体、设置于所述槽体上方对开设置的挡门、固定于所述挡门上的喷气机构以及与所述槽体连通的抽气机构；所述喷气机构包括第一喷气组件及与所述第一喷气组件对称设置的第二喷气组件，所述抽气机构包括连通于所述槽体一侧的第一抽气组件及与所述第一抽气组件对称设置于所述槽体另一侧的第二抽气组件。根据本实用新型，结构简单实用，喷气机构能够将氮气全面覆盖于晶圆的表面，抽气机构能够将氮气抽离于干燥槽内，喷气机构与抽气机构相结合使得干燥槽内氮气形成一循环气流，大大提高了干燥槽的干燥效率。
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公开(公告)号：CN110993547B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN201911102815.X
申请日：2019-11-12
申请人： 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
摘要： 本发明公开了一种晶圆花篮更迭装置，所述装置包括：导入移动机构，所述导入移动机构包括第一托架，所述第一托架上用来放置承载有晶圆的第一花篮，所述导入移动机构包括竖直方向的短程气缸，所述短程气缸的移动端与两排第一传感器连接，每列所述第一传感器朝向所述第一花篮上对应晶片装载位置；导片机构，所述导片机构包括顶升单元和夹持单元，所述夹持单元设置在所述顶升单元的上方，所述夹持单元能够自两侧夹持或者松开晶圆，所述顶升单元能够自底部托住晶圆；左侧托架；以及右侧托架。本发明的有益效果为全面性的侦测晶圆片与晶圆盒传递，达成对晶圆传递装置的有效控制与保障。
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公开(公告)号：CN112820663B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN201911118915.1
申请日：2019-11-15
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种自动复位的对开型晶圆盒托架，包括设于联动传送机构上的托架支撑板，具有对称结构的左托臂和右托臂，以及设于托架支撑板上且驱动所述左托臂和右托臂水平开合的开合驱动机构，所述左托臂的内边缘和所述右托臂的内边缘分别具有定位沟槽，所述左托臂的定位沟槽和所述右托臂的定位沟槽彼此结构对称，所述定位沟槽为台阶结构，其三个槽壁均为倾斜面。本发明采用对开的结构形式提高了托架使用范围的适用性，并且还能够将晶圆盒的托耳自动复位在托架上，具有正确、有效抱持晶圆盒以避免晶圆盒放置位置发生偏移的优点。
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公开(公告)号：CN109935540B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN201910185426.1
申请日：2019-03-12
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/687
摘要： 本发明公开了一种具有加热功能的夹取器及应用该夹取器的湿法槽式清洗设备，所述夹取器包括用以夹取清洗槽内的湿晶圆盒的夹取手，以及用以带动夹取手动作的搬送机构；夹取手通过横杆与搬送机构相连接。本发明夹取器自带加热功能，当夹取器夹取湿晶圆盒时，夹取器能够在搬送过程中，依靠其自身的加热温度将湿晶圆盒表面的水分蒸发掉，然后便可以将干晶圆盒搬送至目标位置，由原来配置干湿两个夹取器减少为一个夹取器，减小了生产成本。
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公开(公告)号：CN111081616A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201911088268.4
申请日：2019-11-08
申请人： 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , H01L21/67
摘要： 本发明公开了一种晶圆导片机构及应用该晶圆导片机构的湿法设备，所述晶圆导片机构包括安装壳体、夹持组件、以及用以调整夹持组件使夹持组件进行弧形对开运动的联杆调节模组，所述联杆调节模组包括固定在安装壳体上的气缸、与气缸的活塞杆相连的联动组件、以及转动曲柄，所述转动曲柄的一端固定在联动组件上、另一端与夹持组件的从安装壳体内伸出的端部相连。本发明通过联动调节模组带动夹持组件进行弧形对开运动，以实现夹持晶圆片的目的，可以避免晶圆片在垂直升降后因夹持晶圆片的动作所带来的各方向的冲击与撞击而使晶圆破裂的问题，避免晶圆片表面出现磨损，保持工艺环境的洁净度。
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公开(公告)号：CN112820677B
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN201911127176.2
申请日：2019-11-18
申请人： 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种晶圆片传输及自动换篮设备，由中央顶片导片装置、设于所述中央顶片导片装置左侧的左侧批量传输装置、以及设于所述中央顶片导片装置右侧的右侧批量传输装置；所述中央顶片导片装置包括中转支撑台板，设于所述中转支撑台板下方的顶片机构，以及设于所述中转支撑台板上方的导片机构，所述顶片机构由竖直驱动机构以及设于所述竖直驱动机构上方且位于所述第一洞口下方的顶片夹持器构成。本发明的晶圆片传输及自动换篮设备具有高稳定性，高安全性、高应用性的优点。
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公开(公告)号：CN110957251B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN201911142936.7
申请日：2019-11-20
申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/66
摘要： 本发明公开了一种计量晶圆片数的短行程升降装置，包括：支撑结构，计数机构，所述计数机构放置于支撑结构的腔室内，所述计数机构包括第一固定板，所述第一固定板上固定有至少两个对称设置的U型固定夹板，所述U型固定夹板上固定有计数传感器盒，所述计数传感器盒内固定有计数传感器组；升降机构，所述升降机构的一端固定于支撑结构腔室内，另一端固定于计数机构上，以使所述计数机构在支撑结构腔室内进行上下运动。根据本发明，而且通过设置升降的晶圆计数器进行随时对批量式的晶圆计数，计数的结果更准确，而且该装置可固定在水平移动机构或者垂直运动上来实现多方位的运动，可以和晶圆片与托篮装载、卸载更紧密的配合。
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公开(公告)号：CN112820678B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN201911127972.6
申请日：2019-11-18
申请人： 至微半导体(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
摘要： 本发明公开了一种湿法工艺设备的晶圆顶片导片装置，包括中转支撑台板，设于所述中转支撑台板下方的顶片机构，以及设于所述中转支撑台板上方的导片机构，所述顶片机构的夹持器具有对称结构且间隔设置的两顶片夹持板，所述顶片夹持板上具有一排顶部开口的顶片齿槽，所述顶片齿槽一侧面完全为直倾斜面，另一侧面由上部倾斜面、下部竖直面以及底部倾斜面依次连接构成，所述槽底为与晶圆片圆周边缘适配的弧形。本发明的湿法工艺设备的晶圆顶片导片装置在顶片、导片晶圆片的过程中具有避免晶圆片的破片的优点。
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