公开(公告)号：CN116895607A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310681234.6

申请日：2019-03-07

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 岩泽顺一 ,  芹泽宏明 ,  和田琢真 ,  滝沢亮人 ,  青岛利裕 ,  高桥祐宜 ,  金城厚

IPC: H01L23/29 ,  C23C24/04 ,  G01N27/62 ,  G01N23/203 ,  C04B41/87

Abstract: 本发明提供一种抗粒子性出色的陶瓷涂层以及评价陶瓷涂层的抗粒子性的方法。具体而言，是一种包含基体材料及设置在所述基体材料上且具有表面的结构物的复合结构物，结构物包含多结晶陶瓷，将通过TEM图像解析算出的亮度Sa满足规定值的复合结构物，可作为要求具有抗粒子性的半导体制造装置的内部构件而适当加以使用。

公开(公告)号：CN106977177B

公开(公告)日：2021-01-05

申请号：CN201610835660.0

申请日：2016-09-20

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 高桥治树 ,  田泽诗织 ,  青岛利裕 ,  菅野充诚

IPC: C04B33/36 ,  C04B33/04 ,  C04B33/13 ,  C04B33/34

Abstract: 本发明在于提供显示出良好的性质、尤其是优异的耐冲击性的陶瓷板以及适于制造该陶瓷板的坯土粒。根据本发明的坯土粒由含有粘土与无机纤维的颗粒构成，其特征在于，与所述颗粒的外侧相比空隙偏在于内侧，据此具备致密的外壳以及被该外壳包围的内部。将该坯土粒通过干式冲压成形并烧成所得到的陶瓷板的耐冲击性优异。