聚光元件以及固体摄像装置

    公开(公告)号:CN100492064C

    公开(公告)日:2009-05-27

    申请号:CN200480042730.2

    申请日:2004-12-15

    发明人: 岁清公明

    IPC分类号: G02B5/18 G02B3/00 H01L27/14

    摘要: 为了实现与用于薄型照相机的短焦距光学系统(入射角θ为大角的光学系统)相对应的固体摄像装置等,提供比现存的微透镜更能够对高角度的入射光进行聚光的光学元件等。各单位像素(大小2.8μm)包括:渐变折射率透镜1、用于绿色的色彩过滤器2,AL布线3,信号传送部4,平坦化层5,受光元件(Si光电二极管)6,以及Si基板7。分布折射率透镜为同心带形状,包括高折射率材料33[TiO2(n=2.53)]和低折射率材料34[空气(n=1.0)]。而且,在分布折射率透镜中,相邻的被分割区域的宽度35为200nm。并且,膜厚t为0.5μm。