对光敏平版印刷版用自动显影装置补充显影剂的方法

    公开(公告)号:CN1517801A

    公开(公告)日:2004-08-04

    申请号:CN200410002003.5

    申请日:2004-01-09

    Inventor: 笹山洋行

    CPC classification number: G03F7/3071

    Abstract: 在电导率-基补充系统中,本发明提供一种光敏平版印刷版用自动处理装置的显影剂补充方法,其可以使在显影剂敏感度对于显影处理条件的变化方面的波动最小化,同时以简单和低成本的结构实现自动显影装置的显影单元,其中,在预先给定的周期测量显影剂的电导率值,当测量的显影剂的电导率值低于目标电导率值时,用预定量的显影剂补充剂补充显影剂,测量前次显影剂补充剂供给和当前显影剂补充剂供给之间的时间间隔,基于测量的补充时间间隔和补充时间间隔的阈值,选择目标电导率算术表达式,并且使用选择的目标电导率算术表达式和测量的补充时间间隔来更新目标电导率值。

    显影液的浓度监视装置及显影液管理装置

    公开(公告)号:CN108345182A

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201711232546.X

    申请日:2017-11-29

    Inventor: 中川俊元

    CPC classification number: G03F7/3071 G03D3/00 G03F7/322

    Abstract: 本发明提供根据显现碱性的显影液的特性值来精度良好地算出显影液的碱成分、溶解的光致抗蚀剂、吸收的二氧化碳等各成分的浓度的浓度监视装置、以及将显影液的显影性能维持并管理成最佳的状态的显影液管理装置。显影液的浓度监视装置(A)具备:对与反复使用且显现碱性的显影液的成分浓度具有关联的显影液的多个特性值进行测定的测定部(1);基于由测定部(1)测定出的多个特性值并利用多变量解析法来算出显影液的成分浓度的运算部(2);以及在由运算部(2)算出的成分浓度中的至少任一方偏离设定的管理范围时发出警报的警报机构(WD)。

    一种具有对流结构的加工设备

    公开(公告)号:CN107885047A

    公开(公告)日:2018-04-06

    申请号:CN201711153107.X

    申请日:2017-11-19

    Applicant: 徐素香

    Inventor: 徐素香

    CPC classification number: G03F7/3071 G03F7/3092 H05K3/0008

    Abstract: 本发明公开了一种具有对流结构的加工设备,包括底座、储液箱、进液箱、显影仓和箱体,所述底座的上方安装有箱体,所述箱体内部的一侧安装有集液仓,且箱体内部的另一侧安装有显影仓,所述箱体的上方安装有进液箱,所述进液箱上方的中间位置处安装有加液管,且加液管靠近集液仓的一侧安装有旋转电机,所述旋转电机的输出端安装有第一转轴,所述第一转轴穿过进液箱并延伸至进液箱的内部,且第一转轴上均匀安装有搅拌叶片。本发明安装有对流管和对流瓶,显影液从两侧对流管进入对流瓶时,能在对流瓶内对流,不仅可以减缓显影液的流动速度,还能使显影液混合的更加均匀。

    显影液的浓度调节方法、调制装置和显影液

    公开(公告)号:CN101563654A

    公开(公告)日:2009-10-21

    申请号:CN200780040488.9

    申请日:2007-11-29

    CPC classification number: G03D3/00 G03F7/3071 G03F7/322

    Abstract: 本发明提供一种显影液的浓度调节方法和调制装置,其用于调节在光致抗蚀剂显影工序中使用的碱性显影液的碱浓度,从而能够进行高品质的显影处理。在显影液的浓度调节方法中,测定显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度,按照能够发挥使显影处理后获得的CD值成为一定的值这样的溶解能力的碱浓度与碳酸盐浓度的预先制定的关系,调节碱浓度。另外,显影液的调制装置包括:调制槽;向显影工序供给显影液的供给管线;回收已用过显影液的回收管线;将新显影液原液供给至调制槽的原液供给管线;检测显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度的浓度计;和按照特定的关系控制显影液原液的供给的控制装置。

    自动显影装置及补充显影补充液的方法

    公开(公告)号:CN1312490A

    公开(公告)日:2001-09-12

    申请号:CN01102195.0

    申请日:2001-01-31

    CPC classification number: G03F7/3071

    Abstract: 自动显影装置的显影部构成简单、价格低廉,显影液感度的变动对显影处理条件的变化控制到最小。根据预先设定的补充条件,为补偿自动显影装置的运转率和/或停止时显影活性度的降低,补充显影补充液和/或显影补充液稀释液,根据预定的补充条件,为补偿因处理感光材料引起显影液活性度下降,在补充了显影补充液和/或显影补充液稀释液后,补充了前述补充液和/或显影补充液稀释液的显影液的电导率测定值,超过用补充液置换率予设定的电导率给定值时,向前述显影槽内补充稀释水至使前述测定值降低到前述给定值。

    显影装置
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108345168A

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201711232616.1

    申请日:2017-11-29

    Inventor: 中川俊元

    CPC classification number: G03D3/00 G03F7/3071 G03F7/32

    Abstract: 本发明提供能够对被显现碱性的显影液吸收的二氧化碳的浓度进行测定并对显现碱性的显影液的吸收二氧化碳的浓度进行管理的显影装置。显影装置具备:显影液调制装置,其将包含显现碱性的显影液的主成分的显影原液与纯水混合,调制出浓度被设定好的所述显影液作为显影新液;显影新液用管路,其输送从所述显影液调制装置向反复使用的所述显影液补给的所述显影新液;显影原液用管路,其输送向所述反复使用的所述显影液补给的所述显影原液;纯水用管路,其输送向所述反复使用的所述显影液补给的纯水;以及显影液管理装置,其将所述反复使用的所述显影液管理为规定的成分浓度或者规定的浓度范围。

    显影液的浓度调节方法、调制装置和显影液

    公开(公告)号:CN103852978A

    公开(公告)日:2014-06-11

    申请号:CN201410050204.6

    申请日:2007-11-29

    CPC classification number: G03D3/00 G03F7/3071 G03F7/322

    Abstract: 本发明提供一种显影液的浓度调节方法和调制装置,其用于调节在光致抗蚀剂显影工序中使用的碱性显影液的碱浓度,从而能够进行高品质的显影处理。在显影液的浓度调节方法中,测定显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度,按照能够发挥使显影处理后获得的CD值成为一定的值这样的溶解能力的碱浓度与碳酸盐浓度的预先制定的关系,调节碱浓度。另外,显影液的调制装置包括:调制槽;向显影工序供给显影液的供给管线;回收已用过显影液的回收管线;将新显影液原液供给至调制槽的原液供给管线;检测显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度的浓度计;和按照特定的关系控制显影液原液的供给的控制装置。

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