一种光阻浓度控制系统及方法

    公开(公告)号:CN106681107A

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201710099107.X

    申请日:2017-02-23

    Inventor: 夏青林 徐元权

    CPC classification number: G03F7/34 G03F7/3071

    Abstract: 本发明提供了一种光阻浓度控制系统及方法,该系统包括:药槽,其设置有自动阀门,所述自动阀门用于根据控制信号打开或关闭;控制器,用于根据所述药槽中药液的实时光阻浓度产生并输出所述控制信号。本发明可以节省剥离药液使用量,并保证药槽中药液的光阻浓度保持稳定。

    自动显影装置及补充显影补充液的方法

    公开(公告)号:CN1267790C

    公开(公告)日:2006-08-02

    申请号:CN01102195.0

    申请日:2001-01-31

    CPC classification number: G03F7/3071

    Abstract: 自动显影装置的显影部构成简单、价格低廉,显影液感度的变动对显影处理条件的变化控制到最小。根据预先设定的补充条件,为补偿自动显影装置的运转率和/或停止时显影活性度的降低,补充显影补充液和/或显影补充液稀释液,根据予定的补充条件,为补偿因处理感光材料引起显影液活性度下降,在补充了显影补充液和/或显影补充液稀释液后,补充了前述补充液和/或显影补充液稀释液的显影液的电导率测定值,超过用补充液置换率予设定的电导率给定值时,向前述显影槽内补充稀释水至使前述测定值降低到前述给定值。

    显影剂废液再利用
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102317869B

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN201080007777.0

    申请日:2010-01-28

    CPC classification number: G03F7/3057 G03F7/3071 G03F7/3092

    Abstract: 本发明涉及一种在印板处理器装置中再利用显影剂液体的设备。所述设备包括:新显影剂液体容器(13);在制品显影剂液体储箱(10),其用于印版处理并且填充来自新显影剂液体容器(13)的显影剂液体(15);废显影剂液体容器(14),其被配置为接收从在制品显影剂液体储箱(10)中溢出的显影剂液体(16);以及补充装置,其被配置为根据废显影剂液体的电导率水平从废显影剂液体容器(14)中将废显影剂液体(21)补充回去。

    减少泡沫形成
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102341756A

    公开(公告)日:2012-02-01

    申请号:CN201080010042.3

    申请日:2010-02-23

    CPC classification number: G03D3/06 G03F7/3071 G03F7/3085 Y10T137/0324

    Abstract: 一种用于减少印版处理装置中的显影剂液体(19)的泡沫形成的设备,其包括:用于将显影剂液体(19)泵送到显影剂液体容器(17)中的装置;以及通过经由并联的第一容器开口(14)和第二容器开口(27)对液体容器进行注入而使得显影剂液体(19)分流(21,22)进入显影剂液体容器(17)的装置。

    显影方法及显影装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1311303C

    公开(公告)日:2007-04-18

    申请号:CN200310123329.9

    申请日:2003-11-15

    Abstract: 本发明的显影方法和显影装置中,浓度测定部(222)采取一部分调合罐(186)内的显影液,用吸光光度法测定抗蚀剂浓度,将测定结果(抗蚀剂浓度测定值)传送到控制部(240)。控制部(240)控制TMAH原液供给管(200)、溶媒供给管(204)以及排泄管(208)的各个开关阀(210)、(212)、(216),进行显影液的成分调整,使调合罐(186)内显影液的TMAH浓度是与维持显影速率为一定的抗蚀剂浓度测定值对应的TMAH浓度值。从调合罐(186)向供给罐(188)移送的显影液,由泵(228)驱动通过显影液供给管(224)送到显影处理部(126)的显影液喷嘴DN。因此,在显影处理中,即使多次再利用显影液,也能确保显影均匀性。

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