显影工艺中的玻璃基板的水洗装置及方法

    公开(公告)号:CN107015444A

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201710259909.2

    申请日:2017-04-20

    发明人: 吴利峰

    IPC分类号: G03F7/30

    CPC分类号: G03F7/3057

    摘要: 本发明提供一种显影工艺中的玻璃基板的水洗装置及方法,其中所述装置包括水洗腔体,所述水洗腔体的内部上方设置有多个水洗喷嘴;托盘平台,所述托盘平台用于承载待水洗的玻璃基板并对玻璃基板进行限位;以及摆动机构,所述摆动机构设置于所述水洗腔体的内部并用于驱动所述托盘平台进行摆动。本发明的水洗搬送方式与传统水洗方式不同,在水洗过程中,通过搬送轴上的托盘承载基板,托盘左右摇摆来使整个玻璃基板在一定角度随同摆动,玻璃基板与干净的纯水充分接触清洗玻璃基板上面的残留异物,从而异物清洗不充分的现象得到了有效的限制,同时这种处理方式还能够纯水的消耗,降低了水洗的工艺时间,提升了产线的生产效率。

    一种节水型电路板加工用显影装置

    公开(公告)号:CN108388088A

    公开(公告)日:2018-08-10

    申请号:CN201810439688.1

    申请日:2018-05-09

    发明人: 杨茂霞 强睿

    IPC分类号: G03F7/30

    CPC分类号: G03F7/3057

    摘要: 本发明公开了一种节水型电路板加工用显影装置,包括壳体,所述壳体的一侧铰接有侧门,壳体的顶端内壁中部安装有伺服电机,伺服电机的输出轴固定有调节杆,壳体的顶端两侧内壁之间固定有两组导向杆,导向杆上均滑动连接有滑块,两组滑块之间固定有连接杆,连接杆上滑动连接有活动块,调节杆的一端与活动块的顶端铰接,活动块的底端安装有喷头,壳体的内部设置有回形架,回形架的两侧内部均固定有两组限位杆,限位杆之间设置有双向螺纹杆。本发明设计新颖,结构合理,操作简单,能够对水进行重复利用,节能环保,方便对不同型号的电路板进行冲洗,能够增大装置的适用范围,同时能够对电路板的两面进行冲洗,有利于提高显影效率。