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公开(公告)号：CN116698374B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310954584.5
申请日：2023-08-01
申请人： 安徽雷彻科技有限公司
IPC分类号： G01M11/02 , G01R31/00 , H01S3/00 , H01S3/036 , H01S3/0975
摘要： 本发明公开了一种获取准分子激光器的最优工作参数的装置，其特征在于，所述装置包括：控制模块，用于控制高压电源，气阀；所述高压电源，用于对电容进行充电；电容，用于对激光腔进行激励；所述气阀，用于控制激光腔内的气压；激光腔，用于在电容放电激励下产生激光；光强检测装置，用于检测所述激光的光强，将所述光强发送至控制模块；气压检测装置，用于检测激光腔内的气压，将所述气压发送至控制模块。通过所述装置自动化的获取准分子激光器的最优充电时间和气压，提高了调试的效率。
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公开(公告)号：CN116698374A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310954584.5
申请日：2023-08-01
申请人： 安徽雷彻科技有限公司
IPC分类号： G01M11/02 , G01R31/00 , H01S3/00 , H01S3/036 , H01S3/0975
摘要： 本发明公开了一种获取准分子激光器的最优工作参数的装置，其特征在于，所述装置包括：控制模块，用于控制高压电源，气阀；所述高压电源，用于对电容进行充电；电容，用于对激光腔进行激励；所述气阀，用于控制激光腔内的气压；激光腔，用于在电容放电激励下产生激光；光强检测装置，用于检测所述激光的光强，将所述光强发送至控制模块；气压检测装置，用于检测激光腔内的气压，将所述气压发送至控制模块。通过所述装置自动化的获取准分子激光器的最优充电时间和气压，提高了调试的效率。
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公开(公告)号：CN111656626B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201880086650.9
申请日：2018-12-17
申请人： 西默有限公司
发明人： E·S·罗 , R·C·乌亚德沃斯基 , 徐爽
IPC分类号： H01S3/038 , H01S3/0975 , H01S3/032
摘要： 公开了一种激光器放电腔室，其中通过使用腔室内部几何形状的设计、腔室内的部件(诸如电极、电流回路和电容器)的放置和分布，以及这些部件的一些部分的选择性电隔离中的一项或组合，进行局部电调谐来延长使用寿命。
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公开(公告)号：CN110048695A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910023076.9
申请日：2019-01-10
申请人： 住友重机械工业株式会社
IPC分类号： H03K3/57 , H03K3/011 , H01S3/0975
摘要： 本发明提供一种能够提高进行间歇动作的负载的动作频率的电源装置。电源装置(200)具备电容器组(202)及充电电源(210)。在电容器组(202)连接有进行间歇动作的负载即高频电源(104)。充电电源(210)包含开关转换器(212)，并且对电容器组(202)进行充电。充电电源(210)以负载即高频电源(104)的动作开始作为触发而进行使开关转换器(212)的低侧晶体管(M1)导通一次的主充电。
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公开(公告)号：CN105229535B
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201480028983.8
申请日：2014-04-16
申请人： ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20 , H01S3/225 , H01S3/104 , H01S3/0975
CPC分类号： G03F7/70558 , G03F7/70025 , G03F7/70516 , H01S3/0975 , H01S3/104 , H01S3/225
摘要： 一种选择待施加至辐射源的变量的周期性调制(401)的方法，其中源传递辐射以用于投射至衬底上以及其中在衬底和辐射之间存在以扫描速度的相对运动，方法包括：针对系统参数集合以及针对衬底上的位置，计算量值，量值是源自于被施加至源的变量的调制的对于被传递至该位置的能量剂量(403)贡献的度量，其中对能量剂量的贡献被计算为以下项的卷积：辐射的分布(402)，以及对由源传递的辐射的辐照度的贡献；以及选择调制频率，在该频率处针对系统参数集合和衬底上的位置的量值满足特定准则。
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公开(公告)号：CN103843209B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201280043013.6
申请日：2012-07-19
申请人： 奥迪克激光应用技术股份有限公司
发明人： 凯文·L·安布鲁斯特 , 布拉德·D·吉尔马丁 , 彼得·J·屈克达尔 , 伯纳德·J·理查德 , 丹尼尔·J·瑞安
IPC分类号： H01S3/03 , H01S3/07 , H01S3/0975
CPC分类号： H01S3/03 , B23K26/06 , H01S3/076 , H01S3/0975
摘要： 本发明涉及一种激光器设备，包括了复数个用于待激发气体的线形谐振管(12)，谐振管是彼此成流体连通的并且形成一个共同的管状空间；连接元件(20)，被设置在一个共同的管状空间中相邻的谐振管之间的拐角处；谐振管的激发装置(50)，用于激发谐振管中的气体来产生激光；反射镜(22)，被设置在连接元件中，用于反射谐振管之间的激光；以及部分反射输出耦合器(42)，用于耦合出激光束。这些谐振管被设置成螺旋形状，包围在一个自由中央空间周围。本发明还涉及一种使用这种激光器设备产生激光的方法。
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公开(公告)号：CN103765702B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201280043017.4
申请日：2012-07-19
申请人： 奥迪克激光应用技术股份有限公司
发明人： 凯文·L·安布鲁斯特 , 布拉德·D·吉尔马丁 , 彼得·J·屈克达尔 , 伯纳德·J·理查德 , 丹尼尔·J·瑞安
IPC分类号： H01S3/03 , H01S3/07 , H01S3/23 , H01S3/00 , H01S3/041 , H01S3/0975 , H01S3/223 , B23K26/064 , B23K26/082
CPC分类号： G02B26/10 , B23K26/00 , B23K26/0608 , B23K26/082 , B23K26/142 , B23K26/702 , B23K26/703 , H01S3/0071 , H01S3/03 , H01S3/041 , H01S3/076 , H01S3/0975 , H01S3/2232 , H01S3/2383
摘要： 一种激光器设备，包括至少两个气体激光器单元(10)，堆叠成多层，每一个激光器单元包括多个谐振管(12)，这些谐振管互相流体连通并且形成共同的管状空间；连接元件(20,21)，用于连接相邻的谐振管从而形成一个回路；反射镜(22)，被设置在连接元件中，用于反射谐振管之间的激光；端面反射镜(44)；以及部分反射输出耦合器(42)，用于耦合出激光束。在每一个激光器单元中，集成输出法兰(40)包括端面反射镜、部分反射输出耦合器和输出镜(46)，该输出镜(46)将传输通过输出耦合器的激光束偏转至位于被谐振管包围的中央空间(8)的扫描设备(80)内。本发明还涉及一种标记物体的方法。
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公开(公告)号：CN103765702A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280043017.4
申请日：2012-07-19
申请人： 奥迪克激光应用技术股份有限公司
发明人： 凯文·L·安布鲁斯特 , 布拉德·D·吉尔马丁 , 彼得·J·屈克达尔 , 伯纳德·J·理查德 , 丹尼尔·J·瑞安
IPC分类号： H01S3/03 , H01S3/07 , H01S3/23 , H01S3/00 , H01S3/041 , H01S3/0975 , H01S3/223 , B23K26/064 , B23K26/082
CPC分类号： G02B26/10 , B23K26/00 , B23K26/0608 , B23K26/082 , B23K26/142 , B23K26/702 , B23K26/703 , H01S3/0071 , H01S3/03 , H01S3/041 , H01S3/076 , H01S3/0975 , H01S3/2232 , H01S3/2383
摘要： 一种激光器设备，包括至少两个气体激光器单元(10)，堆叠成多层，每一个激光器单元包括多个谐振管(12)，这些谐振管互相流体连通并且形成共同的管状空间；连接元件(20,21)，用于连接相邻的谐振管从而形成一个回路；反射镜(22)，被设置在连接元件中，用于反射谐振管之间的激光；背光镜(44)；以及部分反射输出耦合器(42)，用于耦合出激光束。在每一个激光器单元中，集成输出法兰(40)包括背光镜、部分反射输出耦合器和输出镜(46)，该输出镜(46)将传输通过输出耦合器的激光束偏转至位于被谐振管包围的中央空间(8)的扫描设备(80)内。本发明还涉及一种标记物体的方法。
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公开(公告)号：CN111788747B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN201980016312.2
申请日：2019-01-29
申请人： IDEA机器显影设计及生产有限公司
摘要： 一种紧凑的激光系统，其具有由球面镜(17、18)限定的折叠的环形谐振腔，使得能够在镜子之间产生多通道光束路径，穿过的每个光束以相对于镜子之间的轴线成小角度的倾斜，以在镜子之间形成Z字形路径(28、29)。在短物理结构内实现了长光学路径。光学谐振腔被限制在接收RF功率来激励激光气体的两个圆柱形同轴电极(13、14)之间的间隙中。孔(23)设置在主腔镜(17、18)中，其中高反射率端部镜(24)在一端处的一个孔后面，并且部分反射输出耦合器(25)在另一端处。在两个圆柱形电极之间的环形间隙内的通道化陶瓷圆柱形元件(15、20)将激光气体限制在通
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公开(公告)号：CN114204400A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202010982981.X
申请日：2020-09-17
申请人： 中国科学院空天信息创新研究院
IPC分类号： H01S3/0975
摘要： 一种可变储能电容的高压脉冲调制单元及含其的激光器，该高压脉冲调制单元包括呈环状排布的储能电容组；储能电容组包括m个第一电容和n个第二电容；m个第一电容和n个第二电容的输出端均接在一起；m个第一电容和n个第二电容的输入端均延伸出各自的导电体；储能电容组中心设有固定端子，固定端子上设有N个可旋转的导电指针，导电指针旋转过程中触碰不同的导电体，输出不同的电容；其中，m和n均为大于或等于0的自然数，N为大于0的自然数。本发明通过旋转指针和电容输入端连线的环形布局，实现了基于可调储能电容的可变高压脉冲调制单元。
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