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公开(公告)号：CN101764020A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910262401.3
申请日：2009-12-18
Applicant: 株式会社昭和真空
IPC: H01J27/02
Abstract: 本发明提供一种排列有多个离子束引出孔的离子管，使得离子束电流密度变得均匀。该离子管具有由阴极(10)和阳极(20)构成的等离子体生成构件，以及从由等离子体生成构件生成的等离子体中引出离子束的栅极(30)，阴极由架设于一对丝电极(13)之间的丝极(12)构成，栅极具有平行地排列在丝极上的多个离子束引出孔(31)，包含该丝极的两端部(12a)的单位空间内的发热量比包含该丝极的中央部(12b)的单位空间内的发热量大。
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公开(公告)号：CN118412259A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202410111304.9
申请日：2024-01-25
Abstract: 本发明提供能够容易地变更从离子源照射的离子束的离子电流密度分布、小型且廉价的离子源、离子电流密度分布变更方法以及基材处理装置。离子源(6)具有：放电室(61)，其具有释放离子的开口，并由绝缘体形成；磁铁，其使放电室(61)内部产生磁场；阳极(65)，其配置在放电室(61)的底部；以及磁力变更部，其变更磁铁的磁力的强度，在产生了磁场和电场的放电室(61)中，从与放电室(61)的开口相邻配置的中和器(7)插入电子，从放电室(61)的开口释放离子，根据处理对象基材变更从放电室(61)释放的离子的电流密度分布。
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公开(公告)号：CN111913018A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010254893.8
申请日：2020-04-02
Applicant: 株式会社昭和真空
Inventor： 迹边好寿
Abstract: 提供一种探针销对位装置，能够容易地对探针销与电极焊盘的位置的偏差量实时地进行校正，并且能够防止探针销或电子设备受到损伤。探针销对位装置(100)具备：反射镜(110)，其在探针销(331A、331B)靠近晶体振子(21)时，使电极焊盘(212P、213P)映入其中；相机(120)，其对探针销(331A、331B)、以及映入反射镜(110)的镜像进行拍摄；偏差量测量部(201)，其测量拍摄图像中的探针销(331A、331B)的位置与电极焊盘(212P、213P)的位置的偏差量；移动部(202)，其使载体(22)与探针销(331A、331B)相对移动；以及控制部(200)，其通过移动部(202)使探针销(331A、331B)与载体(22)相对移动，以使偏差量接近于零。
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公开(公告)号：CN107267959A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710192799.2
申请日：2017-03-28
Applicant: 株式会社昭和真空
Inventor： 吉田武史
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明提供能够减少向压力传感器附着的成膜物质，延长压力传感器的寿命的成膜装置及成膜方法。原料气体供给部用于成膜处理，向成膜室(10)供给含有成膜成分的原料气体，第二气体配管(90)用于成膜处理，将与原料气体不同的处理气体从蓄存该处理气体的处理气体蓄存部向成膜室(10)供给。对成膜室(10)的内部的压力进行测量的压力传感器(50)安装于第二气体配管(90)。控制部在从原料气体供给部向成膜室(10)供给原料气体期间，以使处理气体在第二气体配管(90)中流动而从处理气体蓄存部向成膜室(10)供给的方式进行控制。
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公开(公告)号：CN102820865B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201210188595.9
申请日：2012-06-08
IPC: H03H3/02
Abstract: 在压电振动器件的制造装置中，设置气密密封室和检查室，该气密密封室通过在真空气氛下对多个密封构件进行加热接合而形成真空状态的内部空间，在内部空间中对电子部品元件进行气密密封；该检查室对压电振动器件的内部空间的气密状态进行检查，按前述气密密封室、前述检查室的顺序输送压电振动器件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102024657B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201010282645.0
申请日：2010-09-13
Applicant: 株式会社昭和真空
Abstract: 提供一种离子枪以及用于该离子枪的格栅。上述离子枪具备格栅更换时输出特性的可重复性、伴随温度变化的形状稳定性以及保管性良好的半管型格栅。在离子枪中，具备在内部产生等离子体的主体、用于从主体内部引出等离子体的格栅以及在与主体之间夹持格栅的框状加速电极，主体的与格栅相对的端面具有山谷状的弯曲面，格栅由平板格栅构成，在安装时与主体的接触面成为与弯曲面一致的曲面。
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公开(公告)号：CN101764020B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN200910262401.3
申请日：2009-12-18
Applicant: 株式会社昭和真空
IPC: H01J27/02
Abstract: 本发明提供一种排列有多个离子束引出孔的离子管，使得离子束电流密度变得均匀。该离子管具有由阴极(10)和阳极(20)构成的等离子体生成构件，以及从由等离子体生成构件生成的等离子体中引出离子束的栅极(30)，阴极由架设于一对丝电极(13)之间的丝极(12)构成，栅极具有平行地排列在丝极上的多个离子束引出孔(31)，包含该丝极的两端部(12a)的单位空间内的发热量比包含该丝极的中央部(12b)的单位空间内的发热量大。
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公开(公告)号：CN102820865A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210188595.9
申请日：2012-06-08
IPC: H03H3/02
Abstract: 在压电振动器件的制造装置中，设置气密密封室和检查室，该气密密封室通过在真空气氛下对多个密封构件进行加热接合而形成真空状态的内部空间，在内部空间中对电子部品元件进行气密密封；该检查室对压电振动器件的内部空间的气密状态进行检查，按前述气密密封室、前述检查室的顺序输送压电振动器件。
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公开(公告)号：CN1946873B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200580013193.3
申请日：2005-01-24
Applicant: 株式会社昭和真空
IPC: C23C14/50
CPC classification number: C23C14/505
Abstract: 提供一种在有限的空间内也能效率良好地进行转动机构的装配分解且维修性和作业性优良的真空装置。而且，由于防止基板拱顶的径向振动，防止由轴承产生的粉尘而引起污染，因而通过转动机构的薄型化使成膜精度提高。在由真空槽、固定在该真空槽内部的基座、安装在该基座上的转动机构以及搭载了成膜基板且通过转动机构而水平转动的基板拱顶组成的真空装置中，该转动机构形成可以沿着该真空槽底面方向从该基座进行拆装的结构。
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公开(公告)号：CN101764021A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200910262405.1
申请日：2009-12-18
Applicant: 株式会社昭和真空
IPC: H01J27/14
Abstract: 本发明提供一种离子管及离子束的引出方法，离子管排列有多个离子束引出孔，使得离子束电流密度变得均匀。该离子管具有由阴极和阳极构成的等离子体生成构件，以及从等离子体中引出离子束的栅极，栅极沿长边方向具有多个或者一连串的离子束引出孔，以多个或者一连串的离子束引出孔的中心部为原点，以长边方向为x轴方向，以离子束射出方向为z轴正方向，该离子管还具有：第一磁石，其配置于多个或者一连串的离子束引出孔的周围，并对多个或者一连串的离子束引出孔施加z轴正方向的磁场；以及第二磁石，其配置于多个或者一连串的离子束引出孔的端部，对端部附近施加x轴原点方向的磁场。
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