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公开(公告)号:CN1259558C
公开(公告)日:2006-06-14
申请号:CN200410054324.X
申请日:2004-09-07
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海爱建纳米科技发展有限公司
IPC分类号: G01N13/16
CPC分类号: G01Q10/02 , G01Q10/04 , G01Q20/02 , G01Q30/025
摘要: 一种模块化原子力显微镜,由7个模块组成:第一模块为步进电机;第二模块是四维调整的样品架,固定在步进电机上;第三模块是z向扫描器;第四模块包括微悬臂针尖和聚焦透镜;第五模块是xy向的扫描器;第六模块包括具有调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探测器;第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本发明模块化原子力显微镜的调整和更换方便;利用各模块又很容易搭建不同结构的原子力显微镜;样品具有粗定位的功能。
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公开(公告)号:CN1747020A
公开(公告)日:2006-03-15
申请号:CN200510028195.1
申请日:2005-07-27
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要: 一种模块化光-磁混合存储介质动态测试系统,该系统由激光调制模块、偏磁模块、主轴电机模块、聚焦伺服模块、磁头读出模块、径向压电陶瓷驱动的纳米平台、观察显微模块和系统控制模块构成,本发明可克服磁光存储系统中读出分辨率和灵敏度低的问题;具有回转精度高、不须进行道跟踪、记录密度高、可用于动态测试和静态测试、维护方便等特点。
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公开(公告)号:CN1738200A
公开(公告)日:2006-02-22
申请号:CN200510029376.6
申请日:2005-09-02
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要: 一种可编程高频脉冲信号发生器,其构成是:一计算机与一DSK板的并口相连,该DSK板的子板槽分别与ADC的输出端、收发器的输出端、寄存器输入端、第一DAC输入端和D触发器的输入端连接;所述的ADC的输入端即为本可编程高频脉冲信号发生器的输入端;所述的寄存器的输出端接第二DAC;所述的第一DAC和第二DAC的输出端与加法器相连;一主功率放大器的输入端与所述的加法器输出端连接,该主功率放大器的输出端即为本可编程高频脉冲信号发生器的主输出端;一副功率放大器的输入端与D触发器的输出端连接,该副功率放大器的输出端即为本可编程高频脉冲信号发生器的参考输出端;所述的收发器的另一端为触发端。
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公开(公告)号:CN1731080A
公开(公告)日:2006-02-08
申请号:CN200510028602.9
申请日:2005-08-09
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号: G01B11/30
摘要: 一种新型表面粗糙度测量系统。该系统由聚焦误差探测和控制驱动两部分组成。采用动态离焦误差检测方法,引入聚焦伺服系统,由临界角法探测到聚焦误差信号,用来控制聚焦物镜的移动,使聚焦光点始终聚焦在被测表面上,聚焦物镜的移动量反映了被测表面的高度变化。动态离焦误差检测方法大幅度提高了测量范围。为了避免光源不均匀,及被测表面的倾角对测量的影响,采用双光路,利用差动技术消去信号的畸变分量。
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公开(公告)号:CN1624873A
公开(公告)日:2005-06-08
申请号:CN200410093319.X
申请日:2004-12-21
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号: H01L21/033
摘要: 一种光刻用硫化物半导体掩膜,其特征在于所述的硫化物半导体掩膜的材料为碲化锗,锗锑碲,银铟锑碲,碲化锑或锑。本发明硫化物半导体掩膜材料由于材料的三阶非线性效应,能大大减小光斑或者刻蚀线宽,刻蚀点或刻蚀线宽是光斑衍射极限的1/3-1/6,比采用金属铟(In)(60%)的效果更明显,同时需要的激光功率也大大降低。
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公开(公告)号:CN100383455C
公开(公告)日:2008-04-23
申请号:CN200410017876.3
申请日:2004-04-22
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号: F21S10/00 , F21V21/14 , F21V3/02 , F21W131/105 , F21Y101/02
摘要: 一种可控发光二极管舞台灯,利用控制器通过控制电路控制不同位置、不同颜色发光二极管的发光强度,实现舞台灯光强度、颜色和柔和度的调节。控制器控制由旋转器和圆弧运动器构成的方向调节部件,实现灯光照射方向的自由调节控制,实现舞台灯自动控制。反射灯罩提高发光二极管光能利用率。可以利用前端灯罩投射图案;内置控制器,使舞台灯进一步集成、小型化,便于携带和野外使用。
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公开(公告)号:CN1273976C
公开(公告)日:2006-09-06
申请号:CN200410066861.6
申请日:2004-09-29
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号: G11B7/24
摘要: 一种氧化铂作掩膜的只读超分辨光盘,其构成是在盘基底上依次镀有第二保护层、氧化铂掩膜层和第一保护层,所述的第一保护层和第二保护层均是由硫化锌∶二氧化硅=80∶20的复合材料构成的薄膜层;所述的氧化铂中的含O2量由溅射过程中O2/(O2+Ar)的分压比例决定,分压比的取值范围为0.1~0.4。所述的氧化铂掩膜层是由厚度为15-80nm的纳米氧化铂薄膜层。本发明氧化铂作掩膜的只读超分辨光盘具有稳定性好、信噪比更高和更好的读出循环性。
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公开(公告)号:CN1270310C
公开(公告)日:2006-08-16
申请号:CN200410017812.3
申请日:2004-04-15
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号: G11B7/24
摘要: 一种用于只读式光盘的含非线性掩膜层的超分辨结构,依次是保护层、非线性反射膜和保护层,其特点是所述的保护层均由配比为硫化锌∶二氧化硅=80∶20复合材料组成;所述的非线性掩膜层由银铟锑碲(Ag11In12Sb51Te26)复合材料组成。本发明制作成本低廉,工艺简单,不仅可以实现小于超分辨信息记录点的读出,而且所获得的信噪比很高,大于40dB,读出循环性好。
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公开(公告)号:CN1249419C
公开(公告)日:2006-04-05
申请号:CN200410053442.9
申请日:2004-08-04
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海爱建纳米科技发展有限公司
摘要: 一种用于原子力显微镜针尖扫描的光点跟踪装置,其构成是:所述的激光杠杆:包括激光器,在激光器出射的平行光束的前进方向上有反射镜,该反射镜配有调节装置,在反射镜的反射光线G的前进方向上依次是聚焦透镜和微悬臂针尖,该聚焦透镜的中心和微悬臂针尖的背面顶端同处于光线G的光轴上,且微悬臂针尖的顶端位于聚焦透镜的焦点,在微悬臂针尖的反射光线H的前进方向上依次是成像透镜和两维可调的四象限光电探测器;一xy向扫描器和固定在该xy向扫描器上的z向扫描器形成所述的组合扫描器件;元器件模块化。本发明具有结构简单,各单元部件易于调整和更换,激光聚焦光点跟踪可靠的优点。
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公开(公告)号:CN1731085A
公开(公告)日:2006-02-08
申请号:CN200510028736.0
申请日:2005-08-12
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要: 一种测量激光光束平行性的装置,本发明采用被检测光束、光阑、会聚透镜、半透半反镜、两个柱透镜、两个四象限探测器和计算机组成测量装置;会聚物镜、半透半反镜、两个柱透镜和两个四象限探测器构成光束平行性检测器,基于象散法聚焦误差探测来进行光束平行性的探测。采用差动法消除由于入射光离轴造成的探测误差。可以通过设计光学系统以拥有任意灵敏度和线性范围;尤其适合测量高质量的小口径,小发散角的具有旋转对称性的激光光束。
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