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公开(公告)号：CN103011054A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210344319.7
申请日：2012-09-17
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B06B1/0292 , B81B3/0075 , B81B2201/0221 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315 , B81B2203/0392 , H04R19/005 , H04R31/00
Abstract: 本发明涉及一种机电换能器的制造方法。提供一种由绝缘层的平坦性的变化导致的击穿强度的变化更小的机电换能器的制造方法。在机电换能器的制造方法中，在第一基板上形成第一绝缘层，并且，通过去除第一绝缘层的一部分来形成隔离壁，并且，在去除了第一绝缘层的一部分之后的第一基板的区域上形成第二绝缘层。然后，通过在隔离壁上接合第二基板来形成间隙，并且，由第二基板形成隔着间隙与第二绝缘层相对的振动膜。在形成隔离壁时，沿与第一基板垂直的方向的间隙侧的高度变得比中心部分的高度低。
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公开(公告)号：CN102728533A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210097609.6
申请日：2012-04-06
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H04R1/00 , B06B1/0292 , B81B2201/0271 , B81B2203/04 , B81C1/00626 , H04R2201/003
Abstract: 本发明涉及机电变换器及其制作方法。该机电变换器包括：衬底；布置在所述衬底上的第一电极；以及振动膜，包括布置在所述第一电极上的薄膜以及布置在所述薄膜上以便与所述第一电极相对的第二电极，在所述第一电极与所述薄膜之间具有间隙。所述第一电极具有6nm RMS或更小的表面粗糙度值。
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公开(公告)号：CN101462692A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200810188516.8
申请日：2008-12-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B81C1/00 , B81B3/00 , G02B26/08 , G01P15/097 , G01P3/44 , C23F1/02 , H01L21/308
CPC classification number: B81C1/00404
Abstract: 提供一种基于各向异性蚀刻制造结构的方法，包括：用于在单晶硅基片上形成基础蚀刻掩模和校正蚀刻掩模的掩模形成步骤，所述基础蚀刻掩模对应于目标形状，所述校正蚀刻掩模具有连接到所述基础蚀刻掩模的接合部；以及用于通过基于各向异性蚀刻方法蚀刻所述硅基片而形成所述目标形状的目标形状形成步骤；其中，在所述掩模形成步骤中，至少在所述校正蚀刻掩模的接合部的一部分中形成低强度部分，在所述低强度部分中机械强度局部降低。还提供一种具有蚀刻掩模的硅基片。
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公开(公告)号：CN101441324A
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200810178622.8
申请日：2008-11-21
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G02B26/105 , Y10S359/90
Abstract: 公开了一种基于蚀刻单晶硅基底的振荡器制造方法包括：掩模形成步骤，用于在单晶硅基底上形成具有带有包括多个相互连接振荡器的重复形状的图案的蚀刻掩模，振荡器中的每一个包括在支承基底和可动部件之间的扭簧；蚀刻步骤，用于在使用蚀刻掩模作为掩模的同时蚀刻单晶硅基底，从而在单晶硅基底上形成包括多个相应的相互连接振荡器的重复形状；和切割步骤，用于确定处于重复形状的每一个振荡器的可动部件和支承基板的宽度，当它们用作振荡器时，所述宽度有效地确定各个振荡器所需要的谐振频率，并且切割步骤用于以确定的所述宽度在毗连的振荡器之间切割可动部件和支承基板而进行切断。还公开了相应的光偏转器和光学器械。
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公开(公告)号：CN112655197A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201980056748.4
申请日：2019-08-23
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H04N5/347 , H04N5/3745 , H04N5/376 , H04N5/369 , H04N9/04
Abstract: 一种摄像装置包括：像素单元，其具有布置成形成多行和多列的多个像素；读出单元，该读出单元根据划分图案将像素单元划分为多个像素块，各个像素块包括多个像素，并且该读出单元组合来自所述多个像素块中的一个像素块中所包括的多个像素的信号，以生成所述多个像素块中的各个像素块的一个信号；检测单元，其检测由所述像素块的读出单元顺序地生成的多个信号之间的信号值的变化；以及控制单元，其控制读取单元。控制单元响应于检测单元检测到信号值的变化来控制读出单元，以从像素块中所包括的多个像素中的各个像素分别输出信号，并且控制读出单元，使得划分图案在帧之间是不同的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106238301B
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201610597858.X
申请日：2013-07-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
Abstract: 公开了电容式换能器、其制造方法和被检体信息获取装置。提供了具有宽频带频率特性的电容式换能器。电容式换能器包括具有多种单元的元件，每个单元包括：第一电极；包括第二电极的振动膜，第二电极通过间隙与第一电极相对；以及支持部，支持振动膜以形成间隙。当从振动膜的法线方向看时，多种单元具有不同的、第一电极和第二电极中的一个的面积与间隙的面积的比率。多种单元中的第一电极或第二电极电连接在一起。
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公开(公告)号：CN104113817B
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201410156455.2
申请日：2014-04-18
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本发明涉及变换器、变换器的制造方法和对象信息获取装置。变换器包括：包含多个单元的至少一个元件。每一个单元包含其间设置有间隙的一对电极和包含电极之一的振动膜片，并且振动膜片以可振动的方式被支撑。元件中的所述多个单元中的第一单元和第二单元具有相互连通的间隙，并且元件中的第一单元和第三单元具有不相互连通的间隙。
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公开(公告)号：CN102728535B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201210099694.X
申请日：2012-04-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: B06B1/0292
Abstract: 本申请涉及电气机械换能器及其制造方法。一种制造电气机械换能器的方法包括：在第一电极上形成绝缘膜；在绝缘膜上形成牺牲层；在牺牲层上形成第一膜片；在第一膜片上形成第二电极；在第一膜片中形成蚀刻孔，并且通过蚀刻孔移除牺牲层；在第二电极上形成第二膜片，并且密封蚀刻孔。形成第二膜片和密封蚀刻孔在一个操作中执行。
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公开(公告)号：CN102744193B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201210114687.2
申请日：2012-04-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: B06B1/0292
Abstract: 本申请公开了电气机械变换器及其制造方法。该电气机械变换器包括：包含基板、振动膜和被配置用于支撑振动膜使得在基板与振动膜之间形成间隙的振动膜的支撑部分的单元；和引线，该引线布置在基板上且绝缘体置于它们之间，并且该引线延伸到单元，其中绝缘体具有比支撑部分的厚度大的厚度。电气机械变换器可减小寄生电容以防止噪声的增加、带宽的减小和灵敏度的降低。
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公开(公告)号：CN102744193A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201210114687.2
申请日：2012-04-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: B06B1/0292
Abstract: 本发明公开了电气机械变换器及其制造方法。该电气机械变换器包括：包含基板、振动膜和被配置用于支撑振动膜使得在基板与振动膜之间形成间隙的振动膜的支撑部分的单元；和引线，该引线布置在基板上且绝缘体置于它们之间，并且该引线延伸到单元，其中绝缘体具有比支撑部分的厚度大的厚度。电气机械变换器可减小寄生电容以防止噪声的增加、带宽的减小和灵敏度的降低。
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