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公开(公告)号：CN106238301A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610597858.X
申请日：2013-07-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: H04R19/013 , B06B1/0292 , G01H11/06 , G01N29/2406 , G01N29/348 , H04R19/005 , H04R23/008 , H04R31/00
Abstract: 公开了电容式换能器、其制造方法和被检体信息获取装置。提供了具有宽频带频率特性的电容式换能器。电容式换能器包括具有多种单元的元件，每个单元包括：第一电极；包括第二电极的振动膜，第二电极通过间隙与第一电极相对；以及支持部，支持振动膜以形成间隙。当从振动膜的法线方向看时，多种单元具有不同的、第一电极和第二电极中的一个的面积与间隙的面积的比率。多种单元中的第一电极或第二电极电连接在一起。
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公开(公告)号：CN105895797A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610387408.8
申请日：2012-04-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/316 , H01L41/332 , H02N1/08
CPC classification number: B06B1/0292 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/316 , H01L41/332 , H02N1/006 , H02N1/08 , Y10T29/42
Abstract: 本发明涉及机电换能器及其制造方法。所述机电换能器包括：第一电极、被设置在第一电极上的硅氧化物膜、以及包含被设置于硅氧化物膜上使得其间具有间隙的硅氮化物膜和被设置于硅氮化物膜上以与第一电极相对的第二电极的振动膜。
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公开(公告)号：CN105728304A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610088359.8
申请日：2012-04-06
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H04R1/00 , B06B1/0292 , B81B2201/0271 , B81B2203/04 , B81C1/00626 , H04R2201/003
Abstract: 本发明涉及机电变换器及其制作方法。该机电变换器包括：衬底；布置在所述衬底上的第一电极；以及振动膜，包括布置在所述第一电极上的薄膜以及布置在所述薄膜上以便与所述第一电极相对的第二电极，在所述第一电极与所述薄膜之间具有间隙。所述第一电极具有6nm RMS或更小的表面粗糙度值。
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公开(公告)号：CN102738383B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201210102975.6
申请日：2012-04-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G01N29/24
CPC classification number: G01N29/2418 , B06B1/0292 , G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种机电变换器和光声装置。本发明提供一种机电变换器，其可防止光入射在接收面上，而不使振动膜的机械特性劣化。所述机电变换器具有至少一个单元(2)，在单元(2)中，振动膜(7)被能振动地支承，振动膜(7)包含两个电极(3)和(8)中的一个电极(8)，所述两个电极(3)和(8)被设置为在其之间插入间隙(5)。所述机电变换器具有形成在振动膜(7)上的、具有与振动膜(7)的声阻抗匹配的声阻抗的应力松弛层(9)，并且具有形成在应力松弛层(9)上的光反射层(6)。
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公开(公告)号：CN102569306B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201110310468.7
申请日：2011-10-14
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L27/12 , B06B1/02 , H01L21/768 , H01L23/48
CPC classification number: B81C1/00158 , B06B1/0292
Abstract: 本发明公开了电气机械变换器及其制造方法。电气机械变换器包括多个元件，每个元件包含至少一个单元结构，所述单元结构包含：半导体基板；半导体振动膜；和支撑部，用于支撑振动膜以使得在基板的一个表面和振动膜之间形成间隙。该多个元件在包含振动膜的半导体膜的分离位置处相互分离。该多个元件中的每一个元件在贯通包含所述支撑部的第一绝缘层和半导体基板的通孔中包含：与包含所述振动膜的所述半导体膜连接的导体；和用于使所述导体与半导体基板绝缘的第二绝缘层。
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公开(公告)号：CN104281772A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201410326449.7
申请日：2014-07-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G06F19/00
CPC classification number: G10K9/12 , B06B1/0207 , B06B1/0292 , B06B2201/20 , G01S15/02 , H02N1/006
Abstract: 一种换能器和对象信息获取装置，该换能器包括：多个元件，每个元件包括至少一个单元，所述至少一个单元被构造为使得包括被设置为经由空隙而彼此面对的第一电极和第二电极中的一个电极的振动膜被能够振动地支撑；偏置布线，用于将偏置电压供给第一电极以提供第一电极与第二电极之间的电势差，并且用于将所述元件的第一电极彼此电连接；以及信号布线，每个信号布线连接到多个元件中的不同的一个元件。偏置布线包括：多个支路布线，多个支路布线中的每个连接有所述元件中的一部分的第一电极；多个第一公共布线，用于将支路布线彼此连接；以及第二公共布线，用于将第一公共布线彼此连接。
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公开(公告)号：CN104117477A
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201410180728.7
申请日：2014-04-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B06B1/02
CPC classification number: B06B1/0292 , G01N29/2406 , G01N29/2418 , G01N29/34 , G01N2291/045 , G01N2291/101 , Y10T29/49007
Abstract: 本发明涉及电容变换器及其制造方法、探测器以及对象信息获取装置。提供了一种电容变换器，该电容变换器包括：包含多个单元的元件，所述多个单元被支撑，使得包含其间形成有间隙的一对电极之一的振动膜片能够振动，其中，元件端部中的单元的一对电极之间的距离大于元件中间部分中的单元的一对电极之间的距离。
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公开(公告)号：CN112655197B
公开(公告)日：2024-05-21
申请号：CN201980056748.4
申请日：2019-08-23
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H04N25/74 , H04N25/772 , H04N25/79 , H04N25/771 , H04N25/46 , H04N25/13
Abstract: 本发明提供了摄像装置、摄像系统和摄像装置的驱动方法。摄像装置包括：像素单元，具有布置成形成多行和多列的多个像素；读出单元，根据划分图案将像素单元划分为各个包括多个像素中的至少两个像素多个像素块，且该读出单元组合来自多个像素块中的一个像素块中所包括的在多个像素中的至少两个像素的信号以生成多个像素块中的各个像素块的一个信号；检测单元，检测由一个像素块的读出单元顺序地生成的多个信号之间的信号值的变化；及控制单元，控制读出单元。控制单元响应于检测单元检测到信号值的变化来控制读出单元，以从至少在一个像素块中所包括的多个像素中的各个像素分别输出信号，并控制读出单元，使得划分图案在至少两个帧中是不同的。
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