-
公开(公告)号：CN102163529A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110062041.X
申请日：2011-03-15
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开一种电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，属电子显微镜领域。该装置中，光阑架上设有定位槽和压片，光阑片通过压片压设在定位槽内；光阑片上排列设有四个孔径不同的通孔作为光阑孔；光阑架设在光阑孔调节装置的光阑轴前端，能通过光阑孔调节装置上设置的调节手柄、尾盖螺帽和微调装置，调节光阑轴对光阑片上的光阑孔进行选择及空间三个方向上的精密调整，使光阑孔的中心处于电子束轴线上。该装置结构简单，方便选择并定位不同孔径通孔作为光阑孔，从而获得不同的照明孔径角，使第二聚光镜实现针对不同的样品可提供不同的照明孔径角。
-
公开(公告)号：CN102148122A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201110039361.3
申请日：2011-02-16
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种应用于透射电子显微镜的层叠式低像差会聚小透镜，包括励磁线圈、外磁路、极靴，极靴的下部为层叠式结构，包括多个层叠布置的软磁性材料磁环，相邻的软磁性材料磁环之间采用非导磁材料圆环作为间隔。相邻的所述软磁性材料磁环的厚度比为1∶0.618，自极靴的端部向上按顺序厚度增长呈指数分布。可在较长的工作距离下获得低的球差系数，且透镜的极靴不易饱和，因此可在较大励磁电流作用下在极靴处获得较强的磁场，很好的解决了极靴饱和与磁场强度之间的矛盾。
-
公开(公告)号：CN102064077A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010569692.3
申请日：2010-12-02
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 一种利用同步可控电子束提高聚焦离子束加工精度的方法，该方法有四大步骤：一、对刻蚀加工的样品进行清洗、烘干，然后装入双束系统的样品台上，并抽取真空；二、移动样品台到该双束系统的工作距离，调节该双束系统电压、束流等参数，调节好电子束与离子束象散，最终使该系统中的电子束与离子束的焦点汇聚于样品表面。三、在聚焦离子束曝光软件-图形发生器上设计好需要加工的图形；同时打开聚焦离子束和电子束辅助聚焦离子束刻蚀加工，根据聚焦离子束束流大小选择好合适的电子束束流范围；四、关闭该双束系统中电子束与离子束的高压，从样品室的样品台上取出加工刻蚀完的样品。它在半导体工业及材料的微纳米加工等技术领域里具有发展前景。
-
公开(公告)号：CN101602183A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200910087975.1
申请日：2009-06-26
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种制备近场光学探针的装置及其方法，所述装置包括减振橡胶、支撑底板、三相无刷电机、调节架和光学显微镜，所述的支撑底板水平设置的减震橡胶上，支撑底板上固定三相无刷电机、调节架和光学显微镜；所述方法首先将石英光纤固定在调节架上，并以设定的角度固定在研磨材料的上方，当研磨材料旋转时，使光纤接近研磨材料并产生摩擦，然后将光纤沿其轴向旋转不同的角度，反复与研磨片接近并摩擦；即可磨制出三棱锥、四棱锥及圆锥等不同形状的近场光学探针。该方法克服了制作光纤探针锥角的限制，可以直接设定研磨锥角，制作方式灵活；制作过程安全、环保；制备时间短，参数容易精确控制，重复性好；整个装置的操作简便，制备成本低廉。
-
公开(公告)号：CN102509689B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201110349943.1
申请日：2011-11-08
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： H01J37/153
摘要： 本发明提出一种电子显微镜的物镜消像散器，是用于增强物镜线圈磁感应强度的装置。所述装置主要包括电磁消像散器组件、保护套、屏蔽磁套、隔圈组件、接线螺圈、螺套、螺圈和固定光栏，电磁消像散器组件又包括线圈支架和线圈框，线圈框上缠绕有消像散线圈，接线螺圈螺纹套接在线圈支架上，保护套螺纹套接在线圈框外，固定光栏通过保护套伸入线圈支架的中心通孔，屏蔽磁套与隔圈组件固定一起，隔圈组件通过螺套和螺圈固定在线圈支架上。本发明采用电磁式，结构简单、不易污染、使用方便，且将消像散所产生的磁路限制在一个很小的范围内，增强了消像散的功能。
-
公开(公告)号：CN102231354B
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201110077408.5
申请日：2011-03-29
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开一种电子显微镜的电子枪换气装置，属电子显微镜领域。包括：四通组件设有进气接口、抽放气接口、压力表接口和接电子枪的换气接口，四个接口通过四通组件内部相互连通；其中，四通组件的进气接口与充气组件的出气口连接，抽放气接口经转换阀与抽气装置连接，压力表接口与电接点压力表连接；转换阀设有抽气接口和四通组件接口，通过四通组件接口与四通组件的抽放气接口连接，通过抽气接口与抽气装置连接，转换阀内设有开关，开关设有抽气、充气和放气三个位置，处于抽气位置时能使四通组件接口与抽气接口之间连通；处于充气位置时能使四通组件接口与抽气接口都关闭，处于放气位置能进行放气。该换气装置结构简单，操作方便，密封性好。
-
公开(公告)号：CN102142347B
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201110032114.0
申请日：2011-01-28
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： H01J37/20
摘要： 本发明公开了一种电子显微镜的样品室，属于电子显微镜技术领域。该样品室包括：外壳、上托板、下托板、第一堵头、第二堵头、真空法兰和波纹管；所述外壳为中空筒体，筒体内设有一环形凸台，筒壁上设有两个附件安装孔和抽真空孔，两个附件安装孔和抽真空孔均与外壳的筒体内连通；上托板扣装在外壳的一端开口上，固定在外壳的筒体内的所述环形凸台上；下托板固定扣装在上托板上；所述第一堵头、第二堵头分别设置在两个附件安装孔上，堵住两个附件安装孔，起密封作用；所述波纹管通过所述真空法兰设置在所述外壳的筒壁上的抽真空孔上。该样品室具有结构简单、体积小，部件少，装配及维护方便等优点。
-
公开(公告)号：CN102163529B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201110062041.X
申请日：2011-03-15
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开一种电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，属电子显微镜领域。该装置中，光阑架上设有定位槽和压片，光阑片通过压片压设在定位槽内；光阑片上排列设有四个孔径不同的通孔作为光阑孔；光阑架设在光阑孔调节装置的光阑轴前端，能通过光阑孔调节装置上设置的调节手柄、尾盖螺帽和微调装置，调节光阑轴对光阑片上的光阑孔进行选择及空间三个方向上的精密调整，使光阑孔的中心处于电子束轴线上。该装置结构简单，方便选择并定位不同孔径通孔作为光阑孔，从而获得不同的照明孔径角，使第二聚光镜实现针对不同的样品可提供不同的照明孔径角。
-
公开(公告)号：CN102169790B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110077399.X
申请日：2011-03-29
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/141
摘要： 本发明公开一种电子显微镜的第一聚光镜，属电子显微镜领域。包括：外壳为两端开口的圆柱环形空腔；上盖板、密封隔圈和磁环连接后设置在外壳内，上盖板盖住外壳的上端开口，在上盖板上设置铅板，上盖板、密封隔圈和磁环的中间部位均设有相互连通的通孔；上盖板、密封隔圈和磁环的连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和极靴组件，固定光阑组件和极靴组件中间部位均设有相互连通的通孔，连通后的通孔作为该第一聚光镜的电子束通路；在极靴组件连接处的密封隔圈和磁环外面围绕设置磁路线圈，磁路线圈上面设有水套隔圈组件，水套隔圈组件的上面为上盖板。该第一聚光镜结构简单，零部件少，操作方便，便于装配和维修，能将电子枪交叉点的电子束斑进行较大地缩小，提高电子显微镜性能。
-
公开(公告)号：CN102136406B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110032112.1
申请日：2011-01-28
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开一种电子显微镜的小聚光镜，属电子显微镜领域。包括：下极靴为上端开口的圆筒体，圆筒体上端开口外设有法兰，下端设有圆锥形底，圆锥形底上设有电子束通孔；上极靴为中空的圆筒体，上极靴下端设有环形凸台，上极靴设在下极靴内；磁路线圈组件由环形线圈套装在线圈筒架上构成，线圈筒架为中空圆筒体，圆筒体两端设有固定环形线圈的挡板；磁路线圈组件套装在下极靴内的上极靴上，夹设在上、下极靴之间，磁路线圈组件底端通过线圈垫板设置在上极靴的环形凸台上；下极靴的上端开口的法兰上设置能盖住下极靴内各部件的隔圈，隔圈与下极靴固定连接，隔圈的中心部位设有通孔。该小聚光镜结构简单，使用方便。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
37 条记录 (耗时 0.028 秒)
