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公开(公告)号:CN117747690A
公开(公告)日:2024-03-22
申请号:CN202311645913.4
申请日:2023-11-30
IPC分类号: H01L31/09 , H01L31/0232 , H01L31/032 , H01L31/0216 , H01L31/18
摘要: 本发明公开了一种基于超表面集成的硒化铅探测器及制备方法。硒化铅探测器包括:从下至上设置的硅片衬底、金属背板、第一介质层、硒化铅层、第二介质层和金属天线,以及设置在硒化铅层上的金属电极;第一介质层和第二介质层在硒化铅层和金属电极/金背板中间绝缘;金属天线为超表面微纳结构,选择性增强硒化铅层对响应带宽内预设波段的吸收率,抑制其他波段的吸收率;硒化铅层吸收预设波段的光场转化为电信号;金属电极包括两个长条形金属电极,分别设置在第二介质层的左右两侧;金属电极将硒化铅层产生的电信号输出,以探测预设波段的光信号。采用超表面技术解决硒化铅光电探测器响应度低和没有波长选择的问题,实现对特定波段检测并提高响应度。
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公开(公告)号:CN117491304A
公开(公告)日:2024-02-02
申请号:CN202311409858.9
申请日:2023-10-27
IPC分类号: G01N21/3504 , G01J5/35
摘要: 本发明公开了一种面向气体传感的宽角域带通红外探测器,属于红外气体传感领域。探测器自下而上包括热释电探测器、带通吸收体和聚光透镜。热释电探测器由上下电极和钽酸锂薄膜组成,带通吸收体由背板,介质层,天线簇构成。聚光透镜由衬底,介质柱组成。本发明高效收集大角度入射光线并聚焦在于热电探测器上,通过调整圆盘半径和圆盘排列组合方式实现对特定目标通带内的电磁波高效吸收。大幅降低了红外探测器结构复杂度,赋予探测器带通响应的能力,同时提高了探测器探测率。同时,超材料聚光透镜大幅提升了探测器的聚光能力,相比于一般的探测器有着更高的灵敏度和探测效率。
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公开(公告)号:CN113358595B
公开(公告)日:2023-04-11
申请号:CN202110604520.3
申请日:2021-05-31
申请人: 华中科技大学
IPC分类号: G01N21/3504 , G01N21/359 , G01N21/27 , H01L27/144
摘要: 本发明公开一种量子点近红外气体传感器以及制备方法,属于气体传感器技术领域,将集成光学天线的量子点光电探测器、气室、光源、信号处理电路进行片上集成,该气体传感器可将检测到的气体量转换成可用输出电信号,最后读出气体浓度信息。本发明中,红外气体传感器的核心部件为量子点光电探测器,与光学天线直接集成实现窄带滤光并且提高其灵敏度,取代分立滤光片元件,减小红外气体传感器体积,并提出适用于光子型探测器的后端信号检测与放大电路,结合气室、光源制备成NDIR气体传感器,针对CH4和NH3气体实现小体积、高灵敏、低成本的快速检测。本发明还提供了其制备方法,其制备方法简便可行。
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公开(公告)号:CN115236160A
公开(公告)日:2022-10-25
申请号:CN202210820832.2
申请日:2022-07-13
申请人: 华中科技大学
IPC分类号: G01N27/414 , G01N27/416 , G06T9/00 , H01L29/78
摘要: 本发明提供了一种基于场效应晶体管的嗅觉感知方法,属于智能传感器技术领域。构建具有气敏效应的场效应晶体管,利用晶体管电可调属性,调节栅压并采集晶体管输出电流数据,通过晶体管对不同气味输出特性电流数据进行插值处理,实现对气味分子的可视化三维图像编码,结合图像识别算法实现气味识别及定量分析。本发明方法具有高灵敏度、高特异性和高可靠性,结合现有的集成电路设计方法和晶圆级制造,能提升嗅觉传感器的集成化和智能化程度。
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公开(公告)号:CN113358595A
公开(公告)日:2021-09-07
申请号:CN202110604520.3
申请日:2021-05-31
申请人: 华中科技大学
IPC分类号: G01N21/3504 , G01N21/359 , G01N21/27 , H01L27/144
摘要: 本发明公开一种量子点近红外气体传感器以及制备方法,属于气体传感器技术领域,将集成光学天线的量子点光电探测器、气室、光源、信号处理电路进行片上集成,该气体传感器可将检测到的气体量转换成可用输出电信号,最后读出气体浓度信息。本发明中,红外气体传感器的核心部件为量子点光电探测器,与光学天线直接集成实现窄带滤光并且提高其灵敏度,取代分立滤光片元件,减小红外气体传感器体积,并提出适用于光子型探测器的后端信号检测与放大电路,结合气室、光源制备成NDIR气体传感器,针对CH4和NH3气体实现小体积、高灵敏、低成本的快速检测。本发明还提供了其制备方法,其制备方法简便可行。
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公开(公告)号:CN104316570A
公开(公告)日:2015-01-28
申请号:CN201410567065.4
申请日:2014-10-22
申请人: 华中科技大学
摘要: 本发明公开了一种掺杂钴酸镧纳米棒阵列气敏传感器的制备方法,适合锶、铈、钯等元素掺杂钴酸镧纳米棒阵列气敏传感器的制备。本方法采用阳极氧化法制备纳米棒阵列模板,采用溶胶凝胶法在模板上形成掺杂钴酸镧纳米棒,并采用晶种的方式将纳米棒与电极基板接触。该方法可以完好的保留纳米棒的形貌,并能在室温下对一氧化碳有较好的响应。采用该方法制备的室温一氧化碳传感器结构简单,性能优异。
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公开(公告)号:CN102680434A
公开(公告)日:2012-09-19
申请号:CN201210151750.X
申请日:2012-05-16
申请人: 华中科技大学
摘要: 本发明属于材料性能分析测试技术,可以测试多种材料在气氛中的光电流性能,为评价材料在光激发下的气敏性能以及评价材料的光电催化性能提供依据。本发明方法由光源部分、环境控制组件、测试腔、信号采集部分和控制部分组成。本发明方法测试多种材料在特定环境中、全光谱范围内光电流变化,为材料光电响应最佳响应范围和材料本征以及缺陷能级与含量的确定提供依据。本发明方法具有可控环境多,系统自动化程度高,单次测试样本多的特点。
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公开(公告)号:CN101874979B
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN200910273087.9
申请日:2009-12-04
申请人: 华中科技大学
摘要: 本发明公开了一种气相光催化反应器,包括动力腔、检测腔、LED光源和至少一个反应腔,动力腔内设计有风扇,检测腔内活动安装的气敏传感器,反应腔的腔体为空心的多面体直棱柱,腔体内放置催化剂,LED光源活动安装在直棱柱的每个侧面,腔体采用透光材料密封;各个腔通过连接管道连接成闭合回路,合回路上开有进气口和出气口。本发明可以方便地调节反应参数,包括更换催化剂种类、改变催化剂表面的光强、改变光源波长、改变催化剂表面积与体系体积的比值,测试不同形态催化剂的光催化性能等,可以在线检测被降解目标污染物浓度,而不需要借助间隔采样的方式来用其它手段检测气体浓度。
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公开(公告)号:CN101135689B
公开(公告)日:2010-12-15
申请号:CN200710053351.9
申请日:2007-09-21
申请人: 华中科技大学
摘要: 本发明属于电子鼻技术,为一种电子鼻开发平台。本发明的电子鼻开发平台,可根据用户应用需求,从传感器库中选择最优的传感器组成阵列,并从特征提取方法库中挑选合适的特征提取方法,同时从模式识别方法库中选择最优的模式识别方法,对该应用的待测样本进行测试与学习,并将学习结果建立知识库,从而快速地开发出了针对该应用的电子鼻。电子鼻在众多领域有广泛应用,使得电子鼻存在很多不同的应用需求。非电子鼻专业人员很难开发电子鼻,并且现有商用电子鼻价格昂贵,功能单一,不能满足多种应用需求。非电子鼻专业人员利用本发明可快速实现针对特定应用的电子鼻系统,能极大地减小电子鼻开发难度,降低开发成本,缩短开发时间。
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公开(公告)号:CN101871898A
公开(公告)日:2010-10-27
申请号:CN201010232273.0
申请日:2010-07-23
申请人: 华中科技大学
IPC分类号: G01N25/08
摘要: 本发明属于一种气味检测技术,涉及气味样品处理和嗅觉技术领域,公开了一种基于气味蒸发特征谱的嗅觉检测方法及其系统。人工嗅觉技术已广泛应用于各种气味检测领域。通过提高单传感器对气味的信息获取量,就能大幅度提升嗅觉检测能力。本发明利用液态样本各成分所具有的不同蒸发特性,在有限体积液态样本蒸发过程中,不同时刻蒸发所形成的气味具有不同的气体成分与含量,通过特定类型的气体传感器响应不同时刻下蒸发所形成的气味,获取随时间变化的传感器信号,即气味蒸发特征谱,来描述液体样本蒸发特性,从而增加气体传感器所获取气味的信息,提高气味分析的准确性,在食品分析、安全检测、医疗卫生等方面都有很大的市场应用价值。
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