一种利用RPD以铟锡合金作为源反应沉积低成本ITO薄膜的方法

    公开(公告)号:CN117626187A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311428107.1

    申请日:2023-10-31

    IPC分类号: C23C14/24 C23C14/08 C23C14/54

    摘要: 本发明公开了一种利用RPD以铟锡合金作为源反应沉积低成本ITO薄膜的方法,将金属铟与锡放入RPD设备的坩埚中,用机械泵及分子泵将RPD腔体抽至背底真空,之后通过流量计通入氩气,并开始调节压力,调整RPD腔体内压力到稳定状态;调整电源电流并启动电源,当观察到成功启辉且辉光稳定后,通入氧气,打开挡板开始镀膜,所得即为ITO薄膜。本发明使用RPD这种设备相比磁控溅射等制备方法具有显著的成本优势,作为蒸发源的铟金属与锡金属相对于陶瓷靶材ITO具有材料价格较低的优点,本申请使用金属靶材成本约为陶瓷靶材的三分之一,相比陶瓷靶材具有价格优势。本发明中被离化的金属离子氧化成为金属氧化物,并最终在衬底上形成透光性好、电导率高的TCO薄膜。

    光伏组件生产线
    26.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114497276B

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202111661747.8

    申请日:2021-12-31

    IPC分类号: H01L31/18 H01L21/67

    摘要: 本发明公开一种光伏组件生产线,光伏组件生产线包括切片组件、存储组件、循环运输机、半片输送机、控制终端、检测组件、打胶组件、叠片平台和定位器,切片组件能够将电池原片切割为全片,以及能够将全片切割为不同规格的电池片,存储组件用于存储全片,循环运输机用于将存储组件上的全片输送至切片组件,半片输送机的数量与切片组件切割成型的不同规格的电池片的规格数量相等并一一对应,半片输送机与切片组件衔接并用于存储相应规格的电池片,打胶组件与存储组件和半片输送机中的每一者衔接,叠片平台与打胶组件衔接,定位器安装于叠片平台上。本发明提供的光伏组件生产线能够兼容包含多种规格电池片的光伏组件的生产。