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公开(公告)号:CN114763308B
公开(公告)日:2023-07-14
申请号:CN202210017479.4
申请日:2022-01-07
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B38/00 , C04B35/468 , C04B35/622 , B60H1/22 , H05B3/14
Abstract: 本发明涉及陶瓷体及其制造方法、加热器构件、加热器单元、加热器系统以及净化系统。一种陶瓷体,其中,以Ba的一部分由稀土元素置换的BaTiO3系结晶粒子为主成分,且含有1.0~10.0质量%的Ba6Ti17O40结晶粒子。
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公开(公告)号:CN108693234B
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN201810222721.5
申请日:2018-03-19
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01N27/407 , G01N27/409
Abstract: 本发明抑制Pt的扩散以及由固体电解质层与绝缘层之间的热膨胀系数差所引起的开裂,从而使传感器元件长寿命化。平板状传感器元件的加热器部具有:加热器部件,其包含有Pt;绝缘层,其覆盖加热器部件;以及加热器电极,其暴露在传感器元件主面,且加热器部除了加热器电极以外的部分埋设于包含固体电解质的基体部,绝缘层以合计97~100wt%的重量比至少包含MgO、MgAl2O4以及Mg4Nb2O9,MgO、MgAl2O4以及Mg4Nb2O9的重量比分别为30~60wt%、30~60wt%、0.5~15wt%,绝缘层的气孔率为4%以下。
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公开(公告)号:CN111744288B
公开(公告)日:2022-02-15
申请号:CN202010199337.5
申请日:2020-03-20
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: B01D46/24 , C04B35/195 , C04B35/622 , C04B38/06
Abstract: 本发明提供蜂窝结构体及蜂窝结构体的制造方法,在蜂窝结构体中,通过多个隔壁(23)而形成从轴向观察时呈二维地排列的多个隔室。多个隔壁(23)由以堇青石为主成分的多孔质材料形成。在隔壁(23)中,作为从两表面分别起算至深度达到隔壁厚度的25%为止的部位的表层部(32)的气孔率及作为其他部位的内部(33)的气孔率为50%以上。表层部(32)包括轴向气孔宽度小于30μm的气孔和轴向气孔宽度为30μm以上的气孔,内部(33)也包括轴向气孔宽度小于30μm的气孔和轴向气孔宽度为30μm以上的气孔。表层部(32)的轴向平均气孔宽度小于内部(33)的轴向平均气孔宽度。
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公开(公告)号:CN112567885A
公开(公告)日:2021-03-26
申请号:CN201980027928.X
申请日:2019-07-31
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明提供一种加热器部件,其采用了PTC材料,能满足充分的导热面积和电阻特性。一种车厢供暖用加热器部件,其是具备柱状蜂窝结构部的、车辆的车厢供暖用加热器部件,该柱状蜂窝结构部具有外周侧壁及间隔壁,该间隔壁配设于外周侧壁的内侧并区划形成多个隔室,该多个隔室从第一底面至第二底面而形成流路,其中,所述间隔壁具有PTC特性,所述间隔壁的平均厚度为0.13mm以下,所述第一底面及第二底面中的开口率为0.81以上。
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公开(公告)号:CN104240876B
公开(公告)日:2018-03-13
申请号:CN201410245360.8
申请日:2014-06-04
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: H01C10/00 , C01G9/02 , C01P2002/72 , C01P2002/74 , C01P2004/20 , C01P2004/32 , C01P2004/62 , C04B35/453 , C04B2235/3217 , C04B2235/3267 , C04B2235/3275 , C04B2235/3279 , C04B2235/3284 , C04B2235/3291 , C04B2235/3294 , C04B2235/3298 , C04B2235/3409 , C04B2235/3418 , C04B2235/36 , C04B2235/5292 , C04B2235/5445 , C04B2235/6025 , C04B2235/604 , C04B2235/72 , C04B2235/787 , H01C7/112 , H01C17/06546
Abstract: 本发明提供一种在高电流区中的电压较低且易于制造的电压非线性电阻体。本发明的电压非线性电阻体以氧化锌为主成分,其如下式所示的氧化锌的(100)面的取向度f(100)为0.40以上:f(100)=I(100)/(I(100)+I(002)+I(101))其中,I(hkl)代表(hkl)面的X线衍射峰的积分强度值。
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公开(公告)号:CN102822115B
公开(公告)日:2017-06-27
申请号:CN201180015793.9
申请日:2011-03-18
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/50 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/683
CPC classification number: C04B35/50 , C04B35/111 , C04B35/505 , C04B35/645 , C04B2235/3206 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/445 , C04B2235/5445 , C04B2235/604 , C04B2235/656 , C04B2235/6567 , C04B2235/658 , C04B2235/663 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/85 , C04B2235/95 , C04B2235/96 , C04B2235/9669
Abstract: 首先,将Yb2O3原料粉末通过200kgf/cm2的压力单轴加压成形,制作厚10mm左右的圆盘状成形体,装入烧成用石墨铸模。接着,使用热压法在规定的烧成温度(1500℃)进行烧成,得到半导体制造装置用耐腐蚀性构件。烧成时的冲压压力为200kgf/cm2、烧成终结为止为Ar气氛。烧成温度(最高温度)下的保持时间为4小时。这样,得到开孔率0.2%的Yb2O3烧结体构成的半导体制造装置用耐腐蚀性构件。
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公开(公告)号:CN102738044B
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201210071328.3
申请日:2012-03-16
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/673
CPC classification number: H01L21/6833
Abstract: 本发明提供一种半导体制造装置用部件,其能降低接合时的残留应力,防止陶瓷基体发生裂纹,即使使用温度为200℃也可获得充分的接合强度,静电吸盘包括:埋设有电极(14)的陶瓷基体(12)、在设于陶瓷基体(12)的背面的凹部(16)的底面露出的电极端子(14a)、用于向电极(14)供电的供电部件(20)、连接供电部件(20)和陶瓷基体(12)的接合层(22)。接合层由AuGe系合金、AuSn系合金、或AuSi系合金形成。对于所述陶瓷基体(12)和所述供电部件(20),从所述供电部件(20)的热膨胀系数减去所述陶瓷基体(12)的热膨胀系数后的热膨胀系数差D选择满足-2.2≤D≤6(单位:ppm/K)的。
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公开(公告)号:CN104240876A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201410245360.8
申请日:2014-06-04
Applicant: 日本碍子株式会社
CPC classification number: H01C10/00 , C01G9/02 , C01P2002/72 , C01P2002/74 , C01P2004/20 , C01P2004/32 , C01P2004/62 , C04B35/453 , C04B2235/3217 , C04B2235/3267 , C04B2235/3275 , C04B2235/3279 , C04B2235/3284 , C04B2235/3291 , C04B2235/3294 , C04B2235/3298 , C04B2235/3409 , C04B2235/3418 , C04B2235/36 , C04B2235/5292 , C04B2235/5445 , C04B2235/6025 , C04B2235/604 , C04B2235/72 , C04B2235/787 , H01C7/112 , H01C17/06546
Abstract: 本发明提供一种在高电流区中的电压较低且易于制造的电压非线性电阻体。本发明的电压非线性电阻体以氧化锌为主成分,其如下式所示的氧化锌的(100)面的取向度f(100)为0.40以上:f(100)=I(100)/(I(100)+I(002)+I(101))其中,I(hkl)代表(hkl)面的X线衍射峰的积分强度值。
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公开(公告)号:CN102822116A
公开(公告)日:2012-12-12
申请号:CN201180015911.6
申请日:2011-03-18
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: C04B35/50 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/683
CPC classification number: C04B35/50 , C04B35/44 , C04B35/505 , C04B35/6262 , C04B35/62655 , C04B35/645 , C04B2235/3213 , C04B2235/3217 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/5445 , C04B2235/658 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/96 , C04B2235/9692 , H01J2237/334
Abstract: 秤量Yb2O3与SrCO3为摩尔比1:1,调制调合粉末。将该调合粉末单轴加压成形,制作为圆盘状成形体。将成形体在大气气氛中进行热处理,合成复合氧化物。将合成的复合氧化物用研钵粗粉碎,进行湿式粉碎。将粉碎后取出的浆料在氮气流中干燥,制为合成原料粉末。将该合成原料粉末单轴加压成形,制作为圆盘状成形体。将得到的成形体用热压法烧成,得到半导体制造装置用耐腐蚀性构件。该耐腐蚀性构件,由SrYb2O4晶相构成,开孔率为0.1%,NF3腐蚀速率值小于由Y2O3的晶相构成的。
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公开(公告)号:CN102738044A
公开(公告)日:2012-10-17
申请号:CN201210071328.3
申请日:2012-03-16
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/673
CPC classification number: H01L21/6833
Abstract: 本发明提供一种半导体制造装置用部件,其能降低接合时的残留应力,防止陶瓷基体发生裂纹,即使使用温度为200℃也可获得充分的接合强度,静电吸盘包括:埋设有电极(14)的陶瓷基体(12)、在设于陶瓷基体(12)的背面的凹部(16)的底面露出的电极端子(14a)、用于向电极(14)供电的供电部件(20)、连接供电部件(20)和陶瓷基体(12)的接合层(22)。接合层由AuGe系合金、AuSn系合金、或AuSi系合金形成。对于所述陶瓷基体(12)和所述供电部件(20),从所述供电部件(20)的热膨胀系数减去所述陶瓷基体(12)的热膨胀系数后的热膨胀系数差D选择满足-2.2≤D≤6(单位:ppm/K)的。
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