公开(公告)号：CN108139678B

公开(公告)日：2022-03-15

申请号：CN201680057195.0

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

Abstract: 使基板(P)移动的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，以非接触方式支承基板(P)；第1驱动系，使非接触保持具(32)移动；标尺板(82)，作为非接触保持具(32)的移动的基准；第1测量部，测量Y读头(78y)的位置信息，具有标尺板(46)与Y读头(78y)，标尺板(46)与Y读头(78y)中的一者设于非接触保持具(32)，标尺板(46)与Y读头(78y)中的另一者设于标尺板(82)与非接触保持具(32)之间；第2测量部，测量标尺板(46)与Y读头(78y)中的另一者的位置信息；及位置测量系，根据由第1及第2测量部测量的位置信息，求出非接触保持具(32)的位置信息。

公开(公告)号：CN110383178B

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN201880016788.1

申请日：2018-03-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  吉田亮平

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

Abstract: 基板台装置(20)具备：微动台(22)，保持基板(P)，且具有与包含X轴方向及Y轴方向的既定平面平行的上表面部(104)、以及在Z轴方向上与上表面部相向的下表面部(102)；以及X音圈马达(70X)，以在X轴方向及Y轴方向上与上表面部及下表面部重叠，且在Z轴方向上由上表面部及下表面部夹持的方式配置，并且驱动微动台。

公开(公告)号：CN109791364B

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN201780058140.6

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。

公开(公告)号：CN112684664A

公开(公告)日：2021-04-20

申请号：CN202011102491.2

申请日：2016-12-09

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01J61/02

Abstract: 放电灯具备：在内部设有用于形成发光部的电极的玻璃管；和设于该玻璃管的端部的灯头部，在灯头部设有由开口构成的贯通孔。光源装置具备：使光束向放电灯的灯头部的贯通孔入射的照射部；对从该贯通孔通过的光束进行检测的受光部；和使用受光部的检测结果求出放电灯的角度的光源控制系统。能够容易地对放电灯是否已用完或旋转角等的状态进行确认。

公开(公告)号：CN107577116B

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201710811403.8

申请日：2013-04-03

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明的基板载台装置(20A)，具备延伸于扫描方向(X轴方向)、能移动于扫描交叉方向(Y轴方向)的位置的第1步进导件(50)，被第1步进导件(50)从下方支承、能沿第1步进导件(50)上面移动于沿扫描方向的位置且与第1步进导件(50)一起移动于沿扫描交叉方向的位置的微动载台(30)，以及以第2步进导件(54)的上面为基准面并使用设于微动载台(30)的Z感测器(38z)求出微动载台(30)的Z倾斜位置信息的位置测量系统。

公开(公告)号：CN107430354B

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN201680020548.X

申请日：2016-03-31

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 内藤一夫 ,  青木保夫 ,  长岛雅幸

IPC: G03F7/20 ,  G02F1/13 ,  G03F9/00 ,  H01L21/68

Abstract: 透过投影光学系(40)对基板(P)照射照明光(IL)，并借由相对基板(P)驱动投影光学系(40)进行扫描曝光的液晶曝光装置(10)，具备检测设于基板(P)的标记(Mk)的对准系(60)、驱动对准系(60)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以投影光学系(40)与对准系(60)彼此不接触的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此，能避免投影光学系(40)与对准系(60)的接触。

公开(公告)号：CN112162465A

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN202010960580.4

申请日：2016-03-31

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 内藤一夫 ,  青木保夫 ,  长岛雅幸

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

Abstract: 本发明是曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法。透过投影光学系(40)对基板(P)照射照明光(IL)，并借由相对基板(P)驱动投影光学系(40)进行扫描曝光的液晶曝光装置(10)，具备检测设于基板(P)的标记(Mk)的对准系(60)、驱动对准系(60)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以投影光学系(40)与对准系(60)彼此不接触的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此，能避免投影光学系(40)与对准系(60)的接触。

公开(公告)号：CN111164513A

公开(公告)日：2020-05-15

申请号：CN201780095324.X

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明为了缩短基板更换所耗的时间而提供一种基板搬运装置(100A)，其将基板(P2)搬运至保持装置的保持面(TS)，且包括：第一保持部(161A)，在所述保持装置的上方保持所述基板(P2)；第二保持部(184a)，保持经所述第一保持部(161A)保持的所述基板(P2)的一部分；以及驱动部(164)，以所述第一保持部(161A)自所述保持装置的上方退避的方式，使所述保持装置及所述第二保持部(184a)与所述第一保持部(161A)向沿着所述保持面(TS)的既定方向相对移动；并且所述第一保持部(161A)在所述驱动部(164)进行的相对移动中，以所述基板(P2)中经所述第一保持部(161A)保持的区域的上下方向的位置靠近所述保持装置的方式保持所述基板(P2)。

公开(公告)号：CN106415396A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201580027187.7

申请日：2015-03-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  菊池孝幸 ,  白数广

IPC: G03F7/20 ,  H01J5/50 ,  H01J61/52 ,  H01J61/86

CPC classification number: H01J5/50 ,  G03F7/70016 ,  G03F7/70975 ,  H01J61/52 ,  H01J61/86

Abstract: 一种光源装置，用于使放电灯发光，放电灯具有在内部设有阳极及阴极的玻璃管和相对于其发光部而分别设在阳极侧及阴极侧的灯座部，光源装置具备：保管放电灯的保管部；能够装拆地支承放电灯的灯座部的支承部件；将电缆能够装拆地连结到支承于支承部件的放电灯的灯座部的夹紧机构；和在基于支承部件对灯座部的支承及基于夹紧机构实现的电缆相对于灯座部的连结被解除的状态下，保持着灯座部地在保管部与支承部件之间搬送放电灯的灯搬送系统。能够高效地进行放电灯的更换。

公开(公告)号：CN103765554B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201280042125.X

申请日：2012-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70758

Abstract: 基板载台装置(20)具备能移动于Y轴方向的X柱(24)、设于X柱(24)而能与该X柱(24)一起移动于Y轴方向且能相对X柱(24)移动于X轴方向的粗动载台(26)、保持基板(P)且被粗动载台(26)诱导移动于X轴及/或Y轴方向的微动载台(28)、以及分别配置于X柱(24)的+Y侧及‑Y侧而从下方支承微动载台(28)的+Y侧及‑Y侧区域且能与该微动载台(28)一起移动于Y轴方向的一对步进导件(30)。