-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114008238B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202080042968.4
申请日：2020-06-15
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , H01L21/768 , C07F13/00
Abstract: 本发明涉及一种化学蒸镀用原料，其是用于通过化学蒸镀法制造锰薄膜或锰化合物薄膜的化学蒸镀用原料，其由在锰上配位有环戊二烯基配体(L1)和异腈配体(L2)的下述化学式所示的有机锰化合物构成。本发明具有作为化学蒸镀用原料的基本特性，并且能够以氢气等还原性气体作为反应气体来进行锰薄膜的成膜。(所述式中，环戊二烯基配体(L1)的取代基R1～R5各自为氢或者直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。异腈配体(L2)的取代基R6为直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。Mn(L1)(L2)3#imgabs0#
-
公开(公告)号：CN113166931B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN201980079639.4
申请日：2019-12-02
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C07D471/04
Abstract: 本发明涉及在用于通过化学蒸镀法制备钌薄膜或钌化合物薄膜的化学蒸镀用原料中，由下述化学式1表示的钌配合物构成的化学蒸镀用原料。在化学式1中，与钌配位的配位体L1和配位体L2由下述化学式2表示。本发明的化学蒸镀用原料即使不使用包含氧原子的反应气体也能够制造高质量的薄膜。[化学式1]RuL1L2[化学式2]#imgabs0#(配位体L1、L2的取代基R1～R12各自独立地为氢原子、碳原子数为1以上4以下的直链状或支链状的烷基中的任意一种。)
-
公开(公告)号：CN113166931A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980079639.4
申请日：2019-12-02
Applicant: 田中贵金属工业株式会社
IPC: C23C16/18 , H01L21/285 , C07F15/00
Abstract: 本发明涉及在用于通过化学蒸镀法制备钌薄膜或钌化合物薄膜的化学蒸镀用原料中，由下述化学式1表示的钌配合物构成的化学蒸镀用原料。在化学式1中，与钌配位的配位体L1和配位体L2由下述化学式2表示。本发明的化学蒸镀用原料即使不使用包含氧原子的反应气体也能够制造高质量的薄膜。[化学式1]RuL1L2[化学式2](配位体L1、L2的取代基R1～R12各自独立地为氢原子、碳原子数为1以上4以下的直链状或支链状的烷基中的任意一种。)
-
公开(公告)号：CN106164033B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201480072704.8
申请日：2014-12-16
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所 , 田中贵金属工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种环金属化铱配合物的原料，并提供一种相较于使用三(2,4‑戊二酮)合铱(III)的情况，能在低反应温度中以高收率得到环金属化铱配合物的技术。本发明涉及一种环金属化铱配合物的原料，在由用于制造环金属化铱配合物的有机铱材料所构成的原料中，上述有机铱材料为非对称β‑二酮配位于铱上的三(β‑二酮)合铱(III)。
-
公开(公告)号：CN108463465A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201680078542.8
申请日：2016-12-22
Applicant: 国立研究开发法人产业技术综合研究所 , 田中贵金属工业株式会社
Abstract: 本发明为使用非氯系的铱原料以制造环金属化铱配合物的方法。本发明的环金属化铱配合物的制造方法的特征在于：在使由铱化合物构成的原料与能形成铱-碳键的芳香族杂环双齿配位体反应以制造环金属化铱配合物的方法中，使具有强酸的共轭碱作为配位体的非卤化铱作为所述原料来反应。在此，非卤化铱优选具有pKa在3以下的强酸的共轭碱作为配位体。
-
-
-
-
Search Results
25
records
(took 0.047 seconds)
