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公开(公告)号：CN103771334B
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201310756912.7
申请日：2013-10-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81C1/00246 , B81C1/0023 , B81C2203/075 , B81C2203/0771 , H01L2224/48463
Abstract: 提出用于具有至少个MEMS构件(10)并且具有至少个由半导体材料制成的罩(20)的部件(100)的措施,通过所述措施能够使得所述罩(20)除其作为空腔的封闭和微机械结构的保护的机械功能之外,配备有电功能。这种部件(100)的MEMS构件(10)的微机械结构设置在载体(1)与所述罩(20)之间的空腔中,并且包括至少个结构元件(11),所述至少个结构元件能够在空腔内从构件层面向外偏转。根据本发明,所述罩(20)应包括至少个在所述罩(20)的整个厚度上延伸的区段(21,22),所述至少个区段与相邻的半导体材料电绝缘,使得其能够与所述罩(20)的其余区段无关地电接通。
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公开(公告)号：CN107132378A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710112851.9
申请日：2017-02-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01P15/125 , G01P21/00 , G01P2015/0831 , G01P15/18
Abstract: 本发明涉一种用于运行微机械z加速度传感器(100)的方法，该方法具有以下步骤：将测试信号施加到电极(42)上用于在所述z加速度传感器(100)的运行中产生所述z加速度传感器(100)的双臂杆(10)的所限定的偏转；检测所述双臂杆(10)的偏转并且将所述偏转换算成加速度值(B1)；通过求取所检测的加速度值(B1)与在制造过程中检测的初始加速度值(B0)之间的差，分析处理所检测的加速度值(B1)，其中，将所检测的加速度值(B1)与所述初始加速度值(B0)之间的差与所限定的阈值进行比较并且评估所检测的加速度值(B1)与所述初始加速度值(B0)之间的差。
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公开(公告)号：CN103420321B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201310176308.7
申请日：2013-05-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81B3/0075 , B81C1/00626 , B81C1/00674 , B81C2201/0112 , B81C2201/014 , B81C2203/0109
Abstract: 本发明涉及混合集成的构件和用于其制造的方法。本发明提出一种措施，通过该措施明显提高在实现构件（100）的MEMS结构元件（10）的微机械结构时的设计自由度，所述构件包括用于MEMS结构元件（10）的载体（20）和用于MEMS结构元件（10）的微机械结构的盖（30），其中，所述MEMS结构元件（10）通过托脚结构（21）装配在载体（20）上。根据本发明，所述MEMS结构元件（10）以层结构的形式实现并且所述MEMS结构元件（10）的微机械结构（11）延伸经过该层结构的至少两个功能层（3，5），所述至少两个功能层通过至少一个中间层（4）相互分开。
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公开(公告)号：CN103562696B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201280024398.1
申请日：2012-03-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01L1/16 , H01L41/113
CPC classification number: H01L41/042 , G01L1/16 , G01L9/08 , H01L41/1132
Abstract: 本发明涉及一种具有至少一个压电转换器（11）的传感器元件（10），其中，所述压电转换器（11）与至少一个忆阻器（20）耦合。此外，本发明涉及一种具有多个像素的布置的传感器，其中，所述像素中的至少一个包括所述传感器元件（10）。
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公开(公告)号：CN102362152B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201080013712.7
申请日：2010-01-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5755
CPC classification number: G01C19/5755
Abstract: 本发明涉及一种用于共振地驱动微机械系统的装置，包括：至少一个被弹簧振动式支承的感振质量；至少一个用于驱动所述感振质量振动的驱动装置；和至少一个与所述感振质量运动耦合的元件。该装置还包括至少一个用于检测随所述感振质量的振动变化的、在运动耦合的元件与检测元件之间的关系参数的检测元件，其中，所述检测元件被设置用于在达到所述关系参数的一预给定的值时引起振动驱动装置的中断。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102530837B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201110461879.6
申请日：2011-11-23
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00777
Abstract: 本发明涉及一种用于制造微机械组件的方法。所述方法包括：提供一衬底(100)，所述衬底具有设置在所述衬底(100)上的层状布置，所述层状布置包括绝缘材料(110)、导电层区段(120)和与所述导电层区段(120)连接的保护层结构(130)，所述保护层结构包围所述绝缘材料(110)的一个区段。所述方法还包括实施用于去除所述绝缘材料(110)的一部分的各向同性蚀刻工艺，其中，所述导电层区段(120)和所述保护层结构(130)防止去除所述绝缘材料(110)的被包围的区段，其中，构造一结构元件(181，183)，所述结构元件包括所述导电层部分(120)、所述保护层结构(130)和所述绝缘材料(110)的被包围的区段。
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公开(公告)号：CN103776464A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201310756892.3
申请日：2013-10-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C25/00 , G01C19/5726
CPC classification number: G01C19/5755 , G01C25/005
Abstract: 本发明提出一种用于调整转速传感器的方法，其中，转速传感器包括具有主延伸平面的衬底、能够相对于所述衬底运动的振动质量、用于使所述振动质量在驱动方向上偏转的驱动装置、用于探测所述振动质量在与所述驱动方向垂直的探测方向上的力作用的探测装置和用于使所述振动质量与所述探测方向平行地偏转的测试装置，其中，在所述驱动装置上测量驱动频率并且在所述探测装置上测量探测频率，其中，为了测量转速灵敏度，以围绕所述旋转轴线的转速加载所述转速传感器，并且随后在所述探测装置上测量取决于所述转速的输出电压，其中，为了确定测试信号灵敏度，以测试信号加载所述测试装置，并且随后测量所述探测装置上的取决于所述测试信号的探测电压，其特征在于，在第一方法步骤中，确定为了实施测试而选择的并且被称为第一样本转速传感器的转速传感器的转速灵敏度和测试信号灵敏度之间的缩放函数，其中，从所述样本转速传感器的所测量的第一样本转速灵敏度和所测量的第一样本测试信号灵敏度确定所述缩放函数，并在第二方法步骤中，对于被称为生产转速传感器的转速传感器，从所述生产转速传感器的所测量的生产测试信号灵敏度和所述缩放函数计算生产转速灵敏度，并且随后借助于所述生产转速灵敏度调整所述生产转速传感器。
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公开(公告)号：CN103771334A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201310756912.7
申请日：2013-10-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81C1/00246 , B81C1/0023 , B81C2203/075 , B81C2203/0771 , H01L2224/48463
Abstract: 提出用于具有至少一个MEMS构件(10)并且具有至少一个由半导体材料制成的罩(20)的部件(100)的措施，通过所述措施能够使得所述罩(20)除其作为空腔的封闭和微机械结构的保护的机械功能之外，配备有电功能。这种部件(100)的MEMS构件(10)的微机械结构设置在载体(1)与所述罩(20)之间的空腔中，并且包括至少一个结构元件(11)，所述至少一个结构元件能够在空腔内从构件层面向外偏转。根据本发明，所述罩(20)应包括至少一个在所述罩(20)的整个厚度上延伸的区段(21，22)，所述至少一个区段与相邻的半导体材料电绝缘，使得其能够与所述罩(20)的其余区段无关地电接通。
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公开(公告)号：CN103771333A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201310507867.1
申请日：2013-10-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81C1/00015 , B81B3/0018 , B81B7/0058
Abstract: 本发明提出一种用于罩的制造方法，通过所述方法在具有MEMS构件的垂直混合集成部件的框架中不仅可以实现具有低空穴内压的相对较大的空穴容积而且可以实现MEMS构件的微机械结构的可靠过载保护。按照本发明，在多级的各向异性的刻蚀工艺中在面状的罩衬底中产生罩结构，所述罩结构包括至少一个装配框和罩内侧上的至少一个止挡结构，所述至少一个装配框具有至少一个装配面，所述至少一个止挡结构具有至少一个止挡面，其中，对于多级的各向异性的刻蚀工艺以至少两个由不同材料构成的掩蔽层掩蔽罩衬底的表面；其中，如此选择至少两个掩蔽层的布局和刻蚀步骤的数量和持续时间，使得装配面、止挡面和罩内侧位于罩结构的不同的面水平上。
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公开(公告)号：CN103562696A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201280024398.1
申请日：2012-03-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01L1/16 , H01L41/113
CPC classification number: H01L41/042 , G01L1/16 , G01L9/08 , H01L41/1132
Abstract: 本发明涉及一种具有至少一个压电转换器（11）的传感器元件（10），其中，所述压电转换器（11）与至少一个忆阻器（20）耦合。此外，本发明涉及一种具有多个像素的布置的传感器，其中，所述像素中的至少一个包括所述传感器元件（10）。
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