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公开(公告)号：CN106920723A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201710128987.9
申请日：2017-03-06
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28
Abstract: 本发明公开了一种扫描聚焦系统，其特征在于，所述系统包括：电子源、电子加速结构、聚焦结构、偏转结构、电子减速结构和高压控制结构；其中，所述电子源，用于产生电子束；所述电子加速结构，用于对所述电子源产生的电子束进行加速；所述聚焦结构，用于对加速后的电子束进行聚焦；所述偏转结构，用于对聚焦后的电子束进行偏转扫描；所述电子减速结构，用于产生一减速场，对经偏转扫描后的电子束进行减速；所述高压控制结构，用于控制所述电子源、所述电子加速结构和所述电子减速结构的电压。本发明还公开了一种电子束控制方法。
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公开(公告)号：CN106653538A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611065160.X
申请日：2016-11-28
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/28
CPC classification number: H01J37/28 , H01J2237/1536 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明公开了一种扫描带电粒子显微镜系统，包括：扫描带电粒子显微镜、传感装置、处理器和位移调节装置；其中，所述扫描带电粒子显微镜，用于产生带电粒子束，所述带电粒子束用于照射至待测样品；所述传感装置，与所述扫描带电粒子显微镜和所述待测样品连接，用于测量所述扫描带电粒子显微镜的镜筒的振动参数和所述样品的振动参数；所述处理器，用于对所述镜筒的振动参数和所述待测样品的振动参数进行处理，获得所述样品相对于所述镜筒的相对运动参数；并根据所述相对运动参数控制调节所述位移调节装置、所述扫描带电粒子显微镜的偏转器和所述扫描带电粒子显微镜的聚焦镜。本发明还公开了一种振动补偿方法。
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公开(公告)号：CN113675061B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202010404520.4
申请日：2020-05-13
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括：电子光学镜筒，用于产生电子束，并将电子束聚焦到样品上；第一探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的光子；其中，所述第一探测器包括反射器和光子检测器，所述反射器将由所述样品上产生的光子反射到所述光子检测器上；所述反射器至少包括第一反射面和第二反射面，所述第一反射面和所述第二反射面用于反射所述样品上产生的不同角度散射的光子。本发明反射器实现了反射样品上产生的不同角度散射的光子到光子检测器上，光子检测器收集光子的范围大，效率高。
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公开(公告)号：CN107516624B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN201710575510.5
申请日：2017-07-14
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/20
Abstract: 本文提供了一种样品位置校准方法和装置，所述方法包括：将放置有样品的样品承载装置载入光学显微镜视场中；样品承载装置上设有定位标记；采用光学显微镜对样品承载装置成第一放大倍数的像，识别图像中定位标记并获取定位标记在光学显微镜下的第一坐标；将样品承载装置载入扫描电子显微镜视场中，采用扫描电子显微镜对样品承载装置成第二放大倍数的像，识别图像中定位标记并获取定位标记在扫描电子显微镜下的第二坐标；依据第一坐标和第二坐标，确定光学显微镜对应的坐标系和扫描电子显微镜对应的坐标系之间的相对位置关系；基于相对位置关系对样品进行定位。本申请可解决样品在光学系统和扫描电子显微镜之间转换时出现的定位不准确的问题。
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公开(公告)号：CN112611775B
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202011484757.4
申请日：2020-12-16
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: G01N23/2206 , G01N23/2276 , G01N23/2202 , G01N23/203 , G01N23/20 , G01N23/20008 , H01J37/065 , H01J37/26
Abstract: 本发明公开了一种用于观察生物组织的方法及电子显微镜，该方法包括：对生物组织进行切片制样，以得到样品；采用第一电子源系统对所述样品进行辐照，以得到含有聚合物成分的待测样品；采用电子显微镜对所述待测样品进行观察。本发明可以使电子显微镜观察生物组织时成像分辨率高，成像速度快，成像清楚，观察准确性高。
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公开(公告)号：CN114256058A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202110774469.0
申请日：2021-07-08
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种亲水性基片制作方法及装置，该方法包括：真空腔室内通入反应气体；对所述真空腔室施加第一电压，对样品台施加第二电压，电子源发射电子束轰击所述反应气体产生第一等离子体；所述第一等离子体作用于基片表面；对所述样品台施加第三电压，所述电子源停止发射所述电子束；辉光放电产生的第二等离子体作用于所述基片表面。本发明提供的一种亲水性基片制作方法在产生第一等离子体和第二等离子体过程中启辉容易，第一等离子体和第二等离子体作用于基片后，基片的亲水性效果稳定，次品率低。
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公开(公告)号：CN113903641A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202010638881.5
申请日：2020-07-06
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/20 , H01J37/244
Abstract: 本发明公开了一种显微镜，包括：样品室和设置于所述样品室内的承载台、联动支撑机构、样品台、粒子光学镜筒，粒子光学镜筒设置于真空样品室内，联动支撑机构控制粒子光学镜筒移动，对样品室内的待测样品不同区域的观察。本发明提供的显微镜可直接观察大体积，大质量的待测样品。
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公开(公告)号：CN111530851A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010410016.5
申请日：2020-05-15
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种粒子束显微镜的样品除污方法及装有除污装置的预抽室，接通电源后，送样装置开始向预抽室送样；除静电吹扫装置上的排气口向下排出气流，射至样品表面，气流中的离子与样品表面吸附的微粒所带电荷发生中和，使一部分微粒失去静电吸引力后被所述气流带走；以及所述预抽室内的高压电极启动，产生一个高压静电场，部分微粒在高压电场的作用下发生静电感应作用吸到所述高压电极上，本发明采用的清洗方法先采用除静电吹扫和高压电极吸附的方法除去大部分的样品表层微粒，再采用真空环境下的等离子清洗，提高了清洗控制的精准度和提高了清洗效率。
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公开(公告)号：CN110541156A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201910956375.8
申请日：2019-10-10
Applicant: 中国科学院自动化研究所 , 聚束科技(北京)有限公司
Abstract: 本发明涉及薄膜制备技术，具体涉及一种用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置。为了解决现有方式得到的镀膜条带连续性、导电性差的问题，本发明提出的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置包括基体和控制部，基体上设置有：转接口，其用于使基体连接到镀膜仪上；条带运载头，其末端固定在基体上，在基体连接于镀膜仪之后，条带运载头的前端伸入到镀膜仪的真空腔内；主腔室，在基体连接于镀膜仪之后，主腔室与镀膜仪的真空腔连通；送带卷轴和收带卷轴，其位于主腔室内；控制部能够控制送带卷轴和收带卷轴转动以使条带沿条带运载头绕转，并因此使条带从送带卷轴运转到收带卷轴上。利用本发明的装置能够有效改善制备的连续导电薄膜材料表面导电性差的问题。
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公开(公告)号：CN106910665B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201710118052.2
申请日：2017-03-01
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/20 , G01N23/2251
Abstract: 本文提供了一种全自动化的扫描电子显微镜及其探测方法，所述扫描电子显微镜包括：由第一光学显微镜和平移台构成的光学导航系统，以及由电子源和电子光学镜筒构成的扫描电子显微镜装置，该光学导航系统还包括：位于所述第一光学显微镜下方且与所述平移台相连的、容纳待测样品进行光学探测的第一腔室；该扫描电子显微镜装置还包括：位于所述电子光学镜筒下方的、容纳待测样品进行扫描电子显微镜探测的第二腔室；所述第一腔室与第二腔室之间通过真空阀门水平连通或隔绝；所述第一腔室内设置有能将待测样品从第一腔室通过所述真空阀门移动到第二腔室的自动传送装置。本申请操作简单，可达到缩短样品探测时间，提高探测效率和精确度的目的。
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