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公开(公告)号：CN102099890A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200980127779.0
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/147 , H01J37/304
CPC classification number: H01J37/1471 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24578
Abstract: 本发明公开了一种离子束角检测设备，包括：线性驱动组件，所述线性驱动组件固定地连接到可移动轮廓仪组件，其中轮廓仪组件包括轮廓仪，所述轮廓仪具有形成于轮廓仪顶板内的轮廓仪孔洞以及轮廓仪传感器组件；可移动角度掩模组件，所述可移动角度掩模组件包括具有掩模孔洞的可移动角度掩模，其中角度掩模组件非固定地连接到轮廓仪组件，掩模孔洞通过给与固定地连接到轮廓仪组件的掩模线性驱动器能量而能够相对于轮廓仪孔洞移动，并且轮廓仪孔洞可移动通过大于离子束的延伸长度的长度。
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公开(公告)号：CN113169004A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980080219.8
申请日：2019-11-13
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J27/02 , H01J37/317 , H01J37/08
Abstract: 一种用于离子源的电极系统，其具有在离子源腔室中限定源孔径的源电极，并且耦接至源电源。第一接地电极限定第一接地孔径，该第一接地孔径电性耦接至电接地电位且从离子源提取离子。抑制电极定位于第一接地电极的下游并且限定电性耦接至抑制电源的抑制孔径。第二接地电极定位于抑制电极的下游并且限定第二接地孔径。第一接地电极和第二接地电极固定地彼此耦接并且电性耦接至电接地电位。
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公开(公告)号：CN112567492A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201980053599.6
申请日：2019-08-21
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/317 , H01F3/02 , H01F7/20 , G21K1/093 , G21K5/00
Abstract: 扫描磁体位于离子注入系统的质量分辨磁体的下游，并且被配置为控制质量分辨磁体下游的离子束路径以用于扫描或抖动离子束。扫描磁体具有其中界定有通道的轭部。轭部是含铁的并且具有第一侧和第二侧以界定离子束的对应入口和出口。轭部具有从第一侧到第二侧所堆栈的多个层合物，其中与第一侧和第二侧相关联的多个层合物的至少一部分包括一个或多个槽口式层合物，一个或多个槽口式层合物具有界定在其中的多个槽口。
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公开(公告)号：CN107112184B
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201580070384.7
申请日：2015-12-28
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/30 , H01J37/304 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种通过确定优化扫描宽度来改善混合式扫描注入机的生产率的方法。本发明还提供一种调谐经扫描离子束的方法，其中，确定期望束电流，用以利用期望特性来注入工件。利用设置法拉第杯来调谐所述经扫描射束。使用设置法拉第杯的时间信号来调整扫描宽度，以获得最佳扫描宽度。针对与期望剂量相对应的期望通量值来调谐光学器件。当获得期望通量值时，控制通量分布的均匀性。进一步测量离子束的角度分布。
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公开(公告)号：CN105869978B
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201610257320.4
申请日：2012-12-13
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/304 , H01J37/317
Abstract: 本发明涉及一种扫描系统，该扫描系统包括扫描元件、射束评测仪、分析系统及ZFE限制元件。扫描元件配置成扫描离子束扫描路径上的离子束。在离子束扫描路径上扫描离子束时，射束评测仪测量离子束的束电流；分析系统分析所测的束电流，从而检测ZFE情况。位于射束评测仪上游并经由反馈通路耦合至分析系统的ZFE限制元件配置成基于是否检测到ZFE情况而有选择地向经扫描离子束施加时变电场。选择性施加的电场引发经扫描射束中的变化，从而限制ZFE情况。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107430968A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680020055.6
申请日：2016-03-22
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 伯·范德伯格 , 约瑟夫·瓦林斯基 , 迈克尔·克里斯托福罗
IPC: H01J27/02 , H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 模块化离子源和提取设备200包括选择性地电连接到电压电位的离子源室202，其中离子源室包括提取孔203。提取电极206位于靠近离子源室的提取孔的位置，其中提取电极被配置为从离子源室提取离子，并且可以电接地。一个或多个连杆208可操作地连接到离子源室，并且一个或多个绝缘体210将提取电极连接到相应的一个或多个连杆，其中一个或多个绝缘体使相应的一个或多个连杆与提取电极电绝缘，其中提取电极与离子源室电绝缘。一个或多个致动器212、218、220可操作地将一个或多个连杆连接到离子源室，其中一个或多个致动器被配置成使一个或多个连杆相对于所述离子源室平移，其中使提取电极在一个或多个轴线上平移。
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公开(公告)号：CN107112184A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580070384.7
申请日：2015-12-28
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/30 , H01J37/304 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种通过确定优化扫描宽度来改善混合式扫描注入机的生产率的方法。本发明还提供一种调谐经扫描离子束的方法，其中，确定期望束电流，用以利用期望特性来注入工件。利用设置法拉第杯来调谐所述经扫描射束。使用设置法拉第杯的时间信号来调整扫描宽度，以获得最佳扫描宽度。针对与期望剂量相对应的期望通量值来调谐光学器件。当获得期望通量值时，控制通量分布的均匀性。进一步测量离子束的角度分布。
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公开(公告)号：CN107112181A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580070493.9
申请日：2015-12-28
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 爱德华·C·艾伊斯勒 , 伯·范德伯格
IPC: H01J37/20 , H01J37/12 , H01J37/05 , H01J37/147 , H01J37/317
Abstract: 本发明提出用于以低能量将离子注入工件内的系统及方法。提供配置成生成离子束的离子源，其中，质量解析磁体被配置成质量解析该离子束。离子束可以是带状射束或经扫描的点状离子束。定位于质量解析磁体下游的质量解析孔径过滤离子束中的不良粒种。组合静电透镜系统被定位于质量分析器的下游，其中，使离子束的路径偏转并且大体上滤除离子束中的污染物，同时使离子束减速并平行化。工件固持与平移系统进一步被定位于组合静电透镜系统的下游并被配置成选择性使工件在一个或多个方向上平移通过离子束，在其中将离子注入工件内。
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公开(公告)号：CN103477416B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201280017078.3
申请日：2012-03-29
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/302 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , G21K5/02 , G21K5/04 , G21K5/10 , H01J37/302 , H01J2237/30483
Abstract: 一个实施例涉及离子注入器。该离子注入器包括：离子源，用于产生离子束，以及扫描仪，用于使离子束沿着第一轴在工件的表面上进行扫描。该离子注入器还包括：偏转滤波器，位于扫描仪的下游，用于使离子束沿着第二轴在工件的表面上抖动地扫描。
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公开(公告)号：CN102292792B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201080005105.6
申请日：2010-01-22
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01L21/265 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/026 , H01J37/05 , H01J2237/0041 , H01J2237/055
Abstract: 一种离子注入方法和系统包括束中和以减轻束散，该束散在低能大电流离子束中可能是特别有问题的。束中和部件可以位于其中扩大可能发生的系统中。中和部件包括变化的激励场产生部件，其产生中和离子束的等离子体，由此减轻束散。以变化的频率和/或场强度产生激励场，以维持中和等离子体，同时减轻降低中和等离子体的作用的等离子体壳层的形成。
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