公开(公告)号：CN108409340A

公开(公告)日：2018-08-17

申请号：CN201810466234.3

申请日：2018-05-16

申请人： 郑州大学

发明人： 舒永春 ,  陈杰 ,  孙本双 ,  曾学云 ,  刘洋

IPC分类号： C04B35/64 ,  C04B35/453 ,  C04B35/10

摘要： 本发明公开了一种管状靶材的内旋转高温烧结方法，包括管状靶材素坯成型、加热烧结管状靶材素坯，加热过程中使管状靶材素坯处于旋转状态，以及，降温直至室温、得到烧结好的管状靶材。本发明实施例公开的管状靶材的内旋转高温烧结方法，能够制备出收缩均匀、无开裂、无烧结变形的管状靶材，制备方法简单，易于工业化应用。

公开(公告)号：CN108190943A

公开(公告)日：2018-06-22

申请号：CN201810281107.6

申请日：2018-04-02

申请人： 郑州大学

发明人： 陈杰 ,  孙本双 ,  仇晨 ,  舒永春 ,  何季麟

IPC分类号： C01G19/02 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明提供一种金属锡氧化合成纳米二氧化锡的方法，该方法具体包括：将金属锡与硝酸溶液反应，得到含有锡酸的浆料；将含有锡酸的浆料进行水热处理；然后将所得浆料进行洗涤；最后将所得浆料烘干、煅烧，得到纳米二氧化锡。本方法工艺过程简单，安全可靠，使用原料少，带入的杂离子少，所得产物纯度高、分散性好、结晶度高。

公开(公告)号：CN118255385A

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202410407494.9

申请日：2024-04-07

申请人： 郑州大学 ,  中原关键金属实验室

发明人： 陈杰 ,  岳康伟 ,  刘苗 ,  孙本双 ,  何季麟

IPC分类号： C01G15/00

摘要： 本发明属于无机材料制备技术领域，公开了一种丝状纳米氧化镓及其制备方法，用以提出一种新的丝状纳米氧化镓的制备方法。本发明以碳酸氢钠为沉淀剂，通过将其滴加至镓盐溶液中，经沉淀反应、室温老化后得到沉淀物，后经洗涤、离心、干燥、研磨和筛分后得到前驱体羟基氧化镓；然后经梯度升温法、降温处理后得到丝状氧化镓。通过调控氧化镓的合成过程，使用一种节能、高效、不需高温高压、低成本的制备方法，获得丝状纳米氧化镓材料，为工业生产氧化镓半导体器件提供一种高长径比丝状纳米粉末材料。

公开(公告)号：CN118026665A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202410243070.3

申请日：2024-03-04

申请人： 郑州大学 ,  中原关键金属实验室

发明人： 陈杰 ,  王诗 ,  王延宇 ,  王海龙 ,  孙本双 ,  何季麟

IPC分类号： C04B35/457 ,  C04B35/622 ,  C23C14/34 ,  C23C14/32 ,  C23C14/08

摘要： 本发明实施例公开的用于RPD薄膜的氧化锡镓陶瓷靶材的制备方法，包括步骤：S1、取氧化锡镓废靶若干，在稀盐酸溶液中浸泡处理；S2、浸泡处理后的氧化锡镓废靶研磨成粉料，选取粒度小于80～200目的粉料为细颗粒料，选取粒度小于20～40目、大于80～100目的粉料为粗颗粒料；S3、将粗颗粒料与细颗粒料以体积比3～8:1～5混合，与聚乙烯醇水溶液混匀，得到颗粒表面附着有聚乙烯醇的粉料；S4、步骤S3得到的粉料模压成型，得到靶材素坯；S5、靶材素坯等静压压制，得到低密度靶材素坯；S6、低密度靶材素坯进行脱脂‑烧结一体化工艺处理，得到用于RPD薄膜的氧化锡镓陶瓷靶材。

公开(公告)号：CN117776680A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311826192.7

申请日：2023-12-28

申请人： 郑州大学 ,  中原关键金属实验室

发明人： 刘苗 ,  孙本双 ,  钱志杰 ,  何季麟 ,  王成铎 ,  刘洋 ,  陈杰 ,  曾学云 ,  王之君

IPC分类号： C04B35/053 ,  C04B35/622 ,  C23C14/35 ,  C23C14/08

摘要： 本发明实施例公开了透明氧化镁陶瓷靶材及其制备方法；制备方法包括步骤：S1、纳米氧化镁粉体进行喷雾造粒；S2、喷雾造粒得到的粉体在冷等静压下成型为靶材素坯；S3、靶材素坯在设定条件下烧结；S4、烧结后的靶材素坯进行梯度退火处理，得到透明氧化镁靶材。本发明实施例公开的透明氧化镁陶瓷靶材的制备方法，制备得到了相对密度在可达99.9％以上的透明氧化镁陶瓷靶材。

公开(公告)号：CN116986625A

公开(公告)日：2023-11-03

申请号：CN202310528473.8

申请日：2023-05-11

申请人： 郑州大学

发明人： 陈杰 ,  宋洪铭 ,  孙本双 ,  岳康伟 ,  何季麟

IPC分类号： C01G15/00

摘要： 本发明提出了一种原位沉淀自分散氧化铟粉体的制备方法，属于氧化物粉体制备的技术领域，用以解决化学沉淀法制备In2O3粉体时易产生团聚的技术问题。其制备方法为在搅拌状态下向铟盐溶液中滴加沉淀剂进行沉淀反应，反应结束后取出沉淀完成的前驱体浆料对其静置老化，老化后进行洗涤、煅烧处理，获得原位沉淀自分散粉体；所述沉淀剂包括碳酸氢铵和氨水。本发明采用碳酸氢铵加氨水混合溶液作为沉淀剂，而并非传统的单一氨水沉淀剂。不需要其它外加辅助设备，利用了碳酸氢铵高温易分解的特性，有效降低化学沉淀法生产In2O3粉体中存在的团聚问题，并且由于是原位冲散形核质点使其均匀化，粉体的粒径及分散均匀性也得到提升。

公开(公告)号：CN115894010A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211502274.1

申请日：2022-11-28

申请人： 郑州大学

发明人： 陈杰 ,  齐超 ,  孙本双 ,  何季麟

IPC分类号： C04B35/453 ,  C04B35/622

摘要： 本发明属于金属氧化物靶材制备技术领域，具体涉及一种管状氧化铟镓锌（In2Ga2ZnO7）细晶高致密无开裂靶材的制备方法。该方法包括物料球磨、造粒、冷等静压制备管状靶材素坯、三阶段烧结。本发明使用了三阶段烧结工艺，通过对靶材粉末处理、坯体成型及烧结过程的调控，制备了高致密度、细晶粒，无开裂的氧化铟镓锌管状靶材。管状靶材在旋转阴极内溅射时，靶材利用率较平面靶材由原本的30～40%提升至70%以上，大大提升了溅射效率及靶材利用率，具有较高的产业利用价值。

公开(公告)号：CN111394706B

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202010150796.4

申请日：2020-03-06

申请人： 郑州大学

发明人： 何季麟 ,  孙本双 ,  舒永春 ,  刘洋 ,  陈杰 ,  曾学云

IPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/08

摘要： 一种晶粒尺寸可控ITO陶瓷靶材的制备方法，包括：将质量份数为90～97的In2O3粉体和质量份数为10～3的SnO2粉体，与去离子水、稀释剂、粘结剂和高分子材料用砂磨机球磨混合，得到固含量在70～80％之间、粘度在120～300mpa.s之间的ITO陶瓷浆料，且混合粉体的平均粒径D50控制在100～300nm；ITO陶瓷浆料经压力注浆成形，得到相对密度为58～62％的ITO陶瓷生坯体；将ITO陶瓷生坯体放入脱脂烧结一体化炉，加热至脱脂温度700～800℃，将ITO陶瓷靶材在常压氧气氛中进行脱脂处理，时间设定为12～36小时；从脱脂温度升温到第一烧结温度1600～1650℃，常压氧气氛保温0～60min，随即降低到第二烧结温度1500～1540℃，常压氧气氛保温12～36小时，最终得到ITO陶瓷靶材。

公开(公告)号：CN113354407A

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202110795568.7

申请日：2021-07-14

申请人： 郑州大学

发明人： 孙本双 ,  刘洋 ,  何季麟 ,  曾学云 ,  舒永春 ,  陈杰 ,  郝振华

IPC分类号： C04B35/453 ,  C04B35/622 ,  C04B35/63 ,  C04B35/64 ,  C23C14/08

摘要： 本发明公开了一种掺铝氧化锌靶材的变温快烧工艺，包括以下步骤：对掺铝氧化锌素坯进行一体化脱脂烧结处理，脱脂过程在空气气氛中进行，并在流通可控混合气氛状态下，通过烧结过程中变温处理，制得高密度掺铝氧化锌靶材，所述混合气氛为空气+氧气，烧结时间大大缩短，实现了快速活化烧结，抑制晶粒长大。

公开(公告)号：CN107935026B

公开(公告)日：2021-01-15

申请号：CN201711192477.4

申请日：2017-11-24

申请人： 郑州大学

发明人： 孙本双 ,  刘洋 ,  曾学云 ,  舒永春 ,  陈杰 ,  梁朋

IPC分类号： C01G15/00 ,  B82Y40/00 ,  C25B1/01 ,  C25B1/50

摘要： 本发明公开了利用电解制备纳米氧化铟的方法和装置，该方法包括采用硝酸铵和聚丙烯酸铵混合液为电解液制备氢氧化铟的步骤，且采用的阳极为高纯金属铟，阴极为石墨，阳极设置为多个，阴极设置为多个，且所述阳极和所述阴极间隔交替排列设置，电解过程在超声波存在条件下进行；电解得到的氢氧化铟在高温下煅烧后，得到纳米氧化铟。得到的纳米氧化铟纯度高、粒度小、粒径均匀、粒度范围窄、粒形好、比表面积最佳，可以用该氧化铟粉体制备出高密度的溅射靶材。