感光性树脂组合物及其层压体

    公开(公告)号:CN103477283B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201180069663.3

    申请日:2011-03-29

    IPC分类号: G03F7/033 G03F7/027 G03F7/029

    CPC分类号: G03F7/027 G03F7/031 G03F7/033

    摘要: 本发明提供了作为抗蚀剂或抗镀覆剂等抗蚀材料的具有优异的分辨率和密合性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物特征在于,含有(A)粘结剂聚合物:20~90重量%、(B)光聚合性化合物:5~75重量%和(C)光聚合引发剂:0.01~30重量%,所述(A)粘结剂聚合物是通过使羧酸或羧酸酐的第一单体与具有1个聚合性不饱和基团且非酸性的第二单体共聚而获得的重均分子量5,000~100,000的共聚物,所述(B)光聚合性化合物是加聚性单体,且对上述感光性树脂组合物进行曝光、接着进行显影后获得的感光性树脂层的水接触角超过60°、且杨氏模量为1.5GPa以上且低于4GPa。

    感光性树脂组合物以及使用其的感光性膏

    公开(公告)号:CN103917917B

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201280054319.1

    申请日:2012-12-03

    发明人: 久保田正博

    IPC分类号: G03F7/032 G03F7/004

    摘要: 本发明提供一种感光性树脂组合物、使用它而形成的感光性膏,其即使在非氧气氛中进行热处理时,光固化物的热分解性也高且不产生碳的残留。其组成为含有(a)光聚合引发剂、(b)丙烯酸单体和(c)聚亚烷基碳酸酯,并且,相对于丙烯酸单体和聚亚烷基碳酸酯的总量的聚亚烷基碳酸酯的比例为50重量%~90重量%。作为聚亚烷基碳酸酯,使用聚丙撑碳酸酯。配合上述感光性组合物、溶剂和无机粉末而制成感光性膏。此外,作为无机粉末,使用绝缘性无机材料粉末或导电性金属粉末。