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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102103967B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201010528249.1
申请日：2006-11-28
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。
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公开(公告)号：CN102103967A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201010528249.1
申请日：2006-11-28
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/145
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。
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公开(公告)号：CN101379584B
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200680044609.2
申请日：2006-11-28
Applicant: 卡尔蔡司SMT股份有限公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/141 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
Abstract: 一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。
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公开(公告)号：CN101461026A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200780020701.X
申请日：2007-04-26
Applicant: FEI公司
Inventor： J·A·H·W·G·珀素恩 , A·T·恩格伦 , S·利克特尼格 , P·H·J·范多伦
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/302 , H01J2237/1405 , H01J2237/162 , H01J2237/1825 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006
Abstract: 本发明涉及与包含真空室(11)的装置一起使用的滑动轴承，该滑动轴承包括：一侧与真空室接触的基板，该基板设有与所述真空室(11)连通的第一通孔(21)；第二板(30)，该第二板的一侧与基板20接触，该第二板设有第二通孔(31)；基板与第二板彼此面对的表面非常光滑以形成一个没有弹性的真空密封；基板(20)与第二板(30)能够在第一通孔与第二通孔没有重叠的第一相对位置及第一通孔与第二通孔重叠的第二相对位置之间滑动。其特征是：第二板(30)是柔性板，柔性板上在基板对面的表面用来密封杯体(50)，该杯体用于容纳标本(1)，基板上的第一通孔(21)具有一个面向柔性板(30)的带有可控制弯曲度的边缘，这个边缘弯曲度的形成使基板与柔性板之间的真空密封形成一个明确轮廓，及赫兹接触压力小于一个预定义的最大接触压力，选择所述预定义的最大接触压力可将粒子产生减至最低程度。
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公开(公告)号：CN203134750U
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201220708803.9
申请日：2012-12-19
Applicant: 北京有色金属研究总院
IPC: H01J37/077
CPC classification number: H01J37/077 , C01B33/037 , H01J37/305 , H01J2237/002 , H01J2237/1405 , H01J2237/3128
Abstract: 一种600kW气体放电电子枪，包括有上部的枪罩、中部的枪体和底部的枪底座；枪体中具有一电子枪芯及阳极；阳极下方是聚焦线圈和偏转扫描线圈，并配设聚焦磁透镜；所述电子枪枪芯、阳极、聚焦线圈和偏转扫描线圈均配设冷却水路；冷阴极筒内置有由单体阴极块构成的电子枪芯，该电子枪芯通过一根电缆外接控制系统，在电子枪芯与阳极的周围形成一个密闭气室；配设一开环控制的充气系统,该充气系统可向密闭气室中充入氢气和氧气。其能够大大降低制造和使用成本，操作简单，工作强度低且工作效率高。
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