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公开(公告)号：CN101955454A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010234021.1
申请日：2010-07-12
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C57/04 , C07C69/54 , C07C63/64 , C07D333/76 , C07D333/46 , C07C25/18 , C08F220/18 , C08F120/06 , C08F122/16 , C08F212/14 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C08F22/02 , C07C25/18 , C07C57/03 , C07C57/28 , C07C63/64 , C07C63/66 , C07C69/54 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2603/74 , C08F20/38 , C08F32/08 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , G03F7/30 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 一种如式(I-Pa)所示的盐：其中XPa代表单键或C1-C4亚烷基，RPa代表单键、C4-C36二价脂环烃基或C6-C36二价芳香烃基，其中所述二价脂环烃基中的一个以上亚甲基可用-O-或-CO-替代，YPa代表可聚合的基团，以及ZPa+代表有机阳离子。
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公开(公告)号：CN101921259A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010206559.1
申请日：2010-06-10
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07D327/06 , C07C381/12 , C07C309/17 , C07C303/32 , G03F7/039 , G03F7/00
CPC classification number: C07D327/06 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2603/74 , C07D317/12 , C07D317/16 , C07D317/24 , C07D319/12 , C07D321/02 , C07D327/04 , C07D339/02 , C07D339/06 , C07D339/08 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/38
Abstract: 本发明涉及一种盐及包含该盐的光致抗蚀剂组合物。一种盐，其具有如式(I)所示的基团：-T(I)，其中T代表C3-C36脂环烃基，其中至少两个亚甲基被-O-或-S-替代，并且该脂环烃基可以具有一个以上取代基。
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公开(公告)号：CN101834121A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN201010133044.3
申请日：2010-03-10
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: H01L21/027 , H01L23/522 , G03F7/038
CPC classification number: H01L21/0274 , G03F7/0035 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/40 , Y10T428/24479
Abstract: 本发明提供了一种制造抗蚀图案的方法，所述图案足够微型化且具有优异形状，所述方法包括重复进行形成图案化抗蚀膜的工序，且所述工序包括步骤(1)(形成抗蚀膜，并将所述形成的抗蚀膜曝光)等，以通过n个循环形成图案化抗蚀膜，从而得到抗蚀图案。其中在形成所述图案化抗蚀膜工序的n个循环中，至少一个循环的步骤(1)中曝光的所述抗蚀膜是通过将抗蚀组合物成层而形成的膜。所述抗蚀组合物含有树脂(B)、光生酸剂(A)和交联剂(C)，其中所述树脂(B)因酸的作用可溶于碱性水溶液中，且具有7000～10000的重均分子量和150～200℃的玻璃化转变温度。
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公开(公告)号：CN101086619A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200710109918.X
申请日：2007-06-06
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 一种包含(A)着色剂、(B)粘合剂树脂、(C)可光聚合化合物、(D)光聚合引发剂和(E)溶剂的彩色光敏树脂组合物，其中着色剂(A)的含量为基于彩色光敏树脂组合物固体含量的35－60重量％，可光聚合化合物(C)是包含双季戊四醇六丙烯酸酯、双季戊四醇五丙烯酸酯和双季戊四醇五丙烯酸酯的琥珀酸酯的混合物，而且该混合物具有45－80mgKOH/g的酸值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102890412A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210251269.8
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和酸生成剂，其中R1、A1、A13、A14、X12、Rb1、Rb2、Lb1、环Wb1、Rb3、Rb4、m和Z1+如说明书中限定。
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公开(公告)号：CN102749805A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201210110377.3
申请日：2012-04-13
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/00 , C07C381/12 , C07C309/17 , C07C303/32 , C07D327/08 , C07D327/06 , C07D333/46 , C07C25/18 , C07C17/35
CPC classification number: C07C303/22 , C07C303/32 , C07C381/12 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , Y02P20/55 , C07C309/17
Abstract: 本发明提供光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含(A)树脂，所述树脂具有含有酸不稳定基团的结构单元和含有内酯环的结构单元；以及(B)由式(I)表示的盐：其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，n表示0或1，L1表示单键或其中亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C10烷烃二基，条件是当n是0时，L1不是单键，R1表示羟基或由保护基保护的羟基，并且Z+表示有机阳离子。
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公开(公告)号：CN102731346A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210103577.6
申请日：2012-04-10
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/17 , C07C303/32 , C07C381/12 , C07C25/02 , C07C17/00 , C07D333/46 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C07C309/17 , C07C25/18 , C07C303/32 , C07C309/06 , C07C309/07 , C07C309/12 , C07C309/19 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种盐、光致抗蚀剂组合物，以及用于制备光致抗蚀剂图案的方法。所述盐由式(I)表示，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示其中的亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C17二价饱和烃基，L2和L3各自表示单键或其中的亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C6二价饱和烷基，环W1和环W2各自表示C3-C36烃环，R1和R2各自表示氢原子或C1-C6烷基，R3表示C1-C6烷基，t表示0至2的整数，并且Z+表示有机抗衡离子。
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公开(公告)号：CN102167676A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110038553.2
申请日：2011-02-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C25/18 , C07D333/46 , C08F212/14 , C08F220/38 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C08F212/14 , C07C25/18 , C07C309/06 , C07C309/12 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/029 , G03F7/0397 , Y10S430/122 , Y10S430/126 , C08F220/18 , C08F2220/281 , C08F2220/385
Abstract: 本发明提供一种由式(I)表示的盐，其中R1和R2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示C1-C17二价饱和烃基，在所述C1-C17二价饱和烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，并且所述C1-C17二价饱和烃基可以具有一个或多个氟原子，R3表示氢原子或甲基，并且Z1+表示有机抗衡阳离子；以及提供一种含有该盐的光致抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN102146064A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201110006946.5
申请日：2011-01-10
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07D295/088 , C07D295/096 , C07D295/15 , C07D295/155 , C07D333/46 , C07C381/12 , C07C25/18 , C07C17/00 , G03F7/004
CPC classification number: C07D295/088 , C07D295/096 , C07D295/15 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物。所述盐由式(I)表示，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示*-CO-O-La-或*-CH2-O-Lb-，*表示与-C(Q1)(Q2)-的结合位置，La和Lb独立地表示C1-C15二价饱和烃基，在所述C1-C15二价饱和烃基中，一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，环W1表示C2-C36含氮杂环基，在所述C2-C36含氮杂环基中，一个或多个-CH2-可以被-O-代替，并且Z1⊕表示有机抗衡离子。
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