-
公开(公告)号：CN119343746A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202380046074.6
申请日：2023-06-06
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 提供了一种与固化性组合物有关的新技术。固化性组合物包含聚合性化合物、光聚合引发剂和溶剂。所述聚合性化合物包含具有聚合性的硅化合物，所述固化性组合物在23℃下的粘度为2mPa·s以上且60mPa·s以下，溶剂已被除去状态下的固化性组合物在23℃下的粘度为30mPa·s以上且10000mPa·s以下，并且所述溶剂相对于整体固化性组合物的含量为5体积％以上且95体积％以下。
-
公开(公告)号：CN110546734B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN201880026809.8
申请日：2018-03-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 提供了以高的生产量在基板的注料区域中具有均匀物理性质的固化物图案的制造方法。固化物图案的制造方法包括第一步骤(配置步骤)，在基板上配置由固化性组合物(α1)的液膜形成的层，该固化性组合物(α1)至少含有作为聚合性化合物的成分(A1)，和第二步骤(分配步骤)，将固化性组合物(α2)的液滴离散地分配至由除了作为溶剂的成分(D1)之外的固化性组合物(α1)的成分的组合物(α1')形成的层上，该固化性组合物(α2)至少含有作为聚合性化合物的成分(A2)，其中：混合组合物(α1')和固化性组合物(α2)是放热的。
-
公开(公告)号：CN117461112A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202280041244.7
申请日：2022-03-31
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 提供一种固化性组合物，其可以解决当使已滴落到基板上且处于未彼此接触的状态的液滴与模具接触时气泡尺寸增大，而成为生产性降低的原因的压印处理中的问题。该固化性组合物包含聚合性化合物、光聚合引发剂和溶剂。聚合性化合物至少包含具有芳香族结构、芳香族杂环结构或脂环结构的化合物。固化性组合物在23℃的粘度为2mPa·s至60mPa·s，并且在除去溶剂的状态下，固化性组合物在23℃的粘度为30mPa·s至10,000mPa·s。溶剂的含量相对于整个固化性组合物为70vol％至95vol％。由此滴落的固化性组合物的液滴结合在一起，从而使得在与模具接触之前可以实质上形成连续的液膜。
-
公开(公告)号：CN116635210A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202180086616.3
申请日：2021-12-14
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B29C59/02
Abstract: 一种形成由固化性组合物制成的膜的膜形成方法包括：布置步骤，将固化性组合物布置在基板的底层上，所述基板包括基底构件和布置在基底构件上的底层；接触步骤，在布置步骤之后，使固化性组合物与模具相互接触；固化步骤，在接触步骤之后，使固化性组合物固化；以及分离步骤，在固化步骤之后，将固化性组合物与模具分离，其中，在接触步骤中存在填充在底层与模具之间的空间的气体，且气体对底层的溶解系数为0.5kg/m3·atm以上且10kg/m3·atm以下。
-
公开(公告)号：CN109073968B
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN201780022031.9
申请日：2017-03-17
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 蒂莫西·布赖恩·斯塔霍维亚克 , 刘卫军 , 尼亚兹·科斯纳蒂诺夫 , 叶正茂 , 伊藤俊树
Abstract: 一种从压印的纳米压印光刻基材除去未固化的预处理组合物的纳米压印光刻方法。该方法包括将预处理组合物配置在纳米压印光刻基材上以形成预处理涂层，和将压印抗蚀剂的离散部分配置在预处理涂层上，压印抗蚀剂的各离散部分覆盖纳米压印光刻基材的目标区域。随着压印抗蚀剂的各离散部分铺展超出其目标区域，在纳米压印光刻基材上形成复合聚合性涂层，并且使复合聚合性涂层与纳米压印光刻模板接触。使复合聚合性涂层聚合以在纳米压印光刻基材上产生复合聚合物层和预处理涂层的未固化部分，并且从纳米压印光刻基材除去预处理涂层的未固化部分。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110546734A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201880026809.8
申请日：2018-03-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 提供了以高的生产量在基板的注料区域中具有均匀物理性质的固化物图案的制造方法。固化物图案的制造方法包括第一步骤(配置步骤)，在基板上配置由固化性组合物(α1)的液膜形成的层，该固化性组合物(α1)至少含有作为聚合性化合物的成分(A1)，和第二步骤(分配步骤)，将固化性组合物(α2)的液滴离散地分配至由除了作为溶剂的成分(D1)之外的固化性组合物(α1)的成分的组合物(α1')形成的层上，该固化性组合物(α2)至少含有作为聚合性化合物的成分(A2)，其中：混合组合物(α1')和固化性组合物(α2)是放热的。
-
公开(公告)号：CN109075034A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780022394.2
申请日：2017-03-31
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 一种固化物图案的制造方法，所述方法包括：第一步骤(配置步骤)，将包含固化性组合物(α1)的层配置于基板上；和第二步骤(施加步骤)，将固化性组合物(α2)的液滴离散地施加在包含固化性组合物(α1′)的层上，所述固化性组合物(α1′)包含除了溶剂组分(D)以外的所述固化性组合物(α1)中的组分；其中所述固化性组合物(α1)的粒径为0.07μm以上的颗粒的个数浓度为小于2021个/mL，并且所述固化性组合物(α1′)具有比所述固化性组合物(α2)大的表面张力。
-
公开(公告)号：CN103930448B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201280055066.X
申请日：2012-10-24
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/50 , B29C59/02 , C08F2/44 , H01L21/027
CPC classification number: C08K5/06 , B05D3/067 , B05D3/12 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08F2/24 , C08F2/48 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/038 , H05K3/0014 , H05K3/0017 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明提供需要小的脱模力的光固化性组合物。本发明还提供需要小的脱模力的UV压印法。该光固化性组合物含有聚合性单体(A)、聚合引发剂(B)和含氟表面活性剂(C)。该光固化性组合物的光固化物具有74度以下的水接触角。
-
公开(公告)号：CN107251193A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201680012435.5
申请日：2016-02-23
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/005 , B29C59/02 , B29D11/00269 , B29D11/00769 , B29K2033/08 , C08L35/02 , C08L2205/02 , C08L2205/03 , G02B1/04 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/16 , H01L21/266 , H01L21/3105 , H01L21/481 , H05K3/0017 , H05K3/0079
Abstract: 提供一种纳米压印液体材料，其中粒径为0.07μm以上的颗粒的粒子数浓度小于310个/mL。
-
公开(公告)号：CN107112206A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580058890.4
申请日：2015-10-05
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B05D1/26 , B05C5/00 , B05C11/10 , B05D3/06 , B82Y10/00 , G03F7/00 , G03F7/0002
Abstract: 一种液体喷出装置，其包括容纳纳米压印用液体的容纳部，并且还包括与容纳部连通且喷出纳米压印用液体的喷出口。容纳部具有吸附或吸收选自由颗粒、金属离子和水组成的组中的至少之一的吸着介质。当纳米压印用液体从喷出口喷出时，吸着介质不从喷出口喷出。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
108
records
(took 0.043 seconds)
