一种利用磁控溅射制备高光电稳定性透明导电膜的方法

    公开(公告)号:CN111593310B

    公开(公告)日:2021-06-08

    申请号:CN202010384746.2

    申请日:2020-05-09

    Abstract: 一种利用磁控溅射制备高光电稳定性透明导电膜的方法,本发明涉及制备透明导电膜的方法。本发明要解决现有Ag基多层薄膜在长期或高温条件下会发生光电性能劣化的问题。方法:一、将AZO靶材、Ni靶材及Ag靶材安装在多靶磁控溅射设备的靶位上,抽真空;二、AZO靶材溅射直至第一AZO层厚度为25nm~55nm,Ag靶材溅射直至Ag层厚度为6nm~10nm,Ni靶材溅射直至Ni层厚度为2nm~4nm,AZO靶材溅射直至第二AZO层厚度为25nm~55nm;三、关闭所有电源,取样。本发明可用于太阳能电池的电极、平板显示器等对透明导电薄膜有高光电性能及优异稳定性需求的领域。

    一种高红外开关率的钒基氧化物薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN112795883A

    公开(公告)日:2021-05-14

    申请号:CN202011573076.5

    申请日:2020-12-24

    Abstract: 一种高红外开关率的钒基氧化物薄膜的制备方法,涉及一种高红外开关率的薄膜的制备方法。本发明是要解决现有的氧化钒薄膜无法实现85%以上中红外透过率的同时保证较高红外开关率的技术问题。本发明方法结合了磁控溅射镀膜系统和后退火处理,该方法所需设备成本较低、工艺操作简单、性质稳定,可批量生产。本发明制备的钒基氧化物薄膜具有优异的红外开关性能,光开关率可达88%以上,同时保证了中波红外光区透过率可达85%以上。此种高红外开关率钒基氧化物薄膜保证了薄膜在服役过程中优异的红外透过率和优异的光开关性能,适用于智能窗、热致相变器件,尤其是激光防护器件的研制。

    一种可见光透过的极化不敏感的低RCS超宽带超材料吸波体

    公开(公告)号:CN111430926B

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202010358422.1

    申请日:2020-04-29

    Abstract: 一种可见光透过的极化不敏感的低RCS超宽带超材料吸波体,它属于电磁波和新型人工电磁材料领域。本发明要解决现有超材料吸波体无法同时兼顾高透过率、超宽频带吸收、低剖面和低雷达散射截面积的问题。它自上而下依次由图案化阻抗膜层、第一透明基体、中间透明介质层、第二透明基体及透明导电薄膜组成;所述的图案化阻抗膜层由阵列的N×M个透明图案化阻抗膜单元组成;所述的透明图案化阻抗膜单元的形状为1个位于中央的大圆和周围均匀分布的4个小圆交叠而成。本发明可以在保持高透过率的同时,在超宽频带内实现电磁波的吸收和RCS的降低,同时具有极化不敏感、低剖面的优异特性以及良好的角度稳定性。

    基于XRD实验数据调整衬底和薄膜初始结构模型的结构参数的方法

    公开(公告)号:CN108229010B

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:CN201711483712.3

    申请日:2017-12-29

    Abstract: 一种基于XRD实验数据调整衬底和薄膜初始结构模型的结构参数的方法,它属于材料计算技术领域。本发明解决了衬底和薄膜结构模型预留距离过大影响几何优化过程的计算速度,以及可能无法模拟出最终能量最低的稳定结构的问题。本发明利用带有薄膜附件的X射线衍射仪对衬底和生长外延薄膜进行X射线小角衍射(SXRD)表征,得到衬底样品和薄膜样品的X射线小角衍射图谱,据此分别计算出衬底样品、薄膜样品、衬底样品与薄膜样品界面处原子层之间的晶面间距,然后利用上述晶面间距对利用Material Studio建立的初始结构模型的结构参数进行调整。本发明减少了几何优化步骤,大大缩短优化时间,同时有效避免计算过程陷入亚稳定结构陷阱,能够更准确地找到最终稳定结构。

    一种全上肢外骨骼康复机器人

    公开(公告)号:CN111803328A

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN202010693231.0

    申请日:2020-07-17

    Abstract: 一种全上肢外骨骼康复机器人,包括外骨骼执行机构和传动驱动机构,肩部外骨骼、肘部外骨骼、腕部外骨骼以及手部外骨骼均为镜像互换结构,拇指模块和四个指模块分别为三层簧片耦合驱动结构,手掌模块驱动拇指模块和四个指模块;所述腕部外骨骼包括簧片模块和线轮环模块,手掌模块和簧片模块连接;所述肘部外骨骼包括前臂模块和上臂模块;上臂模块通过内置的被动补偿机构与前臂模块带有的双扭簧机构连接在一起,前臂模块与簧片模块连接;所述肩部外骨骼包括平行四连杆、固定支架、被动骨架一、被动骨架二和上臂线轮环模块,平行四连杆与背部固定起被动补偿作用。本发明采用并串联-线驱动结构,运动舒适自然,具有镜像互换功能。

    一种可见光透过的极化不敏感的低RCS超宽带超材料吸波体

    公开(公告)号:CN111430926A

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN202010358422.1

    申请日:2020-04-29

    Abstract: 一种可见光透过的极化不敏感的低RCS超宽带超材料吸波体,它属于电磁波和新型人工电磁材料领域。本发明要解决现有超材料吸波体无法同时兼顾高透过率、超宽频带吸收、低剖面和低雷达散射截面积的问题。它自上而下依次由图案化阻抗膜层、第一透明基体、中间透明介质层、第二透明基体及透明导电薄膜组成;所述的图案化阻抗膜层由阵列的N×M个透明图案化阻抗膜单元组成;所述的透明图案化阻抗膜单元的形状为1个位于中央的大圆和周围均匀分布的4个小圆交叠而成。本发明可以在保持高透过率的同时,在超宽频带内实现电磁波的吸收和RCS的降低,同时具有极化不敏感、低剖面的优异特性以及良好的角度稳定性。

    一种具有红外透明导电功能的窗口

    公开(公告)号:CN111276277A

    公开(公告)日:2020-06-12

    申请号:CN202010091737.4

    申请日:2020-02-12

    Abstract: 一种具有红外透明导电功能的窗口,属于红外光学材料领域及电子材料领域。本发明是要解决现有的红外透明导电功能的窗口无法兼顾电磁屏蔽和高红外透过率性能的技术问题。本发明的具有红外透明导电功能的窗口是由衬底和依次生长于所述衬底上的透明导电层和红外增透层组成。本发明所述的具有红外透明导电功能的窗口在0.78μm~2.5μm波长范围内透过率不低于80%,在2.5μm~5μm波长范围内透过率不低于75%,方块电阻不大于100Ω/sq,对1GHz~18GHz电磁波的屏蔽效率大于10dB。本发明应用于制备一种具有红外透明导电功能的窗口。

    一种长波红外增透保护膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108149210B

    公开(公告)日:2019-12-31

    申请号:CN201711434621.0

    申请日:2017-12-26

    Abstract: 一种长波红外增透保护膜的制备方法,本发明涉及增透保护膜的制备方法。本发明要解决现有红外探测系统窗口材料增透保护膜或存在服役过程中出现严重的性能退化现象,导致薄膜光学性能的下降,或存在增透保护膜与基底附着性差,需要沉积过渡层,增加了工艺的复杂性,或存在增透保护膜硬度较低的问题。方法:一、靶材和窗口的清洗;二、镀膜前准备工作;三、采用反应溅射的方式制备Gd2O3薄膜;四、结束关机;五、双面镀膜,即完成一种长波红外增透保护膜的制备方法。本发明用于长波红外增透保护膜的制备方法。

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