一种高k栅介质层的制备方法及碳化硅MOS功率器件

    公开(公告)号:CN108257858B

    公开(公告)日:2021-11-19

    申请号:CN201611231185.2

    申请日:2016-12-28

    摘要: 本发明提供了一种高k栅介质层的制备方法及碳化硅MOS功率器件,所述制备方法包括对具有第一导电类型的碳化硅外延片进行高温牺牲氧化,在其外延层的上表面形成牺牲氧化层;对牺牲氧化层进行腐蚀,直至完全去除外延层上的牺牲氧化层;对去除牺牲氧化层后的外延层的上表面进行高温表面化处理,形成光滑的钝化表面;在光滑的钝化表面上依次淀积Al2O3介质覆层、LaxHfyO介质层和Al2O3介质覆层,并对Al2O3介质覆层、LaxHfyO介质层和Al2O3介质覆层构成的叠层结构进行退火,形成高k栅介质层。与现有技术相比,本发明提供的一种高k栅介质层的制备方法及碳化硅MOS功率器件,能够减少SiC/SiO2界面处的因杂质和/或表面晶格缺陷造成的界面缺陷,提高栅介质层的耐压能力。

    一种气体绝缘组合电器隔离开关接触状态试验与测试系统

    公开(公告)号:CN105116320B

    公开(公告)日:2018-08-03

    申请号:CN201510521151.6

    申请日:2015-08-24

    IPC分类号: G01R31/327 G01H1/12

    摘要: 本发明公开了种气体绝缘组合电器隔离开关接触状态试验与测试系统,包括气体绝缘组合电器外壳、振动加速度传感器、示波器、升流器;所述振动加速度传感器设置于所述气体绝缘组合电器外壳的顶部,所述示波器设置于所述振动加速度传感器的上部;所述升流器套接于所述气体绝缘组合电器外壳的底部,所述升流器的下部还设置有升流器操作台;所述气体绝缘组合电器外壳内部设置有试验腔体,所述气体绝缘组合电器外壳与所述试验腔体之间设置有导杆,所述导杆上设置有隔离开关,所述气体绝缘组合电器外壳的底部与所述试验腔体的底部通过盆式绝缘子相连接。本发明实现了气体绝缘组合电器中隔离开关不同接触状态时的振动信号特性的分析。

    绝缘子螺帽带电操作紧固杆

    公开(公告)号:CN105826866B

    公开(公告)日:2018-07-06

    申请号:CN201610386209.5

    申请日:2016-06-03

    IPC分类号: H02G1/02 B25B23/00

    摘要: 本发明涉及绝缘子螺帽紧固杆技术领域,是一种绝缘子螺帽带电操作紧固杆;其包括绝缘操作杆、套筒扳手和紧固件;在绝缘操作杆的上端固定安装有套筒扳手,在套筒扳手的下端固定连接有下接合爪,在绝缘操作杆的上端固定有上接合爪,下接合爪与上接合爪之间通过能够拆装的紧固件固定连接在一起;上接合爪包括套筒扳手连接帽和上接合爪片。本发明结构合理而紧凑,使用方便;操作人员通过手握绝缘操作杆,利用连接在绝缘操作杆上端的套筒扳手将高处、带电的绝缘子螺帽进行紧固操作,无需停电和登杆作业,操作简单,使用方便,不影响用电;绝缘操作杆与套筒扳手之间可拆开后分别放置和操作,使用更灵活。