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公开(公告)号：CN1956324A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200610137474.6
申请日：2006-10-27
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/173 , H03H9/568 , H03H2003/021
Abstract: 本发明提供了压电薄膜谐振器及滤波器。该压电薄膜谐振器包括构建于基板上的下电极，在该下电极和基板之间限定了圆形穹状空腔；设置于下电极之上的压电膜，以及设置于压电膜上的上电极。隔膜区域是下电极和上电极隔着压电膜的交叠区域，空腔在所述基板上的投影区域包含了该隔膜区域。
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公开(公告)号：CN1862959A
公开(公告)日：2006-11-15
申请号：CN200610080180.4
申请日：2006-05-10
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 一种压电薄膜谐振器，包括：形成于衬底上的下电极，形成于所述下电极上的压电膜，以及形成于所述压电膜上的上电极。在所述的压电薄膜谐振器中，所述上电极具有比下电极更厚的膜厚。
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公开(公告)号：CN101083460B
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200710105462.X
申请日：2007-05-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/54
CPC classification number: H03H9/605 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/02141 , H03H9/132 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H2003/021
Abstract: 本发明提供具有多个压电薄膜谐振器的滤波器。所述多个压电薄膜谐振器各自具有：基板、形成在所述基板上的下电极、形成在所述下电极上的压电膜、以及隔着所述压电膜与所述下电极彼此相对地设置在所述压电膜上的上电极。所述多个压电薄膜谐振器包括如下的第一谐振器：所述第一谐振器的所述压电膜的外侧曲部的至少一部分比所述上电极和所述下电极隔着所述压电膜而彼此相对的区域的外侧曲部更靠外。所述多个压电薄膜谐振器包括如下的第二谐振器：所述第二谐振器的所述压电膜的外侧曲部的至少一部分与所述上电极和所述下电极隔着所述压电膜而彼此相对的区域的外侧曲部基本一致，或者比所述区域的外侧曲部更靠内。
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公开(公告)号：CN101552094B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200810185049.3
申请日：2008-12-26
Abstract: 本发明涉及一种电子组件，该电子组件包括：多层陶瓷基底，所述多层陶瓷基底具有在其中形成的穿透电极，并且具有在其上表面上提供的无源元件；绝缘膜，所述绝缘膜被提供在所述多层陶瓷基底上，并且具有在所述穿透电极上方的开口；第一连接端子，所述第一连接端子被提供在所述绝缘膜上以覆盖所述开口，并且被电连接到所述穿透电极；以及第二连接端子，所述第二连接端子被提供在所述绝缘膜的区域上，所述区域不同于所述开口区域。其中，所述穿透电极的上表面被定位为相比所述多层陶瓷基底的所述上表面具有一个突起量，该穿透电极的突起量差不多等于所述绝缘膜的膜厚度，从而使所述第一连接端子的高度差不多等于所述第二连接端子的高度。
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公开(公告)号：CN102160284A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200880131170.6
申请日：2008-11-28
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/173 , H03H3/04 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/0414 , H03H2003/0428 , Y10T29/42 , Y10T29/49005
Abstract: 弹性波器件的制造方法包括以下步骤：层叠步骤，在基板(1)上形成包含下部电极(2)、压电膜(3)和上部电极(4)的多个弹性波器件；测定步骤，测定基板(1)上的多个弹性波器件中的动作频率的分布；以及调整步骤，根据动作频率的分布，在各弹性波器件的所述谐振部中，形成所述弹性波器件的厚度与其他部分不同的调整区域，在所述调整步骤中，以使各弹性波器件的所述谐振部中的所述调整区域的面积根据所述测定出的所述动作频率的分布而不同的方式，形成所述调整区域。由此，能够利用较少步骤简单地调整弹性波器件的频率特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101785184A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200780100318.5
申请日：2007-08-23
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/725 , H03H9/0571 , H03H9/706
Abstract: 本发明提供陡峭性优异而无须增加外接部件或新的制作工序的弹性波滤波器。在同一基板上具有多个滤波器(10-1)，该滤波器(10-1)具有第1谐振器(2a-1)和第2谐振器(4a-1)，该第1谐振器(2a-1)配置在串联臂上，谐振频率为frs且反谐振频率为fas，该第2谐振器(4a-1)配置在并联臂上，谐振频率为frp且反谐振频率为fap，第1谐振器的谐振频率frs比第2谐振器的谐振频率frp高，第1谐振器的反谐振频率fas比第2谐振器的反谐振频率fap高，滤波器(10-1)多级连接。多级连接的滤波器中的至少一个滤波器(10-1)具有谐振频率为frp且反谐振频率为fap的第3谐振器(6-1)，第3谐振器(6-1)形成在基板上，在串联臂上相对于第1谐振器(2a-1)并联连接。
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公开(公告)号：CN101635562A
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200910151476.4
申请日：2009-07-23
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/205 , H03H3/02 , H03H9/173 , H03H9/568 , H03H9/587 , H03H9/605 , H03H2003/021 , Y10T29/42 , Y10T29/49005
Abstract: 本发明提供了一种声波装置，制作声波装置和传输设备的方法。一种声波装置包括衬底和形成在衬底上的多个压电薄膜谐振器。多个压电薄膜谐振器中的每个包括设置在衬底上的下电极，设置在下电极上的压电薄膜，设置在压电薄膜上并且经过压电薄膜与下电极相对的上电极。每个压电薄膜谐振器由衬底部分地支持并且在衬底上延伸以在衬底与每个下电极之间形成空腔。空腔在多个压电薄膜谐振器下方连续地延伸。
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公开(公告)号：CN101510768A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910003011.4
申请日：2009-01-08
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/02118 , H03H3/04 , H03H9/0571 , H03H9/13 , H03H9/132 , H03H9/174 , H03H9/706 , H03H2003/023
Abstract: 本发明提供了一种膜体声波谐振器、滤波器、通信模块和通信设备。该膜体声波谐振器具有衬底、形成在衬底上的下电极、形成在下电极上的压电薄膜、形成在压电薄膜上的上电极、以及邻近于上电极和衬底之间的压电薄膜而部署的绝缘膜，该绝缘膜位于上电极和衬底彼此相对的位置处。衬底优选地被形成为在面对下电极的部分形成有空隙。下电极优选地具有锥形末端，并且压电薄膜和绝缘膜之间的边界的一部分被部署在从锥形末端的上端看的内部。
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公开(公告)号：CN101689845A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880023285.3
申请日：2008-03-05
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H9/02015 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/13 , H03H9/132 , H03H9/175 , H03H9/568 , H03H2003/0428
Abstract: 压电薄膜共振元件(1)具有共振部，该共振部具有椭圆的平面形状，由在下表面电极(3)和上表面电极(5)这两个电极之间夹入压电膜(4)的层叠构造而形成，其中，下表面电极(3)在外周上具有以25°到55°的范围内的规定角度(例如大约30°)倾斜的倾斜部(3a)，上表面电极(5)具有椭圆的平面形状。在上表面电极(5)的面对下表面电极(3)的倾斜部(3a)的位置的一部分上设置附加膜(8)，由此使得共振部的下表面电极(3)的倾斜部(3a)的层叠厚度中的一部分的层叠厚度H C 大于共振部的下表面电极(3)的倾斜部(3a)靠内侧部分的层叠厚度H A 。
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公开(公告)号：CN101674062A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200910139800.0
申请日：2009-06-30
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明公开了滤波器、双工器和通信装置。一种滤波器包括多个压电薄膜谐振器，压电薄膜谐振器是通过将压电膜夹在布置在基板上的下电极以及上电极之间而形成的。每个压电薄膜谐振器具有上电极和下电极彼此交叠而形成的电极区域，电极区域的轮廓包括曲线。在多个压电薄膜谐振器中，在相邻压电薄膜谐振器的相对电极区域中的压电薄膜谐振器被成形为具有彼此互补的轮廓。利用该滤波器，由压电薄膜谐振器的横向模式的不希望的波引起的影响可以被抑制。因此，可以在不牺牲具有空心结构的电极的机械强度的情况下实现小型化。
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