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公开(公告)号：CN107850491A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201580081466.1
申请日：2015-07-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01B9/02049 , G01B9/02 , G01B9/02027 , G01J3/45 , G01J3/453
Abstract: 光学干涉仪(1A)具备分支合波部(10)、第一光学系统(20)、第二光学系统(30)以及驱动部(40)，可以由MEMS构成。分支合波部(10)在透明构件的内部与外部之间的边界上具有分支面(11)、入射面(12)、出射面(13)以及合波面(14)。分支合波部(10)在分支面(11)上使入射光(L0)的一部分反射并作为第一分支光(L11)出射并且将剩余部分作为第二分支光(L21)向内部透过。分支合波部(10)在合波面(14)上使第一分支光(L12)向外部出射并且使第二分支光(L22)反射，对两个光进行合波并作为合波光(L3)向外部出射。由此，实现了能够减小从分支到合波的期间的光损失并且能够改善干涉效率的MEMS所构成的光学干涉仪。
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公开(公告)号：CN113376827B
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202110691193.X
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B26/08 , G02B27/14 , G02B7/182 , G01J3/453 , G01J3/45 , G01J3/14 , G01J3/10 , G01J3/06 , G01J3/02 , G01B9/02 , G01B9/02055 , B81B3/00
Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。
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公开(公告)号：CN114384686A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202210067909.3
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光学装置中，可动部具有：主体部；框部，其自主体部空开规定的间隔而包围主体部；及多个连结部，其将主体部与框部相互连结。主体部的外缘部包含以外缘部的厚度厚于中央部的厚度的方式形成的第1梁部。框部包含以框部的厚度厚于中央部的厚度的方式形成的第2梁部。各连结部的宽度大于主体部与框部之间的间隔，且小于自框部中的与各连结部的连接位置至与一对第1扭转支撑部各者及一对第2扭转支撑部各者的连接位置的任一者的距离。
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公开(公告)号：CN110799883B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201880042644.3
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光学装置具备：弹性支撑部，其以可动部能够沿着第1方向移动的方式支撑可动部；第1梳齿电极，其具有多个第1梳齿；及第2梳齿电极，其具有多个第2梳齿。弹性支撑部具有：扭力棒，其沿着与第1方向垂直的第2方向延伸；及非线性缓和弹簧，其连接于扭力棒与可动部之间。非线性缓和弹簧构成为，在可动部在第1方向移动的状态下，非线性缓和弹簧绕第2方向的变形量小于扭力棒绕第2方向的变形量，且与第1方向及第2方向垂直的第3方向上的非线性缓和弹簧的变形量大于第3方向上的扭力棒的变形量。相邻的第1梳齿与第2梳齿在第2方向上彼此相对。
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公开(公告)号：CN110799888B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN201880043713.2
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明将提供一种能够抑制粘附的产生并且能够使可动部沿着规定方向大幅移动的光学装置及其制造方法作为目的。本发明的光学装置(10)具备：基座(12)；可动部(11)，其具有光学功能部(11a)；弹性支撑部(14、15)，其以可动部(11)能够沿着第1方向移动的方式支撑可动部；第1梳齿电极(161)，其设置于基座(12)；及第2梳齿电极(162)，其设置于可动部(11)及弹性支撑部(14、15)的至少一者且具有多个第2梳齿。弹性支撑部(14、15)具有沿着与第1方向垂直的第2方向延伸的扭力棒(147、157)、及连接有扭力棒(147、157)的杆(141、151)。第2梳齿电极(162)设置于可动部及弹性支撑部的至少一者中位于较扭力棒(147、157)更靠光学功能部(11a)侧的部分。相邻的第1梳齿(161a)与第2梳齿(162a)在第2方向、或与第1方向及第2方向垂直的第3方向中可动部的外力耐受性高的方向上彼此相对。
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公开(公告)号：CN113376827A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110691193.X
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B26/08 , G02B27/14 , G02B7/182 , G01J3/453 , G01J3/45 , G01J3/14 , G01J3/10 , G01J3/06 , G01J3/02 , G01B9/02 , B81B3/00
Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。
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公开(公告)号：CN110402408B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201880017380.6
申请日：2018-03-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光组件包括：基体，其具有主面，且设置有安装区域和驱动区域，驱动区域能够使安装区域沿着与主面平行的第一方向移动；可动反射镜，其具有处于与主面交叉的位置关系的反射镜面，且安装于安装区域；第一固定反射镜，其具有处于与主面交叉的位置关系的反射镜面，且相对于基体的位置是固定的；和分束器单元，其与可动反射镜和第一固定反射镜一起构成关于测量光的第一干涉光学系统。可动反射镜的反射镜面和第一固定反射镜的反射镜面朝向第一方向上的一侧。
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公开(公告)号：CN110770625B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN201880040988.0
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在反射镜器件(20)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第1部分的光通过部(24)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)之间的光路的第2部分的光透射部(14)。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。
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公开(公告)号：CN110832379A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201880043575.8
申请日：2018-07-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光学装置中，可动部具有：主体部；框部，其自主体部空开规定的间隔而包围主体部；及多个连结部，其将主体部与框部相互连结。主体部的外缘部包含以外缘部的厚度厚于中央部的厚度的方式形成的第1梁部。框部包含以框部的厚度厚于中央部的厚度的方式形成的第2梁部。各连结部的宽度大于主体部与框部之间的间隔，且小于自框部中的与各连结部的连接位置至与一对第1扭转支撑部各者及一对第2扭转支撑部各者的连接位置的任一者的距离。
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