-
公开(公告)号：CN115668516A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180039548.5
申请日：2021-05-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/107 , H01L27/146
Abstract: 本发明的光检测元件(10)具备：半导体基板(16)，其具有被检测光入射的主面(16a)、及背对主面(16a)的背面(16b)，在主面(16a)侧具有产生与被检测光的光强度相应的量的电荷的一个或多个光检测区域(11)；及光吸收膜(13)，其设置于半导体基板(16)的背面(16b)上。光吸收膜(13)包含：金属层即反射层(133)、设置于反射层(133)与半导体基板(16)之间的谐振层(132)、及设置于谐振层(132)与半导体基板(16)之间的光吸收层(131)。在被检测光的波长、及光检测区域(11)中所产生的自发光的波长中的至少一者，谐振层(132)的内部的透光率大于光吸收层(131)的内部的透光率，反射层(133)的表面的光反射率大于谐振层(132)的表面的光反射率。由此，实现一种可减少半导体基板的背面的光的反射的半导体光检测元件。
-
公开(公告)号：CN116113806A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202180051938.4
申请日：2021-07-07
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02
Abstract: 光检测装置(1A)具备光检测元件(10A)和封装体(20)。光检测元件(10A)具备半导体基板(16)和光吸收膜(30)。光吸收膜(30)设置于半导体基板(16)的主面(16a)上的光检测区域(11)的周围的区域中的至少一部分的区域上。光吸收膜(30)具有包含光吸收层(31)、共振层(32)、及反射层(33)的多层结构。在被检测光的波长中，共振层(32)的内部的光透过率较光吸收层(31)的内部的光透过率大，反射层(33)的表面的光反射率较共振层(32)的表面的光反射率大。由此，实现了一种可减少在封装体内散射的光的光检测装置。
-
公开(公告)号：CN108603747B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201780009338.5
申请日：2017-02-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光模块包括：具有沿着规定方向移动的可动部的致动器；具有第1可动镜、第1固定镜和第1分束器的第1干涉光学系统；和具有第2可动镜、第2固定镜和第2分束器的第2干涉光学系统。第1干涉光学系统构成为第1光在第1分束器与第1可动镜之间沿着规定方向往返m次，其中，m为自然数。第2干涉光学系统构成为第2光在第2分束器与第2可动镜之间沿着规定方向往返n次，其中，n为比m大的自然数。
-
公开(公告)号：CN110352335A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201880014772.7
申请日：2018-02-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测器具备：支撑基板；与支撑基板形成容纳空间的光透过基板；位于容纳空间且具有测辐射热计层的光检测元件；具有第一角部的第一基底层；具有第二角部的第二基底层；配置在第一基底层和第二基底层之间，将支撑基板和光透过基板互相固定并且气密地密封容纳空间的焊料层；以及通过与焊料层相同的材料与焊料层一体地形成的加强部，加强部在第一角部和第二角部的内侧到达第一表面侧和第二表面侧的至少一方。
-
公开(公告)号：CN108603747A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780009338.5
申请日：2017-02-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光模块包括：具有沿着规定方向移动的可动部的致动器；具有第1可动镜、第1固定镜和第1分束器的第1干涉光学系统；和具有第2可动镜、第2固定镜和第2分束器的第2干涉光学系统。第1干涉光学系统构成为第1光在第1分束器与第1可动镜之间沿着规定方向往返m次，其中，m为自然数。第2干涉光学系统构成为第2光在第2分束器与第2可动镜之间沿着规定方向往返n次，其中，n为比m大的自然数。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103582830A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201280023954.3
申请日：2012-04-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B1/115 , G01B9/02051 , G01B9/02056 , G01J3/4535 , G02B26/06 , G02B26/0841
Abstract: 本发明所涉及的光学部件的制造方法是一种制造光透性光学部件（12）的方法，所包含的工序为：第1蚀刻工序，蚀刻板状构件的硅区域（11）并形成凹部；热氧化工序，使凹部的内侧面热氧化并形成氧化硅膜（14）；氮化膜形成工序，形成覆盖氧化硅膜（14）的氮化硅膜（16）。由此，就能够实现在相对于基板面成大倾斜（或者接近于垂直）的半透过反射面上可以均匀地形成氧化硅膜的光学部件的制作方法、以及由该方法进行制作的光学部件。
-
公开(公告)号：CN103547528B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201280023910.0
申请日：2012-04-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01B9/02051 , G01B9/02056 , G01J3/4535 , G01J3/4537 , G02B5/08 , G02B26/0833
Abstract: 光模块具备具有通过蚀刻硅区域（11）而形成的光透过性光学部件（12）的第1板状构件（10）、以及具有用于反射透过了光透过性光学部件（12）的光的光反射性光学部件（镜（21～24））的第2板状构件（20），第1和第2板状构件（10,20）相互接合，透过光透过性光学部件（12）的光的光路沿着第1板状构件（10）的部件形成面和第2板状构件（20）的主面。由此，实现了能够将光反射性光学部件与光透过性光学部件接近地配置且即使在与基板的特性相关的要求根据光学部件而相反的情况下也可以满足这些要求的光模块及其制造方法。
-
公开(公告)号：CN105492879A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480045789.0
申请日：2014-07-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01B9/02051 , G01J3/0256 , G01J3/4532 , G01J3/4535
Abstract: 制造光干涉仪的方法包括：在支承基板的主面和形成在主面上的第一绝缘层上形成用于分束器的第一半导体部和用于可动镜的第二半导体部的第一工序；在第一半导体部的第一侧面与第二半导体部的第二侧面之间配置第一壁部的第二工序；和使用荫罩掩模在第二侧面形成第一金属膜，由此在第二半导体部形成镜面的第三工序。在第三工序中，在利用掩模部和第一壁部掩蔽第一侧面并且使第二侧面从开口部露出的状态下形成第一金属膜。
-
公开(公告)号：CN103547528A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201280023910.0
申请日：2012-04-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01B9/02051 , G01B9/02056 , G01J3/4535 , G01J3/4537 , G02B5/08 , G02B26/0833
Abstract: 光模块具备具有通过蚀刻硅区域（11）而形成的光透过性光学部件（12）的第1板状构件（10）、以及具有用于反射透过了光透过性光学部件（12）的光的光反射性光学部件（镜（21～24））的第2板状构件（20），第1和第2板状构件（10,20）相互接合，透过光透过性光学部件（12）的光的光路沿着第1板状构件（10）的部件形成面和第2板状构件（20）的主面。由此，实现了能够将光反射性光学部件与光透过性光学部件接近地配置且即使在与基板的特性相关的要求根据光学部件而相反的情况下也可以满足这些要求的光模块及其制造方法。
-
公开(公告)号：CN107850492B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201580082046.5
申请日：2015-09-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/45
Abstract: 光学干涉仪(1A)具备分支合波部(10)、第一光学系统(20)、第二光学系统(30)以及驱动部(40)。分支合波部(10)在透明构件的内部与外部之间的边界具有分支面(11)、入射面(12)、第一出射面(13)、合波面(14)以及第二出射面(15)，在分支面(11)上使入射光(L0)的一部分反射并作为第一分支光(L11)出射并且将剩余部分作为第二分支光(L21)向内部透过，在合波面(14)上对第一分支光(L12)以及第二分支光(L22)各自一部分进行合波并作为第一合波光(L3)向外部出射，并且对各个剩余部分进行合波并作为第二合波光(L4)向内部传播，在第二出射面(15)上使第二合波光(L4)的一部分(L41)向外部出射。由此，实现了能够降低过量损失的比例的光学干涉仪。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
14
records
(took 0.019 seconds)
