一种以喷墨法形成微孔金属薄膜的方法

    公开(公告)号:CN100508694C

    公开(公告)日:2009-07-01

    申请号:CN200410101578.2

    申请日:2004-12-23

    Abstract: 本发明公开了一种以喷墨法形成微孔金属薄膜的方法,主要在基板表面进行表面处理后,以微液滴喷涂方式将催化剂喷涂于此微孔内,且此催化剂吸附并干燥于此微孔内壁。基板经处理后由于表面性质改变而使镀液容易进入微孔,并于微孔内壁形成金属薄膜,可以避免空气残留在微孔中造成化镀金属不完全,而形成断路,并且微孔内壁与金属间甚佳的附着力,可改善镀层(金属薄膜)剥落。此外,此喷涂的方式可以减少贵金属盐类(催化剂)的使用、制作的程序及光阻蚀刻废液的产生,再加上不需要经过曝光、显影、激光钻孔等高单价设备及空间,可缩减工艺的成本及符合环保要求。

    一种形成导电栓柱的方法
    38.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100338746C

    公开(公告)日:2007-09-19

    申请号:CN200410000212.6

    申请日:2004-01-05

    Abstract: 本发明公开一种形成导电栓柱的方法,该方法包括:提供一基材;形成一第一导电层于该基材上;形成一有机绝缘层于该第一导电层上;以喷液法喷印一溶液于该有机绝缘层的上表面,该溶液具有一溶剂与一导电材料,由该溶剂蚀刻该有机绝缘层形成穿孔;去除该溶剂,导电材料与该有机绝缘层溶解后再固化来形成导电栓柱;及形成一第二导电层于该有机绝缘层与该导电栓柱之上,由该导电栓柱形成该第一导电层与该第二导电层的电性连接。本发明利用喷液法喷印具溶解绝缘材料能力的溶剂与导电材料的溶液形成导电栓柱,所获得的导电栓柱具有低电阻率的特性,能作为上下导体层的电性连接,而此制作方法可以同时达到沉积、图案化、蚀刻三个目的,明显简化制造过程。

    一种以喷墨法形成微孔金属薄膜的方法

    公开(公告)号:CN1798480A

    公开(公告)日:2006-07-05

    申请号:CN200410101578.2

    申请日:2004-12-23

    Abstract: 本发明公开了一种以喷墨法形成微孔金属薄膜的方法,主要在基板表面进行表面处理后,以微液滴喷涂方式将催化剂喷涂于此微孔内,且此催化剂吸附并干燥于此微孔内壁。基板经处理后由于表面性质改变而使镀液容易进入微孔,并于微孔内壁形成金属薄膜,可以避免空气残留在微孔中造成化镀金属不完全,而形成断路,并且微孔内壁与金属间甚佳的附着力,可改善镀层(金属薄膜)剥落。此外,此喷涂的方式可以减少贵金属盐类(催化剂)的使用、制作的程序及光阻蚀刻废液的产生,再加上不需要经过曝光、显影、激光钻孔等高单价设备及空间,可缩减工艺的成本及符合环保要求。

Patent Agency Ranking