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    显影装置
    31.
    发明公开
    显影装置 无效

    公开(公告)号：CN108345169A

    公开(公告)日：2018-07-31

    申请号：CN201711234725.7

    申请日：2017-11-29

    Applicant: 株式会社平间理化研究所

    Inventor： 中川俊元

    IPC: G03D3/00 ,  G03F7/30 ,  G03F7/32

    CPC classification number: G03D3/00 ,  G03F7/3071 ,  G03F7/322

    Abstract: 本发明提供能够维持所期望的显影性能并维持基板上的布线图案的所期望的线宽及剩余膜厚的显影装置。显影装置具备：显影液调制装置，其将包含显现碱性的显影液的主成分的显影原液与纯水混合，而调制浓度被设定好的所述显影液作为显影新液；显影新液用管路，其输送从所述显影液调制装置向反复使用的所述显影液补给的所述显影新液；显影原液用管路，其输送向所述反复使用的所述显影液补给的所述显影原液；纯水用管路，其输送向所述反复使用的所述显影液补给的纯水；以及显影液管理装置，其以使所述反复使用的所述显影液的碱成分浓度或所述显影液的导电率成为规定的管理值或落入规定的管理范围的方式进行管理。

    Vmin和Vmax分别代表存在于所述第一液体输送制备平版印刷印版的方法 系统中的最小和最大体积，各自用升表示，其中A
    32.
    发明授权
    Vmin和Vmax分别代表存在于所述第一液体输送制备平版印刷印版的方法 系统中的最小和最大体积，各自用升表示，其中A 有权 转让

    公开(公告)号：CN103797421B

    公开(公告)日：2017-02-15

    申请号：CN201280043593.9

    申请日：2012-08-29

    Applicant: 爱克发印艺公司

    Inventor： L.H.弗夫洛埃特 ,  J.辛内萨埃尔 ,  J.莱纳尔茨

    IPC: G03F7/30 ,  B41C1/10

    CPC classification number: B63B27/24 ,  G03F7/30 ,  G03F7/3071 ,  G03F7/3092 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/6906

    Abstract: 和B分别代表2和15的恒定值，并且其中所述显影一种制备平版印刷印版的方法，所述方法包 宽度代表在显影单元内部、垂直于显影方向的宽括以下步骤：a)图样化曝光平版印刷印版前体， 度，按m表示，其可用于以均匀的方式横跨印版前所述前体在具有亲水表面或提供有亲水层的载 体的宽度来使印版前体显影。体上包含光敏或热敏涂层，b)使用第一溶液使所述前体显影，继续使用第二溶液显影，由此在非印刷区域中从载体除去涂层，其中所述第一和第二溶液通过级联系统提供，其中所述第二溶液溢流至所述第一溶液中，并且所述第一溶液溢流至容器中，以作为废物经进一步处理，其中通过以至少5 mL/m2经处理前体和至多30 mL/m2经处理前体的比率加入补充溶液或补充溶液的混合物，使所述第二溶液再生，其中所述第一和第二溶液分别通过第一和第二液体输送系统循环，其中存在于所述第一液体输送系统中的第一溶液具有分别由式1和式2定义的至少Vmin和至多Vmax的体积，Vmin=[A+(显影宽度/0.95 m)].升(式1)，Vmax=[B+(显影宽度/0.95 m)].升(式2)，其中

    光敏平版印刷版的自动处理方法及其自动处理装置
    35.
    发明授权
    光敏平版印刷版的自动处理方法及其自动处理装置 失效 转让

    公开(公告)号：CN1301442C

    公开(公告)日：2007-02-21

    申请号：CN200310124248.0

    申请日：2003-12-29

    Applicant: 富士胶片株式会社

    Inventor： 笹山洋行

    IPC: G03F7/00

    CPC classification number: G03F7/30 ,  G03F7/3071

    Abstract: 一种通过用显影剂对多个曝光过的光敏平版印刷版进行显影的自动处理方法，该方法包含：如在其中所定义的预先计算步骤，测量步骤和补充步骤，其中在从自动处理装置操作开始后即刻直到测量的显影剂电导率值超过目标电导率值时这样一段时期内，对于显影剂补充剂的每次补充，使用由预先确定的第一运算表达式来修正目标电导率值；并且在自动处理装置操作开始后，在测量的显影剂的电导率值第一次超过目标电导率值之后，对显影剂补充剂的每次补充，使用第二运算表达式来修正目标电导率值。

    对光敏平版印刷版用自动显影装置补充显影剂的方法
    36.
    发明授权
    对光敏平版印刷版用自动显影装置补充显影剂的方法 失效 转让

    公开(公告)号：CN1280678C

    公开(公告)日：2006-10-18

    申请号：CN200410002003.5

    申请日：2004-01-09

    Applicant: 富士胶片株式会社

    Inventor： 笹山洋行

    IPC: G03F7/32 ,  B41C1/00

    CPC classification number: G03F7/3071

    Abstract: 在电导率-基补充系统中，本发明提供一种光敏平版印刷版用自动处理装置的显影剂补充方法，其可以使在显影剂敏感度对于显影处理条件的变化方面的波动最小化，同时以简单和低成本的结构实现自动显影装置的显影单元，其中，在预先给定的周期测量显影剂的电导率值，当测量的显影剂的电导率值低于目标电导率值时，用预定量的显影剂补充剂补充显影剂，测量前次显影剂补充剂供给和当前显影剂补充剂供给之间的时间间隔，基于测量的补充时间间隔和补充时间间隔的阈值，选择目标电导率算术表达式，并且使用选择的目标电导率算术表达式和测量的补充时间间隔来更新目标电导率值。

    显影方法及显影装置
    38.
    发明公开
    显影方法及显影装置 失效

    公开(公告)号：CN1501177A

    公开(公告)日：2004-06-02

    申请号：CN200310123329.9

    申请日：2003-11-15

    Applicant: 东京毅力科创株式会社

    Inventor： 立山清久 ,  野村雅文 ,  筱木武虎

    IPC: G03F7/30 ,  H01L21/027

    CPC classification number: G03D3/065 ,  G03D3/06 ,  G03F7/30 ,  G03F7/3071 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67253

    Abstract: 本发明的显影方法和显影装置中，浓度测定部(222)采取一部分调合罐(186)内的显影液，用吸光光度法测定抗蚀剂浓度，将测定结果(抗蚀剂浓度测定值)传送到控制部(240)。控制部(240)控制TMAH原液供给管(200)、溶媒供给管(204)以及排泄管(208)的各个开关阀(210)、(212)、(216)，进行显影液的成分调整，使调合罐(186)内显影液的TMAH浓度是与维持显影速率为一定的抗蚀剂浓度测定值对应的TMAH浓度值。从调合罐(186)向供给罐(188)移送的显影液，由泵(228)驱动通过显影液供给管(224)送到显影处理部(126)的显影液喷嘴DN。因此，在显影处理中，即使多次再利用显影液，也能确保显影均匀性。

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