公开(公告)号：CN105551529A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201610106084.6

申请日：2016-02-26

申请人： 中国计量学院

发明人： 凃程旭 ,  张沫 ,  杨钦灿 ,  余逸琪 ,  陈叶宇 ,  衡山

IPC分类号： G12B5/00

CPC分类号： G12B5/00

摘要： 本发明公开了一种平行双圆柱体相对空间位置及其转角的精密定位装置。它包括转台，往复直线滑台模组，第一往复直线滑台滑杆、第二往复直线滑台滑杆，正反丝杆，第一往复直线滑台、第二往复直线滑台，第一滑台连接板、第二滑台连接板，旋转刻度盘，锁定旋钮，第一旋转滑台、第二旋转滑台，第一圆柱体固定底座、第二圆柱体固定底座。本发明为更精确有效，可方便快速地控制双圆柱体中心距、串列、并列及错列的相对位置及圆柱体绕其中心线的角度精密调节，为相关圆柱体流固耦合实验研究与其它制造环节涉及两个工件相对位置与角度的精确调整的情况提供了更为可靠的操作方式。

公开(公告)号：CN104457701A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201310427752.1

申请日：2013-09-21

申请人： 黄石市志云机电科技研究所

发明人： 黄凌志 ,  李霖山

IPC分类号： G01C9/22

CPC分类号： G12B5/00 ,  G01C5/04

摘要： 本发明公开了一种大型工件校平仪，其特征在于：包括若干个校平器（1）和软管（2），所述校平器（1）包括磁性座（11）和透明塑料筒（13），在所述透明塑料筒（13）的侧面设有螺钉（12），所述螺钉（12）上设有锥面（121）、外螺纹（122）和槽（123），所述透明塑料筒（13）的外表面上标有刻度（131），并在透明塑料筒（13）的下部设有出水口（132），所述透明塑料筒（13）内装有水（3），所述校平器（1）的出水口（132）连接有软管（2），且各个校平器（1）之间采用软管（2）相互连通；所述螺钉（12）采用工程塑料制成。该发明结构简单，操作迅速快捷，校平精度高，成本低，使用寿命长。

公开(公告)号：CN102272910B

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN200980153294.9

申请日：2009-07-13

申请人： 株式会社新川

发明人： 角谷修 ,  近藤豊 ,  和田庄司

IPC分类号： H01L21/60 ,  G12B5/00

CPC分类号： G12B5/00 ,  H01L2224/78 ,  H01L2924/01004

摘要： 两方向移动台在用于焊接装置的XY台的Y方向电机，设有Y方向可动件(43)，其包括可动臂(43a)和环状驱动线圈(44)，所述可动臂(43a)一端固定在台，为沿着Y方向延伸的纤维强化塑料的长方形截面管，在各短边侧面设有沿Y方向延伸的开口(43b)，与台一起，沿X、Y方向移动，所述驱动线圈(44)插入可动臂(43a)的开口(43b)，安装在可动臂(43a)，其局部从可动臂(43a)的开口(43b)朝着可动臂的宽度方向突出。由此，使得焊接装置高速化。

公开(公告)号：CN101142633B

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200580049099.3

申请日：2005-03-16

申请人： 平田机工株式会社

发明人： 大田黑彻典

IPC分类号： G12B5/00 ,  H02N2/00 ,  H01L41/09

CPC分类号： G12B5/00 ,  H02N2/028

摘要： 本发明提供一种构造简单、能够将定位对象物在多维空间内在多轴方向上精密地定位的精密定位装置。在多轴方向上具有自由度的精密定位装置(1)具备1个一体构造物(2)、和多个伸缩驱动器(4a、4b、4c)；定位对象物的各轴方向的移动是通过使定位对象物仅向该方向移动而变形的一体构造物(2)的弹性变形来进行的；产生弹性变形的力是基于组装在一体构造物(2)中的伸缩驱动器(4a、4b、4c)的伸缩的力。伸缩驱动器(4a、4b、4c)可以由压电元件构成。

公开(公告)号：CN100490066C

公开(公告)日：2009-05-20

申请号：CN200580025934.X

申请日：2005-11-24

申请人： 株式会社尼康

发明人： 依田安史 ,  柴崎祐一 ,  荒井大

IPC分类号： H01L21/027 ,  G12B5/00 ,  G03F9/00 ,  H01L21/68

CPC分类号： G12B5/00 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70733 ,  G03F7/709 ,  H01L21/682

摘要： 本发明提供一种移动体系统、曝光装置及组件制造方法。由于通过制动器机构(48A，48B)来阻止晶片载台(WTB)与测量载台(MTB)较预定距离更接近，且能通过驱动机构(34A)解除该制动器机构之阻止作用，因此例如当独立驱动X轴固定件(81，80)时，即使假设有两个载台之至少一方失控的情形，制动器机构亦能阻止各载台彼此之接触，而例如当载台彼此较预定距离更接近时，通过解除机构来解除制动器机构之阻止作用，能在没有制动机构之妨碍的状态下使两载台接近。

公开(公告)号：CN1781011A

公开(公告)日：2006-05-31

申请号：CN200480011553.1

申请日：2004-04-27

申请人： 莱卡地球系统公开股份有限公司

发明人： 安东·哈勒

IPC分类号： G01C1/02 ,  G12B5/00

CPC分类号： G01C1/02 ,  G01C15/002 ,  G12B5/00

摘要： 本发明涉及一种特别用于大地测量仪器的瞄准单元(1)的针对目标的角度调节的装置。该装置包括一基准件(2)；至少一轴承(3)，用于相对于基准件(2)绕轴线(4)可转动地支承瞄准单元(1)；一传动装置，用于精确调节瞄准单元(1)和基准件(2)之间绕轴线(4)的转角；和一离合单元，通过其可限制或中断一绕轴线(4)的转矩通量，其中传动装置和离合单元顺序连接在瞄准单元(1)和基准件(2)之间的转矩通量中；只要其转矩通量不通过离合单元中断时，绕轴线的转矩通量在瞄准单元(1)和基准件(2)之间通过传动装置和离合单元实现。该装置特征在于：其离合单元至少具有一产生磁场的电磁铁(5)；绕轴线(4)的转矩通量通过磁场的作用或不作用来限定和中断。

公开(公告)号：CN109102841A

公开(公告)日：2018-12-28

申请号：CN201810932002.2

申请日：2018-08-16

申请人： 芜湖源码自动化设备有限公司

发明人： 胡世珍

IPC分类号： G12B5/00

CPC分类号： G12B5/00

摘要： 本发明公开了一种方便调节角度的仪器仪表安装用固定装置，包括底板、第一安装槽和第二安装槽，所述底板上开设有第一通孔，且底板的外侧设置有连接板，所述第一安装槽设置在底板的内部，且第一安装槽的内部安装有连接杆，所述连接杆的内部设置有第二通孔，且第二通孔的内部安装有压力表，所述第二安装槽设置在连接杆的顶端，且第二安装槽的内部安装有连接弹簧，所述连接弹簧与限位块固定连接，所述限位块与限位槽相互连接，且限位槽设置在底板的上表面。该方便调节角度的仪器仪表安装用固定装置，该固定装置通过底板上的第一通孔与连接板进行安装工作，增加了该固定装置安装后的稳定效果，防止该固定装置出现晃动现象。

公开(公告)号：CN109036495A

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201810964124.X

申请日：2018-08-23

申请人： 三英精控(天津)科技有限公司

发明人： 贾静 ,  王慧锋

IPC分类号： G12B5/00

CPC分类号： G12B5/00

摘要： 本发明公开了基于柔性铰链的Z向纳米位移定位平台，平台本体包括运动平台和基座，运动平台通过柔性铰链与基座连接；平台本体内开设有盲孔，在盲孔内安装依次安装有锁紧螺母、半球螺母、第一钨钢半球、压电陶瓷和第二钨钢半球，盲孔的一端部与第二钨钢半球接触，另一端部内安装有锁紧螺母和半球螺母，半球螺母与第一钨钢半球的表面接触；柔性铰链的上端面与运动平台连接，柔性铰链的下端面与基座连接。本发明的有益效果是运动平台与基座之间的柔性铰链的上端面连接点及下端面连接点的数量能够提高谐振频率，同时柔性铰链一体加工成型，其变性一致性好，能保证较小的Z向运动偏摆角，能够满足要求高的使用场合，整体结构简单，应用范围广。

公开(公告)号：CN108922577A

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201810725557.X

申请日：2018-07-04

申请人： 山东大学

发明人： 闫鹏 ,  钱佳卫 ,  鲁帅帅

IPC分类号： G12B5/00 ,  G01B11/02

CPC分类号： G12B5/00 ,  G01B11/02

摘要： 本发明公开了一种基于激光尺非定轴检测方法的XYθ微定位平台，包括：基体，基体为正方体结构，在所述基体内部面向四个侧面的方向上各自设有两个对称设置的横向复合平行板簧机构；在两个横向复合平行板簧机构的对称中心处连接一个音圈电机，音圈电机的动子与两个横向复合平行板簧机构的对称中心处相连，音圈电机的静子固定在基座上；四个音圈电机的轴线互成90度；在基体内部还设有四个纵向复合平行板簧机构，一个纵向复合平行板簧机构对应一副横向复合平行板簧机构且与横向复合平行板簧机构相连；四个纵向复合平行板簧机构的交汇处为平台运动中心，平台运动中心的上方通过连接件安装平台运动部分；在所述的平台运动部分还设有位移检测装置。

公开(公告)号：CN107965541A

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：CN201711090332.3

申请日：2017-11-08

申请人： 苏州蓝博控制技术有限公司

发明人： 潘晓勇 ,  祝涛

IPC分类号： F16F6/00 ,  G12B9/10 ,  G12B5/00

CPC分类号： F16F6/00 ,  G12B5/00 ,  G12B9/10

摘要： 本发明揭示了减震装置、减震且视角可调的仪表安装台及仪表，其中减震装置，包括至少一个活动磁环，所述活动磁环的外周套设有与其共轴的固定磁环，当所述活动磁环位于所述固定磁环的内圆中时，它们通过磁吸力缓冲彼此间的震动力及保持彼此的相对位置。本发明设计精巧，结构简单，通过设置嵌套的固定磁环和活动磁环，能够充分利用两者之间的磁吸力保持相对位置，从而起到对位于其上的待组装件的支撑作用，并且当减震装置受到外界震动力时，由于固定磁环和活动磁环之间不是硬连接，具有一定的弹性，因此能够通过两者之间的相对移动量缓冲外界震动的冲击，具有较佳的缓震效果，并且适用范围广，应用灵活。