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公开(公告)号：CN107134627A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710426087.2
申请日：2017-06-08
Applicant: 中北大学
IPC: H01P5/18
CPC classification number: H01P5/18
Abstract: 本发明为一种多菱形孔耦合型波导定向耦合器，包括直通波导、耦合波导以及耦合孔；直通波导和耦合波导采用宽边耦合方式，且二者主模面相互平行，直通波导与耦合波导之间相互隔离并且通过耦合孔连通；耦合孔分为两排，两排耦合孔的孔数、孔距都相同，并且两排耦合孔错位排列，每个耦合孔的大小相同且为菱形状耦合孔。本发明耦合器结构简单、易于加工,可以直接采用传统工艺在腔体上加工实现。使用HFSS仿真，结果显示其具有较宽的工作带宽、较强的耦合度且耦合度平坦性良好和较小的插入损耗。相对于传统的波导定向耦合器,本发明耦合器具有体积小、结构简单、强耦合度、低插入损耗、高方向性的特点，能方便的集成在高频段的电路中。
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公开(公告)号：CN106218838A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610573834.0
申请日：2016-07-21
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及海洋湍流观测技术，具体是一种基于MEMS技术的全海深湍流混合矩阵型剖面观测系统。本发明解决了现有海洋湍流观测技术无法实现全海深同步多采样点立体观测的问题。基于MEMS技术的全海深湍流混合矩阵型剖面观测系统，包括母弹观测系统和子弹观测系统；所述母弹观测系统包括母弹壳体、母弹整流罩、提拉锁、姿态稳定束、通信模块、母弹传感模块、母弹运行监测模块、母弹数据存储模块、母弹微控单元、母弹电池、母弹电磁抛载机构、母弹配重、水深监测模块、机械臂；所述子弹观测系统包括子弹壳体、子弹整流罩、导航定位模块、子弹传感模块、子弹运行监测模块、子弹数据存储模块、子弹微控单元、子弹电池。本发明适用于海洋湍流观测。
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公开(公告)号：CN104121984B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201410402582.6
申请日：2014-08-16
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明涉及矢量水听器，具体是一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构。本发明解决了现有矢量水听器抗干扰能力差、灵敏度低的问题。一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构，包括四梁臂硅微结构、微型柱状体、中心连接体、驱动电极、检测电极；其中，四梁臂硅微结构和中心连接体均位于同一平面；微型柱状体的下端垂直固定于中心连接体的上表面中央；驱动电极的数目、检测电极的数目均为八个；第一个驱动电极铺设于四梁臂硅微结构的前梁臂的上表面左前部；第二个驱动电极铺设于四梁臂硅微结构的前梁臂的上表面左后部。本发明适用于水下声压信号的精确定位和测量。
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公开(公告)号：CN105181118A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510670121.1
申请日：2015-10-17
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明为一种仿海豹胡须的宽频带MEMS矢量水听器，该水听器极大地提高了MEMS矢量水听器的探测水里微弱声源信号的能力。本发明包括不锈钢电路管壳、缩颈管壳、固定圆盘、带凸台的绝缘环形托盘，凸台上安装有圆形PCB板和探测芯片，探测芯片包括四梁微结构、敏感柱体和浮力球，圆形PCB板和探测芯片的整体表面采用Parylene薄膜绝缘封装。本发明水听器是针对以前的仿鱼类侧线系统的MEMS矢量水听器，在不影响水听器灵敏度的情况下，极大提高纳机电矢量水听器的频带宽度，消除聚氨酯透声帽对水听器频响曲线的影响，为水听器的应用和发展提供了良好的前景。
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公开(公告)号：CN119947224A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202510040261.4
申请日：2025-01-10
Applicant: 中北大学
IPC: H10D84/03 , B82Y10/00 , C30B28/14 , C30B29/06 , C23C28/00 , C23C14/35 , C23C14/04 , C23C14/16 , C23C16/30 , C23C16/44 , C23C14/48 , C23C14/58 , C30B23/02 , C30B25/02 , G01D5/12
Abstract: 本发明公开了一种基于CMOS侧墙工艺的金属栅控硅纳米线敏感单元的制备方法，属于传感器技术领域。本发明方法先在半导体衬底向上生长外延层，外延层上覆盖氧化层，N阱位于外延层上，多晶硅栅位于N阱上，在硅栅间隙进行第一次低能量注入形成超浅结，淀积氮氧化硅侧墙后进行第二次中能离子注入形成P+有源区，P+有源区连有金属引线，多晶硅栅和氮氧化硅侧墙上溅射一层金属引出硅栅电极，硅栅电极电压调节硅纳米线中载流子浓度。本发明硅纳米线敏感单元具备巨压阻效应，可大幅提高传感器灵敏度，氮氧化硅侧墙作为栅绝缘层，其上的硅栅电极电压调节硅纳米线的载流子浓度，形成金属‑氮氧化硅侧墙‑硅纳米线的MOS结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114890374B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202210525263.9
申请日：2022-05-15
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种L型连接梁声发射器件及其制备方法。该声发射器件由下而上依次为基底层、交替设置的介质层及金属层、钝化层，第n层介质层上刻蚀有矩形空腔，空腔顶部形成矩形振膜、L型连接梁及上电极，空腔底部形成下电极。制备时，使用COMS工艺的后端（BEOL）层作为MEMS器件的结构层，COMS电子层在MEMS器件层下方集成，各金属层间通过钨塞互连，最后通过刻蚀形成矩形空腔、矩形振膜及L型连接梁。本发明L型连接梁声发射器件具有可靠性好、体积小、灵敏度高、制造成本低、易于批量生产等优点。
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公开(公告)号：CN119290243A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411418441.3
申请日：2024-10-11
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种微型电容式压力传感器及其制备方法，涉及传感器技术领域，该传感器由上至下依次包括：上电极金属层、单晶硅薄膜层、真空腔体、二氧化硅绝缘层、单晶硅衬底、下电极金属层；其中，真空腔体为单晶硅薄膜层与二氧化硅绝缘层键合在一起形成的凹弧形密闭空腔；该结构极大的提高了微型电容式压力传感器的线性度和灵敏度。
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公开(公告)号：CN115265754B
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202211028088.9
申请日：2022-08-25
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种MEMS同振型三维组合水听器，属于水声传感器技术领域。该水听器包括圆球状封装舱，圆球状封装舱内设有控制电路板，控制电路板上集成有一支构成矢量通道的MEMS电容式三轴加速度计以及一支构成声压通道的MEMS电容式全向性麦克风，控制电路板上连接有输出信号缆和输入信号缆，圆球状封装舱内还设有上下对称设置的气体密封腔。该水听器集成了一款MEMS电容式三轴加速度计作为矢量通道、集成了一款MEMES全向性麦克风作为声压通道，大大减小了MEMS同振型三维组合水听器的体积，增加了MEMS同振型三维组合水听器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN118936567A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411430683.4
申请日：2024-10-14
Abstract: 本发明属于半导体传感器技术领域，公开了一种基于硅纳米通道的温盐深传感器及其制造方法；所述基于硅纳米通道的温盐深传感器中：硅衬底层上设置有SiO2埋氧层；SiO2埋氧层上设置有三个硅纳米通道，每个硅纳米通道的两侧均为欧姆接触区硅膜；金属引线及电极层设置于SiO2埋氧层上，且与各个欧姆接触区硅膜相连接；SiO2隔离层用于作为保护层；其中一个硅纳米通道的上方设置有SiO2栅氧层；其中一个硅纳米通道下方的硅衬底层设置有用于作为背腔的空腔。本发明技术方案解决了传统温盐深传感器结构复杂、体积较大、集成化程度低的难题，且能够保证温盐深传感器的高灵敏度探测以及参数一致性。
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公开(公告)号：CN112362120B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202011243030.7
申请日：2020-11-12
Applicant: 中北大学
IPC: G01F1/667
Abstract: 本发明公开一种流量检测器及流量检测方法，流量检测器，包括两个面阵子探头和控制模块，两个面阵子探头可以分别作为超声波的发射端和接收端；控制模块至少包括两个收发控制电路以及计算控制子模块；计算控制子模块通过一个收发控制电路控制对应的一个面阵子探头发射超声波信号；当另一个面阵子探头接收到超声波信号后，通过另一个收发控制电路将接收到超声波信号的信息反馈给计算控制子模块进行计算处理。本发明利用面阵探头上不同行的阵元分别检测流体的横截面中不同分层的流量信息以求平均值的方式得到被测流体的整体流量信息，这种检测结果更接近流体的真实情况，可以大大降低流量检测的误差。
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