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公开(公告)号:CN104851932B
公开(公告)日:2017-09-26
申请号:CN201510149341.X
申请日:2015-04-01
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: H01L31/0304
摘要: 本发明公开了一种基于稀铋磷化物材料的中间带太阳能电池结构,通过在磷化物中掺入少量铋原子,在磷化物禁带内产生新的杂质能带,杂质能带与磷化物导带边和价带边距离可通过改变磷化物中Al、Ga、In元素组分来调控,并在一个较宽的范围内实现理论预期的60%以上的光电转换效率。铋原子引起的杂质能带在室温下有很强的光致发光,证明材料内非辐射复合较少,有利于制作太阳能器件。这种新型中间带太阳能电池结构可采用常规分子束外延、金属有机物化学气相沉积等多种方法进行生长。与常规的采用量子点作为中间带的技术方案相比,在本发明的电池结构中应变较小,容易补偿或调控,从而增加吸收区厚度以达到对相应波段太阳光的充分吸收,提高转换效率。
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公开(公告)号:CN103715195B
公开(公告)日:2017-02-08
申请号:CN201310736928.1
申请日:2013-12-27
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: H01L27/092 , H01L29/423 , H01L29/10 , H01L21/8238 , H01L21/285 , B82Y40/00
摘要: 本发明涉及一种全环栅CMOS场效应晶体管和制备方法,其特征在于所述硅衬底或SOI衬底上生长有n型横向三维单片集成的高迁移率纳米线阵列和p型横向三维单片集成的高迁移率纳米线阵列;所述n型横向三维单片集成的高迁移率纳米线阵列和p型横向三维单片集成的高迁移率纳米线阵列间隔排列。包括硅或SOI衬底,利用ALD技术实现纳米线周围栅介质和金属栅极材料全包围,制备横向三维p型和n型单片集成纳米线阵列,得到全环栅CMOS场效应晶体管。本发明能够满足10nm以下技术节点对器件性能提出的高要求,为大规模集成电路中的10nm以下技术节点提供技术积累和技术支撑。
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公开(公告)号:CN104766895B
公开(公告)日:2017-01-25
申请号:CN201510151566.9
申请日:2015-04-01
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: H01L31/0304 , H01L31/0352
摘要: 本发明公开了一种基于稀铋磷化物材料多结太阳能电池结构,采用基于稀铋磷化物材料取代常规锗材料作为红外波段0.46-1.0eV结太阳能电池。在磷化物中掺入少量铋原子,会在禁带内产生新的杂质能带,其室温发光波长随铋的掺入浓度改变在1.2-2.7微米内可调,通过改变铋的浓度和相应厚度,可以吸收和转换相应波段的太阳光。与常规的采用锗作为0.67eV结太阳能电池技术方案相比,本发明可以有效减小多结太阳能电池中低能段光子能量的透射损耗和热损耗,提高太阳能转换效率。
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公开(公告)号:CN105951055A
公开(公告)日:2016-09-21
申请号:CN201610436234.X
申请日:2016-06-17
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC分类号: C23C16/18 , C23C16/01 , C23C16/56 , C30B25/18 , C30B25/186
摘要: 本发明提供一种二维锡烯材料的制备方法,包括以下步骤:1)在单晶衬底上外延生长单层或多原子层的α‑Sn晶体薄膜,其中,所述单晶衬底与α‑Sn晶体薄膜通过sp3化学键相连;2)采用原子和/或离子和/或电子进行轰击,在所述单晶衬底与α‑Sn晶体薄膜的界面处形成钝化层或非晶态层以断开所述sp3化学键,所述α‑Sn晶体薄膜的Sn原子之间重构成sp2化学键形成一种二维锡烯材料。根据本发明提供的方法,采用常规的商用单晶衬底以及难度显著降低的常规外延方法即可实现大尺寸二维锡烯材料的制备,总之,本发明相对现有技术提供了一种衬底选择范围扩大的、可行的、易操作、简单的二维锡烯材料的制备方法。
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公开(公告)号:CN103701035B
公开(公告)日:2016-09-07
申请号:CN201310703155.7
申请日:2013-12-19
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: H01S5/10
摘要: 本发明涉及一种边发射半导体激光器谐振腔腔面的非解理制备方法。其特征在于:设计并生长激光器的特定材料结构,利用光刻方法制备激光器的谐振腔掩膜图形,根据激光器材料结构选用特定腐蚀液并刻蚀谐振腔,再利用选择性腐蚀液对腐蚀牺牲层进行侧向腐蚀,在激光器腔面处形成悬臂结构,利用超声震断悬臂结构,形成激光器前后腔面。利用本发明的方法制备激光器前后腔面,可以在不需要解理衬底的条件下,形成高质量的激光器腔面。利用本发明可以制备特定条件下的激光器腔面,比如激光器衬底难以解理形成高质量解理面或者由于特定需要激光器衬底不能被解理。
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公开(公告)号:CN103794693B
公开(公告)日:2016-05-18
申请号:CN201410052014.8
申请日:2014-02-14
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要: 本发明公开了一种发光二极管及采用该发光二极管的光学相干层析(OCT)成像系统。所述发光二极管器件基于InPBi发光层材料,其具有超过现有超辐射发光二极管的宽光谱特性。采用InPBi发光层的发光二极管作为宽光谱光源的OCT系统与现有技术相比,轴向分辨率提高4-6倍,在医学诊断上具有良好的应用前景。基于InPBi材料的发光二极管结构简单,可以通过分子束外延、金属有机物化学气相沉积等多种成熟的材料工艺进行生长;器件制备工艺简单成熟,易控制。因此利用本发明可以有效克服现有相关相干成像系统现有技术的局限,而且工艺简单、成熟、可控,具有极高的产业价值。
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公开(公告)号:CN104810454A
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201510240317.7
申请日:2015-05-12
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC分类号: H01L33/30 , H01L33/0062
摘要: 本发明提供一种半导体材料、半导体薄膜及其制备方法,通过在生长磷化铟(InP)材料时加入少量镓(Ga)和铋(Bi)元素形成全新的InGaPBi材料,通过改变Ga元素的百分比含量实现晶格常数的调控,室温下短波红外区域光致发光谱波长覆盖范围极宽的材料。比如当Bi和Ga的元素百分含量分别为1.6%和2.3%时,该材料室温光致发光谱的波长覆盖范围可以达到1.4~2.7μm,半峰宽达到600nm,同时在Ga元素的补偿作用下,其晶格常数与InP衬底接近匹配。本发明报道的InGaPBi单晶材料为世界上首次成功合成。此InGaPBi红外光源材料可采用常规分子束外延、金属有机物化学气相沉积等多种方法进行生长,结构和操作工艺简单,易于控制。
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公开(公告)号:CN102583359B
公开(公告)日:2015-03-18
申请号:CN201210096785.8
申请日:2012-04-01
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: C01B31/04
CPC分类号: C23C16/26 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/186 , C23C16/003
摘要: 本发明公开了一种利用液态金属或合金作为催化剂化学气相沉积制备石墨烯薄膜的方法。低熔点的金属包括典型的镓、锡和铟等;低熔点的合金包括镓-铜、镓-镍、铟-铜、铟-镍、锡-铜、锡-镍和铜-银-锡等。本发明在金属或合金催化剂熔点之上进行化学气相沉积,从而在催化剂表面以及催化剂与基底界面形成连续的石墨烯薄膜。相比于铜和镍等固体催化剂表面生长石墨烯,本发明所制备的石墨烯层数可控、对基底表面微观形貌要求低、适用于多种基底材料、并且催化剂的移除非常简单。所获得的位于液体表面的石墨烯具有独特的应用价值。
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公开(公告)号:CN104138637A
公开(公告)日:2014-11-12
申请号:CN201410403289.1
申请日:2014-08-15
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: A61N5/067
摘要: 本发明提供一种小型可遥控的光感基因刺激装置及其控制方法,该装置包括中央处理单元、无线射频模块、开关驱动电路、数字电位器、自动功率控制电路、兴奋光源、光敏二极管、稳压模块及电源。无线射频模块接收外部指令并传送给中央处理单元,开关驱动电路实现兴奋光源的导通与断开形成光脉冲;数字电位器改变光敏二极管的静态工作电流从而控制兴奋光源的初始功率;光敏二极管接收兴奋光源输出光并转换为光电流反馈给自动功率控制电路对出光功率进行反馈调节以实现稳定输出。该装置具有功耗低、体积小、稳定性高、控制方便、应用面广、调节迅速的优点,适用于光感基因实验,填补了光基因领域内穿戴式光感基因刺激装置的空白,具有广阔的市场前景。
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公开(公告)号:CN104104012A
公开(公告)日:2014-10-15
申请号:CN201410247131.X
申请日:2014-06-05
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: H01S5/343
摘要: 本发明涉及一种InP基中红外InAsBi量子阱结构,采用InAsBi作为量子阱结构的势阱层,同时采用与InP匹配的In0.53Ga0.47As或者晶格常数比InP小的InxGa1-xAs、0
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