一种发光二极管芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN109326701A

    公开(公告)日:2019-02-12

    申请号:CN201811510747.6

    申请日:2018-12-11

    摘要: 本发明提供一种发光二极管芯片制备方法,该制备方法包括,提供一衬底;于所述衬底上形成第一半导体层;于所述第一半导体层上形成发光层;于所述发光层上形成第二半导体层;于所述第二半导体层上形成透明导电层;于所述第一半导体层上形成第一电极,所述透明导电层上形成第二电极,其中所述第一电极和第二电极的结构包括多个导电层,所述多个导电层中的最外一层为金属钛层,所述金属钛层的厚度为 根据该制备方法制备出的发光二极管芯片,可改善芯片老化性能,有效的降低电压。

    一种氮化镓基发光二极管外延片及其制作方法

    公开(公告)号:CN109216514A

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201810831578.X

    申请日:2018-07-26

    摘要: 本发明公开了一种氮化镓基发光二极管外延片及其制作方法,属于半导体技术领域。外延片包括衬底、缓冲层、三维成核层、二维恢复层、本征氮化镓层、N型半导体层、有源层和P型半导体层,缓冲层、三维成核层、二维恢复层、本征氮化镓层、N型半导体层、有源层和P型半导体层依次层叠在衬底上,三维成核层包括至少一个叠层结构,叠层结构包括氮化镓层和设置在氮化镓层上的氮化钪铝层。本发明通过采用氮化钪铝层和氮化镓层一起形成三维成核层,氮化钪铝层和氮化镓层配合,可以有效缓解蓝宝石和氮化镓之间晶格失配产生的应力和缺陷,大大优化外延片底层的晶体质量,进而提高有源层的晶体质量,有利于电子和空穴进行复合发光,提高LED的内量子效率。