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公开(公告)号：CN105022166B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201510526032.X
申请日：2015-08-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明公开了一种大口径光学元件动态洁净保持和转运装置，包括呈长方体结构的洁净转运箱，其前端敞口，后端设有进风口；可拆卸地设置在所述洁净转运箱的前端敞口位置，并能够遮盖住该敞口的前挡板；可拆卸地安装在所述进风口位置，并能够遮盖住该进风口的后挡板；对称地设置在洁净转运箱顶壁和底面上的滑道，该滑道具有至少一条滑槽，所述滑槽中部的宽度大于其两端的宽度。本发明能够满足大口径光学元件在线安装维护和运行过程中的洁净要求，大口径光学元件在进入滑道后，能够实现一定的柔性调整，转运方便可靠，具有结构简单，操作方便等优点。
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公开(公告)号：CN107389688A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710600243.2
申请日：2017-07-21
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/88 , G01N21/95 , G01S11/12 , B23K26/00 , B23K26/354
Abstract: 本发明公开了一种大口径熔石英光学元件表面微缺陷多工位集成修复方法，将紫外激光预处理系统、显微检测系统和二氧化碳激光修复系统集中安装在多自由度熔石英光学元件定位平台上，实现三工位集成。对熔石英光学元件安装定位后，采用紫外激光光斑对光学元件表面进行全口径逐行往复式扫描预处理；然后利用显微检测系统对熔石英光学元件表面微缺陷进行全口径暗场扫描检测；最后选定需要修复的微缺陷兴趣点，通过CO2红外激光系统对光学元件表面微缺陷进行局部单点融熔修复，从而完成熔石英光学元件表面微缺陷的多工位集成修复，该工艺方法实现多工位集成，节约了各个工位的装夹时间至少150分钟，提高了微缺陷修复的效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105181601B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201510556941.8
申请日：2015-09-02
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 大口径曲面光学元件微缺陷修复用可微调显微检测装置,涉及一种曲面微缺陷检测装置。解决了大口径光学元件表面微缺陷的快速识别的定位精确度差的问题。本发明的暗场检测单元对熔石英光学元件曲面上的所有缺陷进行全口径扫描，并对扫描的微缺陷图像进行处理，确定微缺陷点的尺寸以及在光学元件表面上的坐标位置；明场监测单元对暗场检测单元处理后的微缺陷点进行实时监测，以观察缺陷点的实际尺寸大小；光谱共焦测距单元通过测量该可微调显微监测装置与曲面光学元件表面之间的距离，对表面上任意一微缺陷点进行Z向的精确定位。本发明适用性于学元件微缺陷修复用使用。
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公开(公告)号：CN105181600B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201510556896.6
申请日：2015-09-02
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 一种大口径曲面光学元件表面微缺陷的检测与激光修复装置,涉及一种光学元件表面微缺陷的检测与激光修复装置。解决了对大口径融石英光学元件的微缺陷检测速度慢和定位精确度底的问题。本发明的可微调显微检测单元、二维大行程快速移动装置、Z轴运动装置和激光组件均设置在承载台上，承载台的上表面沿X轴方向设有凹槽，二维大行程快速移动装置设置在承载台凹槽内，可微调显微检测单元和激光组件均设置于Z轴运动装置的平台上，其轴线方向均垂直于二维大行程快速移动装置的侧面。本发明适用于大口径曲面光学元件表面微缺陷的检测与激光修复使用。
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公开(公告)号：CN105759389A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610231486.9
申请日：2016-04-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 具有平衡装置的大负载单端驱动移动平台，涉及一种大负载单端驱动移动平台。解决了现有单侧驱动易造成机构偏载，上升和下降过程中机构形变不同，影响设备的运行精度或安装过程中误差过大，会导致元件卡死在两侧导轨之间，造成设备损坏的问题。本发明的两个气缸结构的浮动接头的下端固定在承载框体的下边框的上表面，且浮动接头的上端与低摩擦力气缸杆螺纹连接，低摩擦力气缸杆在低摩擦力气缸体内做活塞运动，低摩擦力气缸体顶端穿过龙门横板与双耳环座固定链接，双耳环结构安装在龙门肋板上，双耳环结构(11)与双耳环座(12)之间通过气缸铰链轴铰接，实现相对旋转。本发明适用于作为单端驱动形成装置使用。
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公开(公告)号：CN105022166A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510526032.X
申请日：2015-08-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明公开了一种大口径光学元件动态洁净保持和转运装置，包括呈长方体结构的洁净转运箱，其前端敞口，后端设有进风口；可拆卸地设置在所述洁净转运箱的前端敞口位置，并能够遮盖住该敞口的前挡板；可拆卸地安装在所述进风口位置，并能够遮盖住该进风口的后挡板；对称地设置在洁净转运箱顶壁和底面上的滑道，该滑道具有至少一条滑槽，所述滑槽中部的宽度大于其两端的宽度。本发明能够满足大口径光学元件在线安装维护和运行过程中的洁净要求，大口径光学元件在进入滑道后，能够实现一定的柔性调整，转运方便可靠，具有结构简单，操作方便等优点。
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公开(公告)号：CN103235419A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310156208.8
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B27/62
Abstract: 一种楔形透镜拆装单元的精准离线定轴装置与方法，它涉及一种离线定轴装置与方法。本发明为了解决现有离线定轴装置与方法无法实现高批量化和高精准定轴的问题。本发明的装置：楔形透镜光机装配架设置在光学平台中部，两个自准直仪底座分别设置在楔形透镜光机装配架的两侧，楔形透镜替代件固装在楔形透镜光机装配架上。方法：1、安装楔形透镜替代部件；2、调整自准直仪；3、取下楔形透镜替代部件，4、楔形透镜在线拆装单元的离线安装；5、楔形透镜的批量化光机离线装校；6、楔形透镜的离线定轴；7、离线装校平台进行离线定轴校验；8、完成定轴校验；9、完成精准离线定轴。本发明用于楔形透镜拆装单元的精准离线定轴。
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