转印膜、层叠体的制造方法、电路配线的制造方法及电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN115916529A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202180051325.0

    申请日:2021-08-20

    Abstract: 本发明的第1课题为提供一种能够形成分辨率优异的抗蚀图案的转印膜。并且,本发明的第2课题为提供一种能够形成表面形态性优异的树脂图案的转印膜。进而,本发明的第3课题为提供一种使用了上述转印膜的、层叠体的制造方法、电路配线的制造方法及电子器件的制造方法。本发明的转印膜为具有临时支承体、在上述临时支承体上配置的组合物层,上述组合物层包含感光性树脂层及水溶性树脂层,该转印膜依次层叠上述临时支承体、上述水溶性树脂层及上述感光性树脂层而成,或者依次层叠上述临时支承体、上述感光性树脂层及上述水溶性树脂层而成,上述水溶性树脂层包含具有下述通式(1)所表示的基团的化合物A。通式(1):*‑CF2‑H;式中,*表示键合位置。

    转印膜、层叠体的制造方法、电路配线的制造方法、电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN115884875A

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202180050843.0

    申请日:2021-08-19

    Abstract: 本发明提供一种不易产生图案外观不良的转印膜、层叠体的制造方法、电路配线的制造方法及电子器件的制造方法。本发明的转印膜具有临时支承体及在临时支承体上配置的树脂组合物层,树脂组合物层包含:树脂;及选自嵌段共聚物及式(1)所表示的化合物中的至少一个化合物,该嵌段共聚物包含:包含具有式(A)所表示的基团或式(B)所表示的基团的结构单元X的嵌段及包含具有聚(氧化烯)基的结构单元Y的嵌段。

    感光性转印部件、树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法、触摸面板的制造方法

    公开(公告)号:CN114207525A

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202080055251.3

    申请日:2020-06-30

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种因曝光后延迟所导致的图案线宽的变动较少且所形成的图案的分辨率也优异的感光性转印部件。并且,本发明的另一课题在于提供一种使用上述感光性转印部件而成的树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法。本发明的感光性转印部件具有临时支承体及感光性树脂层,所述感光性转印部件中,上述感光性树脂层含有聚合物X及聚合物Y中的任一种以上及光产酸剂,上述聚合物X含有具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元A及具有3元环或4元环的醚骨架的结构单元B,上述聚合物Y含有具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元A、具有3元环或4元环的醚骨架的结构单元B及具有碱性基团的结构单元C,上述感光性树脂层中的具有上述3元环或4元环的醚骨架的结构单元B的含量相对于上述感光性树脂层的总质量为8.0~700.0μmol/g。其中,在上述感光性树脂层含有上述聚合物X的情况下,上述感光性树脂层还含有碱性化合物。

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