保护带剥离方法、保护带剥离装置和该保护带剥离装置所用的剥离带

    公开(公告)号:CN103681434A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310385401.9

    申请日:2013-08-29

    Inventor: 木内一之

    Abstract: 本发明提供保护带剥离方法、保护带剥离装置和该保护带剥离装置所用的剥离带。在将带保护带的晶圆分割成芯片后,对借助粘合带保持于环形框的芯片进行加热,从而使芯片形状的保护带沿同一轴向卷成筒状,使该保护带局部自芯片剥离。利用粘贴辊按压剥离带,并且将该剥离带至少粘贴到芯片分布区域,该剥离带具有向芯片分布区域粘贴的部分的粘合性比与晶圆的外周区域相面对的部分的粘合性强的粘合层。通过将该剥离带剥离,使卷成筒状的保护带与剥离带一体地自芯片剥离去除。

    保护带粘贴方法和保护带粘贴装置

    公开(公告)号:CN101911280B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN200980101473.8

    申请日:2009-10-09

    CPC classification number: H01L21/67132

    Abstract: 本发明提供一种保护带粘贴方法和保护带粘贴装置。该保护带粘贴装置的设置状态为,在用于从背面吸附保持半导体晶圆的吸盘台上,从背面侧层叠上内置有蜿蜒状冷却管的冷却板。通过使制冷剂在该冷却管中循环来冷却吸盘台。在将该吸盘台冷却了的状态下吸附保持半导体晶圆。并且,在将吸盘台冷却了的状态下,在半导体晶圆上粘贴保护带。即,在该保护带粘贴过程中,一边借助与吸盘台直接接触而被冷却的半导体晶圆间接地冷却保护带,一边将保护带粘贴在半导体晶圆的表面上。

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